[發明專利]一種超硬材料的微小孔激光打孔裝置

有效

• 申請號: 201811252257.0
• 申請日: 2018-10-25
• 公開（公告）號: CN109014621B
• 公開（公告）日: 2021-03-30
• 發明（設計）人: 徐金龍
• 申請（專利權）人: 上海費米激光科技有限公司
• 主分類號: B23K26/382
• 分類號: B23K26/382;B23K26/402;B23K26/70
• 代理公司: 北京化育知識產權代理有限公司 11833
• 代理人: 涂琪順

1.一種超硬材料的微小孔激光打孔裝置，包括大理石平臺（1），其特征在于：所述大理石平臺（1）的端面上固定設有大理石橫梁（2），所述大理石橫梁（2）為龍門式大理石結構，所述大理石橫梁（2）上的中心位置固定設有第一驅動電機（3），所述第一驅動電機（3）的下方固定設有第一驅動電機固定板（4），所述第一驅動電機固定板（4）固定連接在大理石橫梁（2）上，所述第一驅動電機（3）的驅動端固定連接有第一精密滾珠絲桿（5）并且貫穿第一驅動電機固定板（4），所述第一精密滾珠絲桿（5）上并且位于第一驅動電機固定板（4）的下方螺紋連接有精密Z軸（6），所述精密Z軸（6）滑動連接Z軸滑槽（7），所述Z軸滑槽（7）固定連接在大理石橫梁（2）上，所述精密Z軸（6）的另一側壁固定連接有光路（8）并且與Z軸滑槽（7）滑動連接，所述光路（8）的右側固定連接有CCD相機（9），所述CCD相機（9）上固定設有高倍相機鏡頭（16），所述高倍相機鏡頭（16）通過高倍相機鏡頭固定環（10）固定連接在光路（8）上，所述光路（8）下方并且位于大理石平臺（1）的端面上對應設有XY直線驅動平臺（11），所述XY直線驅動平臺（11）上固定設有彈性防護罩（12），所述XY直線驅動平臺（11）的端面上螺紋連接有載物臺（13），所述載物臺（13）的端面上并且與高倍相機鏡頭（16）對應設有氣動主軸治具（14），所述XY直線驅動平臺（11）的右側并且位于大理石平臺（1）的端面上固定設有控制箱（15），所述控制箱（15）上固定設有總電源按鍵、激光器按鍵、急停控制按鍵和激光器控制面板并且電性連接光路（8），所述控制箱（15）的內部系統采用激光微加工系統FM-UVM3；所述氣動主軸治具（14）包括氣動主軸治具底座（17）和氣動主軸治具角度調整單元（19），所述氣動主軸治具底座（17）的端面上固定設有氣動主軸治具立柱（18），所述氣動主軸治具角度調整單元（19）固定設置在氣動主軸治具立柱（18）的側壁上，所述氣動主軸治具立柱（18）遠離氣動主軸治具角度調整單元（19）的側壁上固定設有氣動主軸夾持和角度調整件（20），所述氣動主軸夾持和角度調整件（20）夾持固定氣動主軸主體（21），氣動主軸主體（21）最大轉速不低于3萬轉/min，最大圓跳不高于2μm，所述氣動主軸主體（21）的端面上固定設有氣動主軸自動定心夾頭（22），所述氣動主軸主體（21）的底部固定設有氣動主軸進氣口（23）和氣動主軸出氣口（24），所述XY直線驅動平臺（11）包括第一底板（25）和第二底板（34），所述第一底板（25）和第二底板（34）相互垂直設置，所述第一底板（25）中心位置固定設有第一U型槽直線驅動電機（28），所述第一底板（25）兩端設有第一柔性緩沖（27），所述第一U型槽直線驅動電機（28）的兩側平行安裝兩根第一直線滾動導軌組，所述第一U型槽直線驅動電機（28）和其中一根第一直線滾動導軌組之間平行安裝第一高精度光柵尺（30），所述第一直線滾動導軌組上安裝第一連接板（31），所述第一連接板（31）側面安裝兩套第一防塵罩（39），所述第一連接板（31）連接第二底板（34）和第一直線滾動導軌組，所述第二底板（34）中心位置固定設有第二U型槽直線驅動電機（38），所述第二底板（34）兩端設有第二柔性緩沖（35），所述第二U型槽直線驅動電機（38）的兩側平行安裝兩根第二直線滾動導軌組，所述第二U型槽直線驅動電機（38）和其中一根第二直線滾動導軌組之間平行安裝第二高精度光柵尺（37），所述第二直線滾動導軌組上安裝第二連接板（40），所述第二連接板（40）側面安裝兩套第二防塵罩（32），所述第二連接板（40）螺絲固定載物臺（13）。

2.根據權利要求1所述的一種超硬材料的微小孔激光打孔裝置，其特征在于：所述第一驅動電機（3）為松下A6伺服電機并且電性連接控制箱（15），所述第一U型槽直線驅動電機（28）和第二U型槽直線驅動電機（38）通過松下A6直線電機驅動器驅動，并且電性連接控制箱（15）。

3.根據權利要求1所述的一種超硬材料的微小孔激光打孔裝置，其特征在于：所述第一精密滾珠絲桿（5）選為BIF型，所述第一直線滾動導軌組和第二直線滾動導軌組為SR型。

4.根據權利要求1所述的一種超硬材料的微小孔激光打孔裝置，其特征在于：所述光路（8）結構采用全鋁材質，并在Z軸方向移動。