[發明專利]轉印裝置有效
| 申請號: | 201811239577.2 | 申請日: | 2018-10-24 |
| 公開(公告)號: | CN109709767B | 公開(公告)日: | 2021-12-10 |
| 發明(設計)人: | 小久保光典;馬場丘人;后藤利章 | 申請(專利權)人: | 東芝機械株式會社 |
| 主分類號: | G03F7/00 | 分類號: | G03F7/00;B29C59/02 |
| 代理公司: | 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038 | 代理人: | 李成海 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 裝置 | ||
一種轉印裝置,其具備用于支承模具并且通過移動將形成在模具上的微細的轉印圖案轉印到噴涂在設置于基板設置部的基板上的樹脂上的轉印輥;和用于在通過轉印輥的移動進行的將模具向噴涂在設置于基板設置部的基板上的樹脂的壓靠時引導轉印輥的轉印輥引導部。
技術領域
本發明涉及轉印裝置,特別是涉及用于將形成在模具上的微細的轉印圖案轉印到噴涂在基板上的樹脂上的轉印裝置。
背景技術
已知用于將形成在模具上的微細的轉印圖案轉印到噴涂在基板上的樹脂上(參照US 9,604,402 B2)的以往例的轉印裝置。在以往例的轉印裝置中,在轉印中使用的模具在模具卷材和卷取輥之間延伸。
在以往例的轉印裝置中,用轉印輥將形成在模具上的微細的轉印圖案轉印到噴涂在設置于基板設置部的基板上的樹脂上。
如果進一步說明,則在以往例的轉印裝置中,通過在將模具卷掛在轉印輥上的狀態下將模具相對于基板設置部、基板移動,將形成在模具上的微細的轉印圖案轉印到噴涂在設置于基板設置部的基板上的樹脂上。
發明內容
在以往例的轉印裝置中,存在如下的問題:在卷掛了模具的轉印輥移動而與設置在基板設置部的基板卡合時,轉印輥的高度位置急劇變化,有可能產生震動。震動的產生,由于對轉印精度帶來不良影響,所以是不理想的。
本申請是鑒于上述問題而做出的,其目的在于提供一種轉印裝置,該轉印裝置將形成在模具上的微細的轉印圖案轉印到噴涂在基板上的樹脂上,緩和在卷掛了模具的轉印輥移動而與設置在基板設置部的基板卡合時產生的震動。
本申請的第一方式涉及一種轉印裝置,該轉印裝置用于將形成在模具上的微細的轉印圖案轉印到噴涂在設置于基板設置部的基板上的樹脂上,其特征在于,具備用于支承所述模具并且通過移動進行所述轉印的轉印輥;和用于在通過所述轉印輥的移動進行的將所述模具向噴涂在設置于所述基板設置部的所述基板上的樹脂的壓靠時引導所述轉印輥的轉印輥引導部,所述轉印輥引導部是一體地設置在所述基板設置部的傾斜部件,所述傾斜部件具備轉印輥卡合部位,該轉印輥卡合部位在所述轉印輥的移動方向形成得長,從所述基板設置部向所述轉印輥的移動方向突出,所述轉印輥卡合部位具備位于所述基板設置部側的基端側部位和從所述基板設置部離開的前端側部位,所述基端側部位在所述轉印輥的移動方向延伸,所述前端側部位相對于所述轉印輥的移動方向傾斜少量的角度地傾斜延伸。
本申請的第二方式涉及一種轉印裝置,該轉印裝置用于將形成在模具上的微細的轉印圖案轉印到噴涂在設置于基板設置部的基板上的樹脂上,其特征在于,具備用于支承所述模具并且通過移動進行所述轉印的轉印輥;和用于在通過所述轉印輥的移動進行的將所述模具向噴涂在設置于所述基板設置部的所述基板上的樹脂的壓靠時引導所述轉印輥的轉印輥引導部,所述轉印輥引導部是一體地設置在所述基板設置部的傾斜部件,所述傾斜部件在所述轉印輥的移動方向形成得長,從所述基板設置部向所述轉印輥的移動方向突出,相對于所述轉印輥的移動方向傾斜少量的角度地傾斜延伸。
根據本申請的方式,在將形成在模具上的微細的轉印圖案轉印到噴涂在基板上的樹脂上的轉印裝置中,起到緩和在卷掛了模具的轉印輥移動而與設置在基板設置部的基板卡合時產生的震動的效果。
附圖說明
圖1是表示實施方式涉及的轉印裝置的概略結構的圖。
圖2是圖1中的II向視圖。
圖3是圖1中的III向視圖。
圖4是圖1中的IV向視圖。
圖5是圖2中的V部的放大圖。
圖6是表示實施方式涉及的轉印裝置的動作的圖。
圖7是表示實施方式涉及的轉印裝置的動作的圖。
圖8是表示實施方式涉及的轉印裝置的動作的圖。
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