[發(fā)明專(zhuān)利]化學(xué)水浴鍍膜裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811231485.X
• 申請(qǐng)日: 2018-10-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109161875A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 惠述偉;張升飛;朱海安
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 華夏易能（廣東）新能源科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C18/16
• 分類(lèi)號(hào): C23C18/16;H01L31/18
• 代理公司: 北京尚倫律師事務(wù)所 11477
• 代理人: 毛宏寶

1.一種化學(xué)水浴鍍膜裝置，其特征在于，包括：

反應(yīng)槽，包括固定結(jié)構(gòu)，所述固定結(jié)構(gòu)用于固定放置于所述反應(yīng)槽內(nèi)的待鍍膜襯板；

饋入單元，設(shè)置在所述反應(yīng)槽的槽內(nèi)，與放置于所述反應(yīng)槽內(nèi)的所述待鍍膜襯板平行，所述饋入單元內(nèi)部中空，用于緩存加熱后的反應(yīng)液；所述饋入單元的第一側(cè)面有噴射口，所述第一側(cè)面為朝向所述待鍍膜襯板的面，其中，所述第一側(cè)面在所述待鍍膜襯板的待鍍膜面上的正投影的面積至少占所述待鍍膜面面積的預(yù)設(shè)比值；

加熱器，位于所述反應(yīng)槽外部，通過(guò)導(dǎo)管與所述饋入單元連通，使加熱后的反應(yīng)液注入所述饋入單元。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)水浴鍍膜裝置，其特征在于，所述饋入單元還包括至少兩個(gè)注液口和第二側(cè)面；

所述第二側(cè)面與所述第一側(cè)面相鄰，包括兩個(gè)相對(duì)的側(cè)面，或者包括四個(gè)側(cè)面；

所述至少兩個(gè)注液口設(shè)置于所述兩個(gè)相對(duì)的側(cè)面，或者設(shè)置于所述四個(gè)側(cè)面。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)水浴鍍膜裝置，其特征在于，所述第二側(cè)面中的每一個(gè)側(cè)面上設(shè)置有N個(gè)注液口，所述N為大于等于1的整數(shù)；

在所述N為奇數(shù)時(shí)，所述N個(gè)注液口中的一個(gè)注液口位于所述側(cè)面的中間位置，(N-1)/2個(gè)注液口位于所述一個(gè)注液口的一側(cè)，剩余(N-1)/2個(gè)注液口位于所述一個(gè)注液口的另一側(cè)；

在所述N為偶數(shù)時(shí)，N/2個(gè)注液口位于所述側(cè)面的半側(cè)，剩余N/2個(gè)注液口位于所述側(cè)面的另半側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)水浴鍍膜裝置，其特征在于，所述裝置還包括：

M個(gè)調(diào)壓泵，所述M為大于等于1的整數(shù)，所述M個(gè)調(diào)壓泵通過(guò)所述導(dǎo)管分別連接所述饋入單元上的各注液口和所述加熱器，用于從所述加熱器內(nèi)抽取反應(yīng)液后通過(guò)所述饋入單元上的各注液口注入所述饋入單元。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)水浴鍍膜裝置，其特征在于，所述預(yù)設(shè)比值等于二分之一。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)水浴鍍膜裝置，其特征在于，所述第一側(cè)面包括兩個(gè)側(cè)面；所述兩個(gè)側(cè)面以相同的預(yù)設(shè)密度均勻設(shè)置噴射口。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)水浴鍍膜裝置，其特征在于，所述噴射口的側(cè)壁設(shè)置有螺紋。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)水浴鍍膜裝置，其特征在于，所述反應(yīng)槽上設(shè)置有通孔，所述導(dǎo)管通過(guò)所述通孔與所述反應(yīng)槽固定連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)水浴鍍膜裝置，其特征在于，所述裝置還包括：

溢流口，位于所述反應(yīng)槽的側(cè)壁上方；

排液管，連通所述溢流口與所述加熱器，用于將所述反應(yīng)槽內(nèi)溢至所述溢流口的反應(yīng)液排入所述加熱器內(nèi)進(jìn)行加熱。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)水浴鍍膜裝置，其特征在于，所述饋入單元和所述導(dǎo)管的材質(zhì)為聚氯乙烯。