[發(fā)明專利]一種硅片圓片切刀修正工藝

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811216216.6
• 申請(qǐng)日: 2018-10-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111081634A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葛建秋;張彥;陳玲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江陰蘇陽(yáng)電子股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/78
• 分類號(hào): H01L21/78
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種硅片圓片切刀修正工藝，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1、切割位置修正：在切割過(guò)程，按“START/STOP”鍵，機(jī)器會(huì)暫停切割，工作盤(pán)移動(dòng)顯微鏡下，修正界面出現(xiàn)，用Y∧或Y∧鍵將基準(zhǔn)線與切割區(qū)調(diào)到相吻合；按F5鍵，機(jī)器將修正切割痕與切割區(qū)位置的偏差；按“START/STOP”鍵，機(jī)器將重新開(kāi)始切割，再按“START/STOP”鍵，檢查修正是否精確，如若需要繼續(xù)修正，重復(fù)上述過(guò)程，按“START/STOP”鍵，機(jī)器重新開(kāi)始切割，若發(fā)現(xiàn)基準(zhǔn)線與切割痕不重合應(yīng)首先做基準(zhǔn)線與切割痕的修正；

步驟2、切刀更換：在主菜單界面下，按F5鍵，進(jìn)入“刀片維護(hù)”界面，然后再按F1鍵，進(jìn)入“刀片更換”界面，此時(shí)主軸停止旋轉(zhuǎn)，切割水停止噴出且Y軸向后移動(dòng)到換刀位置，打開(kāi)防水蓋，取下前噴水蓋。如若機(jī)器帶“BBD”，還應(yīng)將“BBD”升到最高點(diǎn)，以便卸刀，使用換刀工具卸下固定刀的螺母，取下刀片；

步驟3、切割速度修正： 在切割進(jìn)行中的方法：在切割界面中，用數(shù)字鍵在“速度改變”欄中，輸入新的速度，按F7鍵，機(jī)器在切下一線時(shí)，開(kāi)始執(zhí)行新的速度；在切割暫停中的方法：在切割暫停界面中，用數(shù)字鍵在“速度改變”欄中，輸入新的速度，按F7鍵，再按“START/STOP”鍵，機(jī)器在切下一線時(shí)，開(kāi)始執(zhí)行新的速度。

2.根據(jù)權(quán)利1所述的一種硅片圓片切刀修正工藝，其特征在于，在步驟2中，對(duì)切刀進(jìn)行更換的過(guò)程中，首先用蘸了去離子水的棉簽清潔“BBD”傳感器的表面 ，按F10鍵，進(jìn)入“刀片破損檢測(cè)的調(diào)整”界面，檢查靈敏度的讀數(shù)是否在90%至100%范圍，反復(fù)清潔幾次，仍達(dá)不到要求，找設(shè)備維護(hù)人員執(zhí)行放大器調(diào)整，使之達(dá)到正常范圍內(nèi)，裝上新的刀片，并確認(rèn)刀片與刀架之間應(yīng)接觸良好，用設(shè)有大于30kgf.cm扭力矩上緊刀片固定螺母，如若機(jī)器帶“BBD”，調(diào)節(jié)BBD的下降旋鈕并在“刀片破損檢測(cè)的調(diào)整”界面中檢查并確認(rèn)敏感器電壓在5％－15%之間。

3.根據(jù)權(quán)利1所述的一種硅片圓片切刀修正工藝，其特征在于，在上述過(guò)程中，當(dāng)設(shè)備異常時(shí)，按EMERGENCY STOP緊急停機(jī)健，維修。