[發(fā)明專利]加工設(shè)備在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811243543.0 | 申請(qǐng)日： | 2018-10-24 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN109801825A | 公開（公告）日： | 2019-05-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 藍(lán)詠萱;陳家瑋 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01J37/32 | 分類號(hào)： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003 | 代理人： | 黃艷 |
| 地址： | 中國(guó)臺(tái)*** | 國(guó)省代碼： | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 加工設(shè)備 氣體出口 通氣板 支撐元件 加工腔 交疊 排出氣體 相鄰設(shè)置 支撐構(gòu)件 縱軸方向 配置 連通 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種加工設(shè)備，包括：
一加工腔，具有一氣體出口；
一泵，與該氣體出口連通并配置通過(guò)該氣體出口從該加工腔排出氣體；以及
一交疊模塊，位于該泵與該氣體出口之間，且包括：
多個(gè)支撐元件，沿一縱軸方向配置；以及
多個(gè)內(nèi)部通氣板，每一所述內(nèi)部通氣板具有多個(gè)氣孔，其中所述內(nèi)部通氣板至少其中的一者位于彼此相鄰設(shè)置的所述支撐構(gòu)件的二者之間。
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