[發(fā)明專利]轉(zhuǎn)印裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811239577.2 | 申請日: | 2018-10-24 |
| 公開(公告)號: | CN109709767B | 公開(公告)日: | 2021-12-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 小久保光典;馬場丘人;后藤利章 | 申請(專利權(quán))人: | 東芝機(jī)械株式會社 |
| 主分類號: | G03F7/00 | 分類號: | G03F7/00;B29C59/02 |
| 代理公司: | 中國貿(mào)促會專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 11038 | 代理人: | 李成海 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 裝置 | ||
1.一種轉(zhuǎn)印裝置,該轉(zhuǎn)印裝置用于將形成在模具上的微細(xì)的轉(zhuǎn)印圖案轉(zhuǎn)印到噴涂在設(shè)置于基板設(shè)置部的基板上的樹脂上,其特征在于,具備
用于支承所述模具并且通過移動進(jìn)行所述轉(zhuǎn)印的轉(zhuǎn)印輥;和
用于在通過所述轉(zhuǎn)印輥的移動進(jìn)行的將所述模具向噴涂在設(shè)置于所述基板設(shè)置部的所述基板上的樹脂的壓靠時引導(dǎo)所述轉(zhuǎn)印輥的轉(zhuǎn)印輥引導(dǎo)部,
所述轉(zhuǎn)印輥引導(dǎo)部是一體地設(shè)置在所述基板設(shè)置部的傾斜部件,
所述傾斜部件具備轉(zhuǎn)印輥卡合部位,該轉(zhuǎn)印輥卡合部位在所述轉(zhuǎn)印輥的移動方向形成得長,從所述基板設(shè)置部向所述轉(zhuǎn)印輥的移動方向突出,
所述轉(zhuǎn)印輥卡合部位具備位于所述基板設(shè)置部側(cè)的基端側(cè)部位和從所述基板設(shè)置部離開的前端側(cè)部位,
所述基端側(cè)部位在所述轉(zhuǎn)印輥的移動方向延伸,所述前端側(cè)部位相對于所述轉(zhuǎn)印輥的移動方向傾斜少量的角度地傾斜延伸。
2.一種轉(zhuǎn)印裝置,該轉(zhuǎn)印裝置用于將形成在模具上的微細(xì)的轉(zhuǎn)印圖案轉(zhuǎn)印到噴涂在設(shè)置于基板設(shè)置部的基板上的樹脂上,其特征在于,具備
用于支承所述模具并且通過移動進(jìn)行所述轉(zhuǎn)印的轉(zhuǎn)印輥;和
用于在通過所述轉(zhuǎn)印輥的移動進(jìn)行的將所述模具向噴涂在設(shè)置于所述基板設(shè)置部的所述基板上的樹脂的壓靠時引導(dǎo)所述轉(zhuǎn)印輥的轉(zhuǎn)印輥引導(dǎo)部,
所述轉(zhuǎn)印輥引導(dǎo)部是一體地設(shè)置在所述基板設(shè)置部的傾斜部件,
所述傾斜部件在所述轉(zhuǎn)印輥的移動方向形成得長,從所述基板設(shè)置部向所述轉(zhuǎn)印輥的移動方向突出,相對于所述轉(zhuǎn)印輥的移動方向傾斜少量的角度地傾斜延伸。
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G03F 圖紋面的照相制版工藝,例如,印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝;其所用材料;其所用原版;其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工藝;圖紋面照相制版用的材料,如:含光致抗蝕劑的材料;圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作,例如,鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備





