[發明專利]一種新型梯形濾光片在審
| 申請號: | 201811216559.2 | 申請日: | 2018-10-18 |
| 公開(公告)號: | CN109212645A | 公開(公告)日: | 2019-01-15 |
| 發明(設計)人: | 王紅 | 申請(專利權)人: | 蘇州文迪光電科技有限公司 |
| 主分類號: | G02B5/28 | 分類號: | G02B5/28 |
| 代理公司: | 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 劉計成 |
| 地址: | 215000 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 濾光片 鍍膜 膜系層 膜系 殘余應力 薄膜結構 結構設置 失效形式 梯形結構 逐漸變大 逐漸變小 逐漸減小 逐漸增大 鍍膜層 鍍膜面 牢固度 底面 分層 減小 膜層 破裂 側面 保證 | ||
2.根據權利要求1所述的新型梯形濾光片,其特征在于:所述膜系的膜系層結構為LHLHL結構,其中H表示TiO2層、L層為SiO2層 。
3.根據權利要求2所述的新型梯形濾光片,其特征在于:沿由下向上的順序,各膜系層厚度依次為43-48nm、52-56nm、92-101nm、82-87nm、65-72nm。
4.根據權利要求2所述的新型梯形濾光片,其特征在于:所述膜系的中間膜系層分兩次進行鍍膜設置。
5.根據權利要求1所述的新型梯形濾光片,其特征在于:所述膜系與所述基片之間還設有增透膜層。
6.根據權利要求4所述的新型梯形濾光片,其特征在于:所述增透膜層包括兩層MgF2膜層和一層SiO2膜層,所述SiO2膜層位于兩層MgF2膜層之間,上層MgF2膜層的厚度大于下層MgF2膜層的厚度。
7.根據權利要求5所述的新型梯形濾光片,其特征在于:所述增透膜層的下層MgF2膜層厚度為38-40nm,SiO2膜層厚度為78-96nm,上層MgF2膜層厚度為42-50nm。
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