[發明專利]供給系統

在審

• 申請號: 201811235764.3
• 申請日: 2018-10-23
• 公開（公告）號: CN111090220A
• 公開（公告）日: 2020-05-01
• 發明（設計）人: 鄭義強
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;H01L21/67
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

本發明提供一種供給系統，包括：供應裝置，用于提供液體；噴嘴；供液管路，一端與供應裝置相連接，另一端與噴嘴相連接；第一液體流量計，位于供液管路與噴嘴相連接的一端處；排液管路，一端與供液管路相連通；第二液體流量計，位于排液管路上。本發明的供給系統通過在噴嘴附近的供液管路上設置第一液體流量計，并在排液管路上設置第二液體流量計，可以實時監測噴涂到晶圓上的光刻膠的量及排液管路排出的光刻膠的量，可以及時了解供給系統是否出現故障，可以避免光刻膠的浪費損耗，從而節約生產成本。

技術領域

本發明屬于集成電路技術領域，特別是涉及一種供給系統。

背景技術

在現有的光刻膠供給系統中，在使用噴嘴向晶圓表面噴涂光刻膠的同時，還需要在光刻膠達到噴嘴之前使用排液管路將供液管路內光刻膠中的氣泡及雜質即使排出，以防止氣泡及雜質被噴涂到晶圓表面而形成缺陷。在光刻膠噴涂過程中，光刻膠的使用量包括噴涂到晶圓表面的光刻膠的量以及排出氣泡及雜質時排出的光刻膠的量。

然而，現有的光刻膠供給系統并不能對光刻膠的使用量進行實時監測，這在光刻膠系統出現故障時很容易造成光刻膠的浪費損耗，從而導致生產成本的增加。

發明內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本發明的目的在于提供一種供給系統，用于解決現有技術中的光刻膠供給系統無法對光刻膠的使用量進行實時監測，從而導致光刻膠浪費損耗，進而導致生產成本增加的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本發明提供一種供給系統，所述供給系統包括：

供應裝置，用于提供液體；

噴嘴；

供液管路，一端與所述供應裝置相連接，另一端與所述噴嘴相連接；

第一液體流量計，位于所述供液管路與所述噴嘴相連接的一端處；

排液管路，一端與所述供液管路相連通；及

第二液體流量計，位于所述排液管路上。

作為本發明的一種優選方案，所述供應裝置包括光刻膠供給瓶，所述液體包括光刻膠。

作為本發明的一種優選方案，所述供給系統包括：

緩沖罐，位于所述供液管路上，且位于所述供應裝置與所述噴嘴之間；

過濾器，位于所述供液管路上，且位于所述緩沖罐與所述噴嘴之間；

第一捕集阱，位于所述排液管路上，且位于所述過濾器與所述噴嘴之間；及

第二捕集阱，位于所述排液管路上，且位于所述第一捕集阱與所述噴嘴之間；

所述排液管路包括：

第一排液管路，一端經由所述緩沖罐與所述供液管路相連通；

第二排液管路，一端經由所述過濾器與所述供液管路相連通；

第三排液管路，一端經由所述第一捕集阱與所述供液管路相連通；

第四排液管路，一端與所述第一排液管路遠離所述緩沖罐的一端、所述第二排液管路遠離所述過濾器的一端及所述第三排液管路遠離所述第一捕集阱的一端相連接；及

第五排液管路，一端經由所述第二捕集阱與所述供液管路相連通；

所述第二液體流量計的數量為兩個，其中一所述第二液體流量計位于所述第四排液管路上，另一所述第二液體流量計位于所述第五排液管路上；

所述第一液體流量計位于所述第二捕集阱與所述噴嘴之間。