[發明專利]一種超硬材料的微小孔激光打孔裝置

有效

• 申請號: 201811252257.0
• 申請日: 2018-10-25
• 公開（公告）號: CN109014621B
• 公開（公告）日: 2021-03-30
• 發明（設計）人: 徐金龍
• 申請（專利權）人: 上海費米激光科技有限公司
• 主分類號: B23K26/382
• 分類號: B23K26/382;B23K26/402;B23K26/70
• 代理公司: 北京化育知識產權代理有限公司 11833
• 代理人: 涂琪順

本發明涉及超硬材料的微小孔激光打孔技術領域，尤其為一種超硬材料的微小孔激光打孔裝置，包括大理石平臺，所述大理石平臺的端面上固定設有大理石橫梁，所述大理石橫梁上的中心位置固定設有精密Z軸，所述精密Z軸滑動上豎直并固定全鋁材料的光路，所述光路發射的激光角度可以高速偏轉，所述光路側方固定安裝高倍率CCD相機，所述大理石平臺上固定安裝精密XY直線驅動平臺，所述精密XY直線驅動平臺在光路下方，所述精密XY直線驅動平臺上安裝并固定帶有角度調整的治具，所述治具夾緊并固定超高轉速高回轉精度氣動主軸。本發明解決了超硬材料微孔加工問題，打孔孔徑精度高，加工無毛刺，無需后期處理。

技術領域

本發明涉及超硬材料的微小孔激光打孔技術領域，具體為一種超硬材料的微小孔激光打孔裝置。

背景技術

目前針對超硬材料（包括鉆石、人造金剛石、聚晶金剛石、氮化硼、氧化鋁陶瓷、氮化鋁陶瓷等）的微小孔加工，主要是激光加工和電火花。已有的超硬材料激光微小孔加工主要是激光拉絲模加工工藝，加工精度不高，粗糙度較差，后續需要做超聲研磨和拉絲研磨，只能加工錐孔不能加工直孔。另外超硬材料激光微小孔加工，國外專用的五軸超快激光加工設備，可以加工出直孔和錐孔，最小孔能做到20μm，但是成本過高RMB500萬以上。電火花加工，可加工直孔和錐孔，不能加工不導電的材料，而且非常難加工＜30μm的孔。電火花直接穿孔速度快，精度低；慢走絲割孔，需要加工預穿孔，精度高，速度非常慢，加工孔徑＞0.5mm。本發明用于超硬材料的微小孔加工，可加工直孔和錐孔，孔徑精度±0.005mm，最小孔徑＜10μm，直孔深徑比＞10:1。而現有的激光穿孔工藝，定位精度不足，加工不良直孔，孔徑偏大，燒蝕嚴重后期要毛刺，酸洗。電火花微細加工，微小孔不穩定，而且加工效率低。

綜上所述，本發明提出一種超硬材料的微小孔激光打孔裝置來解決存在的問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種超硬材料的微小孔激光打孔裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：