[發(fā)明專利]被加工物的加工方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811251709.3 | 申請(qǐng)日： | 2018-10-25 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN109719374B | 公開（公告）日： | 2022-11-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 熊澤哲 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 株式會(huì)社迪思科 |
| 主分類號(hào)： | B23K10/00 | 分類號(hào)： | B23K10/00;B23K26/16;B23K26/364;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帥;喬婉 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 加工 方法 | ||
1.一種被加工物的加工方法，該被加工物具有由沿第1方向延伸的第1間隔道和沿與該第1方向交叉的第2方向延伸的第2間隔道構(gòu)成的多條間隔道，
該被加工物的加工方法的特征在于，具有如下的步驟：
第1激光加工槽形成步驟，沿著該第1間隔道照射對(duì)于被加工物具有吸收性的波長(zhǎng)的激光束而形成第1激光加工槽；
第2激光加工槽形成步驟，在實(shí)施了該第1激光加工槽形成步驟之后，沿著該第2間隔道照射該激光束而形成第2激光加工槽；以及
清潔步驟，在實(shí)施了該第2激光加工槽形成步驟之后，僅沿著該第1間隔道照射該激光束而僅去除位于所述第1激光加工槽與所述第2激光加工槽的交叉部處的如下的加工屑：該加工屑在該第1激光加工槽形成步驟中從被加工物的正面呈凸?fàn)畹禺a(chǎn)生于該第1激光加工槽的槽緣，并且由于實(shí)施該第2激光加工槽形成步驟而在該第1間隔道與該第2間隔道的交叉部處沿該第2方向延伸從而位于所述第1激光加工槽與所述第2激光加工槽的交叉部處，
由此，在所述清潔步驟之后，在所述第1激光加工槽與所述第2激光加工槽的交叉部處不存在加工屑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的被加工物的加工方法，其特征在于，
該被加工物的加工方法具有如下的保護(hù)膜包覆步驟：在實(shí)施該第1激光加工槽形成步驟之前，對(duì)被加工物包覆等離子蝕刻用保護(hù)膜，
通過(guò)實(shí)施該第1激光加工槽形成步驟、該第2激光加工槽形成步驟以及該清潔步驟而使該第1間隔道和該第2間隔道露出，
該被加工物的加工方法具有如下的等離子蝕刻步驟：在實(shí)施了該清潔步驟之后，隔著該等離子蝕刻用保護(hù)膜對(duì)被加工物實(shí)施等離子蝕刻。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的被加工物的加工方法，其特征在于，
在該清潔步驟中，與第1激光加工槽形成步驟和該第2激光加工槽形成步驟相比，加工進(jìn)給速度較快。
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