[發(fā)明專利]晶圓傳輸機(jī)構(gòu)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811221029.7
• 申請日: 2018-10-19
• 公開（公告）號: CN109216250A
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王劍;許振杰;王同慶;趙德文;路新春
• 申請（專利權(quán)）人: 清華大學(xué);天津華海清科機(jī)電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 黃德海

本發(fā)明公開了一種晶圓傳輸機(jī)構(gòu)，晶圓傳輸機(jī)構(gòu)包括：支架；至少一個晶圓傳輸裝置，其在支架的垂直方向間隔設(shè)置；所述晶圓傳輸裝置包括晶圓托架及平移滑軌，平移滑軌設(shè)置在支架上，晶圓托架可移動的設(shè)置在平移滑軌上，所述晶圓托架在垂直方向上間隔設(shè)置。根據(jù)本發(fā)明的晶圓傳輸機(jī)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡單，傳輸效率高，穩(wěn)定性好。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及化學(xué)機(jī)械拋光領(lǐng)域，尤其是涉及一種晶圓傳輸機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

相關(guān)技術(shù)中，晶圓的傳輸一般采用機(jī)械手來完成，而機(jī)械手的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，制造成本高，且傳輸效率低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明的一個目的在于提出一種晶圓傳輸機(jī)構(gòu)，該晶圓傳輸機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡單，傳輸效率高，穩(wěn)定性好。

根據(jù)本發(fā)明的晶圓傳輸機(jī)構(gòu)包括支架；支架；至少一個晶圓傳輸裝置，其在支架的垂直方向間隔設(shè)置；所述晶圓傳輸裝置包括晶圓托架及平移滑軌，平移滑軌設(shè)置在支架上，晶圓托架可移動的設(shè)置在平移滑軌上，所述晶圓托架在垂直方向上間隔設(shè)置。

根據(jù)本發(fā)明的晶圓傳輸機(jī)構(gòu)，每個晶圓托架的移動可以獨立運動，不同的晶圓托架可以朝向不同的方向移動，由于多個晶圓傳輸機(jī)構(gòu)在垂直方向上間隔設(shè)置，使不同的晶圓托架在移動過程中不會發(fā)生干涉，使晶圓傳輸機(jī)構(gòu)可以同時傳輸多個晶圓，且多個晶圓的傳輸過程相互獨立不受影響，提高了晶圓傳輸機(jī)構(gòu)的傳輸效率，且晶圓傳輸結(jié)構(gòu)的可靠性高。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述晶圓傳輸裝置包括至少一對晶圓托架。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，每個所述晶圓托架上設(shè)置有連接件，所述連接件的自由端可滑動地設(shè)置在對應(yīng)的所述平移滑軌上。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述平移滑軌上設(shè)置有滑槽，每個所述連接件的自由端設(shè)置有與對應(yīng)的所述滑槽配合的滑塊。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述移動滑軌的一端構(gòu)造為停放端，所述晶圓傳輸機(jī)構(gòu)還包括：保濕組件，所述保濕組件設(shè)置在所述支架上且適于在所述晶圓托架移動至所述停放端時對所述晶圓托架上的晶圓進(jìn)行保濕。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述保濕組件包括：安裝架，所述安裝架固定在所述支架上；噴液模塊，所述噴液模塊設(shè)置在所述安裝架上且所述噴液模塊的噴液口朝上設(shè)置。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述噴液口為多個，且多個所述噴液口中的至少部分的朝向不同。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，多個所述噴液口中的至少部分朝向所述平移滑軌上遠(yuǎn)離所述停放端的一端。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述安裝架的上表面上設(shè)置有接水槽。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，每個所述晶圓傳輸裝置的上側(cè)設(shè)置有防塵板，每個所述晶圓傳輸裝置的下側(cè)設(shè)置有擋水板。

本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實踐了解到。

附圖說明

本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從結(jié)合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的晶圓傳輸機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是根據(jù)本發(fā)明實施例的晶圓托架與導(dǎo)軌的連接示意圖；

圖3是根據(jù)本發(fā)明實施例的晶圓托架的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是根據(jù)本發(fā)明實施例的保濕組件的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記：

晶圓傳輸機(jī)構(gòu)100，

支架110，

平移滑軌120，導(dǎo)軌121，