[發(fā)明專利]一種新型梯形濾光片在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811216559.2 | 申請日: | 2018-10-18 |
| 公開(公告)號: | CN109212645A | 公開(公告)日: | 2019-01-15 |
| 發(fā)明(設計)人: | 王紅 | 申請(專利權)人: | 蘇州文迪光電科技有限公司 |
| 主分類號: | G02B5/28 | 分類號: | G02B5/28 |
| 代理公司: | 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 劉計成 |
| 地址: | 215000 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 濾光片 鍍膜 膜系層 膜系 殘余應力 薄膜結構 結構設置 失效形式 梯形結構 逐漸變大 逐漸變小 逐漸減小 逐漸增大 鍍膜層 鍍膜面 牢固度 底面 分層 減小 膜層 破裂 側面 保證 | ||
本發(fā)明提供一種新型梯形濾光片,包括基片,所述基片的橫截面為梯形結構,所述基片的一個側面上鍍有膜系,所述膜系包括多個膜系層,以該基片的鍍膜面為底面,沿從下到上的順序,所述多個膜系層的厚度先逐漸增大,再逐漸減小。該梯形濾光片在鍍膜面的一側鍍膜,膜系的膜層厚度先逐漸變大再逐漸變小,膜系層的結構設置為不同的結構并分層進行鍍膜,這樣就可大幅度減小甚至消除薄膜結構內(nèi)部的殘余應力,避免可能由殘余應力引起的各種失效形式,從而保證鍍膜層在基片上的牢固度,防止鍍膜出現(xiàn)破裂、脫落的情況,可有效提高濾光片的產(chǎn)品質(zhì)量。
技術領域
本發(fā)明涉及光通信技術領域,特別涉及一種梯形結構的濾光片。
背景技術
光通信是指以光作為信息載體而實現(xiàn)的通信方式,按傳輸介質(zhì)的不同可分為大氣激光通信和光纖通信兩種。光通信具有通信容量大、傳輸距離長、抗電磁干擾、傳輸質(zhì)量佳、信號串擾小、保密性好等優(yōu)點,是未來傳輸網(wǎng)絡發(fā)展的最終目標,具有非常廣闊的市場前景。在光通信產(chǎn)品的雙向收發(fā)器模塊中,通過選定波長的雷射訊號,而反射不需要的波段通常采用濾光片(edge filters)實現(xiàn),可以說濾光片在光通信產(chǎn)品中起著致關重要的作用。
梯形濾光片將基片設置為梯形結構,這樣可以避免光電器件發(fā)出的光經(jīng)過陶瓷片反射后從原路返回,因此存在較好的濾光效果,如發(fā)明專利(專利號:201721719827.3)就公開了一種梯形濾光片,包括濾光片本體,所述濾光片本體的橫截面為梯形,所述濾光片本體的一個斜面上鍍有膜系層,所述膜系層與所述濾光片本體之間還設有增透膜層,所述增透膜層包括至少一層MgF2膜層和至少一層SiO2膜層,所述SiO2膜層與所述MgF2膜層交替設置。
但現(xiàn)在的梯形濾光片往往會鍍膜層破裂、脫落的情況,出現(xiàn)這種情況的原因往往是鍍膜層在基片表面應力不一致造成的,而對于梯形的濾光片而言,由于基片結構較為特殊,因此,這一情況更為嚴重,因此,有必要對現(xiàn)有的梯形濾光片再做進一步的改進,來提高產(chǎn)品的質(zhì)量及合格率。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上所述現(xiàn)有技術的缺點,本發(fā)明的目的在于提供一種能有效防止鍍膜從基片上脫落,產(chǎn)品鍍膜成品率高的新型梯形濾光片。
一種新型梯形濾光片,一種新型梯形濾光片,包括基片,所述基片的橫截面為梯形結構,所述基片的一個側面上鍍有膜系,所述膜系包括多個膜系層,以該基片的鍍膜面為底面,沿從下到上的順序,所述多個膜系層的厚度先逐漸增大,再逐漸減小。
優(yōu)選的,所述膜系的膜系層結構為LHLHL結構,其中H表示TiO2層、L層為SiO2層
優(yōu)選的,沿由下向上的順序,各膜系層厚度依次為43-48nm、52-56nm、92-101nm、82-87nm、65-72nm。
優(yōu)選的,所述膜系的中間膜系層分兩次鍍膜設置。
優(yōu)選的,所述膜系與所述基片之間還設有增透膜層。
優(yōu)選的,所述增透膜層包括兩層MgF2膜層和一層SiO2膜層,所述SiO2膜層位于兩層MgF2膜層之間,上層MgF2膜層的厚度大于下層MgF2膜層的厚度。
所述增透膜層的下層MgF2膜層厚度為38-40nm,SiO2膜層厚度為78-96nm,上層MgF2膜層厚度為42-50nm。
如上所述,本新型梯形濾光片具有以下有益效果:該梯形濾光片在鍍膜面的一側鍍膜,膜系的膜層厚度先逐漸變大再逐漸變小,膜系層的結構設置為不同的結構并分層進行鍍膜,這樣就可大幅度減小甚至消除薄膜結構內(nèi)部的殘余應力,避免可能由殘余應力引起的各種失效形式,從而保證鍍膜層在基片上的牢固度,防止鍍膜出現(xiàn)破裂、脫落的情況,可有效提高濾光片的產(chǎn)品質(zhì)量。
附圖說明
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