[發明專利]供給系統

在審

• 申請號: 201811235764.3
• 申請日: 2018-10-23
• 公開（公告）號: CN111090220A
• 公開（公告）日: 2020-05-01
• 發明（設計）人: 鄭義強
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;H01L21/67
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種供給系統，其特征在于，所述供給系統包括：

供應裝置，用于提供液體；

噴嘴；

供液管路，一端與所述供應裝置相連接，另一端與所述噴嘴相連接；

第一液體流量計，位于所述供液管路與所述噴嘴相連接的一端處；

排液管路，一端與所述供液管路相連通；及

第二液體流量計，位于所述排液管路上。

2.根據權利要求1所述的供給系統，其特征在于，所述供應裝置包括光刻膠供給瓶，所述液體包括光刻膠。

3.根據權利要求1所述的供給系統，其特征在于，

所述供給系統包括：

緩沖罐，位于所述供液管路上，且位于所述供應裝置與所述噴嘴之間；

過濾器，位于所述供液管路上，且位于所述緩沖罐與所述噴嘴之間；

第一捕集阱，位于所述排液管路上，且位于所述過濾器與所述噴嘴之間；及

第二捕集阱，位于所述排液管路上，且位于所述第一捕集阱與所述噴嘴之間；

所述排液管路包括：

第一排液管路，一端經由所述緩沖罐與所述供液管路相連通；

第二排液管路，一端經由所述過濾器與所述供液管路相連通；

第三排液管路，一端經由所述第一捕集阱與所述供液管路相連通；

第四排液管路，一端與所述第一排液管路遠離所述緩沖罐的一端、所述第二排液管路遠離所述過濾器的一端及所述第三排液管路遠離所述第一捕集阱的一端相連接；及

第五排液管路，一端經由所述第二捕集阱與所述供液管路相連通；

所述第二液體流量計的數量為兩個，其中一所述第二液體流量計位于所述第四排液管路上，另一所述第二液體流量計位于所述第五排液管路上；

所述第一液體流量計位于所述第二捕集阱與所述噴嘴之間。

4.根據權利要求3所述的供給系統，其特征在于，所述供給系統還包括廠務排液系統，所述廠務排液系統與所述第四排液管路遠離所述第一排液管路、所述第二排液管路及所述第三排液管路的一端相連接，并與所述第五排液管路遠離所述第二捕集阱的一端相連接。

5.根據權利要求1所述的供給系統，其特征在于，

所述供給系統包括：

緩沖罐，位于所述供液管路上，且位于所述供應裝置與所述噴嘴之間；

過濾器，位于所述供液管路上，且位于所述緩沖罐與所述噴嘴之間；

第一捕集阱，位于所述排液管路上，且位于所述過濾器與所述噴嘴之間；及

第二捕集阱，位于所述排液管路上，且位于所述第一捕集阱與所述噴嘴之間；

所述排液管路包括：

第一排液管路，一端經由所述緩沖罐與所述供液管路相連通；

第二排液管路，一端經由所述過濾器與所述供液管路相連通；

第三排液管路，一端經由所述第一捕集阱與所述供液管路相連通；及

第四排液管路，一端經由所述第二捕集阱與所述供液管路相連通；

所述第二液體流量計的數量為四個，其中，四個所述第二液體流量計分別位于所述第一排液管路上、所述第二排液管路上、所述第三排液管路上及所述第四排液管路上；

所述第一液體流量計位于所述第二捕集阱與所述噴嘴之間。

6.根據權利要求5所述的供給系統，其特征在于，所述供給系統還包括廠務排液系統，所述廠務排液系統與所述第一排液管路遠離所述緩沖罐的一端、所述第二排液管路遠離所述過濾器的一端、所述第三排液管路遠離所述第一捕集阱的一端及所述第四排液管路遠離所述第二捕集阱的一端相連接。

7.根據權利要求3至6中任一項所述的供給系統，其特征在于，所述供給系統還包括供氣管路，一端與所述供應裝置相連接，另一端與氣體源相連接。

8.根據權利要求7所述的供給系統，其特征在于，所述氣體源包括氮氣源。