[發明專利]基板傳送裝置和包括其的基板檢查裝置

在審

• 申請號: 201811213590.0
• 申請日: 2018-10-18
• 公開（公告）號: CN109720874A
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發明（設計）人: 徐元國;尹貴玹;許瑛
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B65G51/03;G01N21/88
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 張波;弋桂芬

1.一種基板傳送裝置，包括：

至少一個懸浮板，其在第一方向上延伸并具有噴射孔，氣體通過所述噴射孔被噴射以使基板懸浮；

第一抽吸移動器，其配置為沿所述至少一個懸浮板的一側在所述第一方向上移動，所述第一抽吸移動器包括：

第一吸墊，其配置為選擇性地吸住所述基板的下表面的第一部分；

以及

第一旋轉驅動部分，其配置為使所述第一吸墊繞第一中心軸線旋轉；以及

第二抽吸移動器，其與所述第一抽吸移動器間隔開，并且配置為沿所述至少一個懸浮板的所述一側在所述第一方向上移動，所述第二抽吸移動器包括：

第二吸墊，其配置為選擇性地吸住所述基板的所述下表面的第二部分；以及

第二旋轉驅動部分，其配置為使所述第二吸墊繞第二中心軸線旋轉。

2.如權利要求1所述的基板傳送裝置，還包括：

導軌，其在所述第一方向上延伸；以及

可移動板，其配置為沿所述導軌在所述第一方向上移動，

其中所述第一抽吸移動器和所述第二抽吸移動器設置在所述可移動板上，以及

其中所述第一抽吸移動器在所述第一方向上與所述第二抽吸移動器間隔開。

3.如權利要求2所述的基板傳送裝置，還包括可移動塊，

其中所述可移動板通過所述可動塊設置在所述導軌上。

4.如權利要求3所述的基板傳送裝置，其中所述第一抽吸移動器和所述第二抽吸移動器固定地設置在所述可移動板上。

5.如權利要求1所述的基板傳送裝置，其中所述第一抽吸移動器包括第一旋轉軸驅動電機，所述第一旋轉軸驅動電機配置為驅動所述第一旋轉驅動部分的第一旋轉軸，以及

其中所述第二抽吸移動器包括第二旋轉軸驅動電機，所述第二旋轉軸驅動電機配置為驅動所述第二旋轉驅動部分的第二旋轉軸。

6.如權利要求1所述的基板傳送裝置，其中所述第一旋轉驅動部分還配置為，在所述第一吸墊吸住所述基板并且所述第二吸墊不吸住所述基板的第一狀態下，使所述第一吸墊旋轉以使得所述基板繞所述第一中心軸線旋轉，從而在垂直于所述第一方向的第二方向上對準所述基板，以及

其中所述第二旋轉驅動部分還配置為，在所述第一吸墊不吸住所述基板并且所述第二吸墊吸住所述基板的第二狀態下，使所述第二吸墊旋轉以使得所述基板繞所述第二中心軸線旋轉，從而在所述第二方向上對準所述基板。

7.如權利要求6所述的基板傳送裝置，其中所述第一抽吸移動器和所述第二抽吸移動器還配置為，在所述第一吸墊和所述第二吸墊吸住所述基板并且所述基板在所述第二方向上對準的第三狀態下，在所述第一方向上移動。

8.如權利要求1所述的基板傳送裝置，其中所述至少一個懸浮板包括第一懸浮板和第二懸浮板，所述第二懸浮板在垂直于所述第一方向的第二方向上與所述第一懸浮板相對設置，以及

其中所述第一抽吸移動器和所述第二抽吸移動器設置在所述第一懸浮板與所述第二懸浮板之間。

9.如權利要求8所述的基板傳送裝置，還包括導軌，該導軌在所述第一方向上延伸并且設置在所述第一懸浮板與所述第二懸浮板之間，

其中所述第一抽吸移動器和所述第二抽吸移動器設置在所述導軌上。

10.如權利要求1所述的基板傳送裝置，其中所述第一吸墊的第一上表面和所述第二吸墊的第二上表面設置得高于所述至少一個懸浮板的第三上表面。