[發明專利]一種電磁加熱的PVD設備及其生產工藝

在審

• 申請號: 201811234575.4
• 申請日: 2018-10-23
• 公開（公告）號: CN109518133A
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發明（設計）人: 林榮川
• 申請（專利權）人: 集美大學
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/02;H05B6/10
• 代理公司: 北京權智天下知識產權代理事務所(普通合伙) 11638
• 代理人: 王新愛

1.一種電磁加熱的PVD設備，其特征在于，包括：

殼體(1)，所述殼體(1)的一側中部開設有進料口(11)，所述殼體(1)的另一側中部開設有出料口(12)，所述殼體(1)的兩側內壁均開設有限位槽(13)，所述限位槽(13)的下方開設有通孔(14)，所述殼體(1)的內部設有待鍍材料(17)，所述待鍍材料(17)的一端位于進料口(11)處，所述待鍍材料(17)的另一端位于出料口(12)處，所述殼體(1)的兩側中部均設有運料框(7)；

輸送裝置(2)，所述輸送裝置(2)包括密封框(21)、第一固定塊(5)和第二固定塊(6)，所述第一固定塊(5)的內部開設有凹槽(51)，所述凹槽(51)內設有固定桿(52)，所述固定桿(52)的一端固定連接有限位塊(53)，所述固定桿(52)的另一端貫穿第一固定塊(5)并固定連接有第一固定框(55)，所述固定桿(52)的中部外側套接有壓縮彈簧(54)，壓縮彈簧(54)的一端與第一固定塊(5)固定連接，壓縮彈簧(54)的另一端與固定框(55)固定連接；

所述第一固定框(55)的中部設有第一轉軸(57)，所述第一轉軸(57)的外側固定連接有第一轉輥(56)，所述第一轉軸(57)的一端與第一固定框(55)活動連接，所述第一轉軸(57)的另一端依次貫穿第一固定框(55)和通孔(14)并固定連接有第一電機(58)，所述固定框(55)的兩端均固定連接有限位柱(59)，所述限位柱(59)與限位槽(13)貼合連接；

所述第二固定塊(6)的頂端固定連接有第二固定框(61)，所述第二固定框(61)的中部設有第二轉軸(63)，所述第二轉軸(63)的外側固定連接有第二轉輥(62)，所述第二轉軸(63)的一端與第一固定框(55)活動連接，所述第二轉軸(63)的另一端依次貫穿第一固定框(55)和殼體(1)并固定連接有第二電機(64)；

加工裝置(3)，所述加工裝置(3)包括蒸發舟(31)、支撐塊(33)和基架(34)，所述蒸發舟(31)固定連接在基架(34)的頂端，所述蒸發舟(31)的頂端開設有容納槽(32)，所述支撐塊(33)的兩端均與殼體(1)固定連接，所述支撐塊(33)的頂端兩側均開設有滑槽(38)，所述支撐塊(33)的頂端中部固定連接有齒條(35)，所述基架(34)的內部設有傳輸齒輪(36)和第三電機(37)；

所述傳輸齒輪(36)與基架(34)活動連接，所述第三電機(37)與基架(34)固定連接，所述基架(34)的底端兩側均固定連接有滑塊(39)，所述滑塊(39)與滑槽(38)貼合連接，所述第三電機(37)上固定連接有齒輪，傳輸齒輪(36)的一端與第三電機(37)上的齒輪嚙合連接，傳輸齒輪(36)的另一端與齒條(35)嚙合連接；

冷卻裝置(4)，所述冷卻裝置(4)包括安裝塊(41)和冷卻管(42)，所述安裝塊(41)與殼體(1)固定連接，所述冷卻管(42)與安裝塊(41)固定連接，所述冷卻管(42)的一端固定連接有進水管(43)，所述冷卻管(42)的另一端固定連接有出水管(44)，所述和進水管(43)和出水管(44)的均貫穿安裝塊(41)并位于殼體(1)的外側，所述冷卻裝置(4)有兩個，兩個冷卻裝置(4)分別與殼體(1)的兩側內壁固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種電磁加熱的PVD設備，其特征在于：

所述殼體(1)的一側底端固定連接有輸氣管(15)；

所述殼體(1)的另一側底端固定連接有抽氣管(16)；

所述蒸發舟(31)的外側固定連接有電磁加熱絲。

3.根據權利要求1所述的一種電磁加熱的PVD設備，其特征在于：

所述第一固定塊(5)的兩端均與殼體(1)固定連接；

所述第二固定塊(6)的兩端均與殼體(1)固定連接；

所述第一固定塊(5)和第二固定塊(6)相對應。

4.根據權利要求1所述的一種電磁加熱的PVD設備，其特征在于：

所述第一電機(58)和第二電機(64)均位于密封框(21)內，所述密封框(21)與殼體(1)固定連接；

所述第一電機(58)通過滑軌(22)與密封框(21)活動連接，所述第二電機(64)與密封框(21)固定連接。