[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體劃片工藝

在審

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• 申請日: 2018-10-18
• 公開（公告）號: CN111070438A
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐志華;張彥;陳玲
• 申請（專利權(quán)）人: 江陰蘇陽電子股份有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導(dǎo)體劃片工藝，其特征在于：包括以下步驟，

A.劃片前準(zhǔn)備工作；

B.開機(jī)操作：打開主軸冷卻水和切割水開關(guān)，確保壓力≧0.3MPa，打開機(jī)器背后的主電源開關(guān)，確認(rèn)電源指示等點(diǎn)亮并檢查機(jī)器前后EMO開關(guān)是否被打開；

C.機(jī)器預(yù)熱操作：機(jī)器啟動后會提示“系統(tǒng)初始化”，按操作面板上“System initial”鍵，對機(jī)器系統(tǒng)進(jìn)行初始化，機(jī)器的各個軸將分別移動到它們的初始位置，按操作面板上劃片程序按鈕 ，然后按“ENTER”鍵確認(rèn)，再按“EXIT”鍵返回主菜單，按操作面板上“SPINDLE”鍵，主軸被開啟并將逐步升到所選的“DEVICE NO.”中設(shè)定的主軸轉(zhuǎn)速，在進(jìn)行主軸轉(zhuǎn)速之前，確保機(jī)器的防水蓋關(guān)閉，按操作面板上“CUT WATER”鍵，打開切割水，通過調(diào)節(jié)流量計，達(dá)到工藝要求設(shè)定的水流量1.2-2.0L/min，通過防水蓋觀察噴水是否正常，保持此狀態(tài)2分鐘，機(jī)器的預(yù)熱完畢；

D.硅片切割操作：切割前應(yīng)首先確認(rèn)操作面板上“SET UP”和“SYS INIT”鍵上方的指示燈是否點(diǎn)亮，如果“SYS INIT”鍵上方的指示燈沒有點(diǎn)亮，首先執(zhí)行系統(tǒng)初始化，如系統(tǒng)初始化相應(yīng)的指示燈沒有點(diǎn)亮，首先執(zhí)行“SETUP”操作，上述工作完成后，可以執(zhí)行切割操作；

E.關(guān)機(jī)步驟：按”EXIT”將畫面退到主菜單界面下，關(guān)閉主軸，按“SYS INIT”鍵，對機(jī)器做初始化，用X軸方向鍵，移動工作盤到左端，打開防水蓋，戴好防護(hù)手套，用鑷子將碎屑撿出，再用軟刷清理右邊“BELLOW”上的贓物，關(guān)上防水蓋，用X軸方向鍵移動工作盤到右端，打開防水蓋，用鑷子將碎屑揀出，再用軟刷清理左邊“BELLOW”上的贓物，關(guān)上防水蓋，按“SYSINIT”鍵，對機(jī)器做初始化，將機(jī)器前面板上的鑰匙旋轉(zhuǎn)到“OFF”位置，此時鑰匙上方的電源指示燈熄滅，將機(jī)器后面電路斷路開關(guān)旋轉(zhuǎn)到“OFF”位置。關(guān)掉變壓器開關(guān)，關(guān)掉主軸冷卻水和切割水以及壓縮空氣的閥門。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體劃片工藝，其特征在于：所述劃片前準(zhǔn)備工作的具體操作為：檢查切片刀是否安裝好，確保去離子水壓力大于0.3MPa，去離子水電阻率控制在0.5-2MΩ/cm，打開相應(yīng)劃片機(jī)的活性劑開關(guān)，打開壓縮空氣開關(guān)并確保確認(rèn)機(jī)器的后面壓力表壓力在4.0-6.0kgf/C㎡，檢查沒有工具或異物在設(shè)備里。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體劃片工藝，其特征在于：在步驟E中，進(jìn)行關(guān)閉主軸步驟前，先讓主軸帶著切割水自由運(yùn)轉(zhuǎn)5到15分鐘，關(guān)閉切割水，再讓主軸自由運(yùn)轉(zhuǎn)15分鐘。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種半導(dǎo)體劃片工藝，其特征在于：在步驟D中如果切片刀需要更換，進(jìn)行如下操作：在主菜單界面下，按F5鍵，進(jìn)入“刀片維護(hù)”界面，然后再按F1鍵，進(jìn)入“刀片更換”界面，此時主軸停止旋轉(zhuǎn)，切割水停止噴出且Y軸向后移動到換刀位置，打開防水蓋，取下前噴水蓋，如若機(jī)器帶“BBD”，還應(yīng)將“BBD”升到最高點(diǎn)，以便卸刀，使用換刀工具卸下固定刀的螺母，取下刀片，檢查并確認(rèn)刀片種類、規(guī)格是否正確，否則按F5進(jìn)入，再按F10鍵，進(jìn)入刀片庫中選出正確的規(guī)格，硬刀選用27HECC,軟刀選用SOFTBLADE，再退回“刀片更換”界面，此時界面已經(jīng)更換了新的種類及規(guī)格，或者手動輸入刀片的各項參數(shù)，將光標(biāo)移到“新/舊”攔，按F1鍵，選擇新刀或舊刀，硬刀換軟刀或軟刀換硬刀時要更改主軸轉(zhuǎn)速和使用壽命，再按“ENTER”鍵確認(rèn)刀片已更換，裝上前噴水蓋，關(guān)上防水蓋。按“SYS INIT”鍵，機(jī)器執(zhí)行初始化，按“EXIT”鍵，界面將返回“刀片維護(hù)”界面，再按“EXIT”鍵，界面將返回主菜單界面，更換新刀片后,會自動調(diào)用磨刀程序。