[發明專利]基板傳送裝置和包括其的基板檢查裝置

在審

• 申請號: 201811213590.0
• 申請日: 2018-10-18
• 公開（公告）號: CN109720874A
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發明（設計）人: 徐元國;尹貴玹;許瑛
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B65G51/03;G01N21/88
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 張波;弋桂芬

本發明公開一種基板傳送裝置和包括該基板傳送裝置的基板檢查裝置，其中該基板傳送裝置包括：至少一個懸浮板，其在第一方向上延伸；第一抽吸移動器，其配置為沿所述至少一個懸浮板的一側在第一方向上移動，并且包括第一吸墊和第一旋轉驅動部分，第一吸墊配置為選擇性地吸住基板的下表面的第一部分，第一旋轉驅動部分配置為使第一吸墊繞第一中心軸線旋轉；以及第二抽吸移動器，其被設置為與第一抽吸移動器間隔開，并且配置為沿所述至少一個懸浮板的所述一側在第一方向上移動，并且包括第二吸墊和第二旋轉驅動部分，第二吸墊配置為選擇性地吸住基板的下表面的第二部分，第二旋轉驅動部分配置為使第二吸墊繞第二中心軸線旋轉。

技術領域

與示例實施方式一致的裝置和方法涉及基板傳送裝置和包括其的基板檢查裝置，更具體地，涉及用于在在線檢查裝置中傳送諸如大面積顯示面板的玻璃基板的基板傳送裝置以及包括該基板傳送裝置的基板檢查裝置。

背景技術

通常，在用于檢查諸如顯示面板的玻璃基板的在線檢查裝置中，可以使用基板傳送裝置來傳送基板。基板傳送裝置可以包括用于使基板懸浮的懸浮板、以及用于抽真空和移動基板的抽真空夾具。

然而，由于基板的X軸對準和Y軸對準可能需要大量的驅動缸，所以會大大增加執行檢查過程的成本和時間，并且與基板的摩擦可能導致顆粒或對基板的損壞。此外，因為在懸浮板之間用于基板的角度對準的夾具的旋轉驅動范圍非常有限，所以可能發生由于基板的未對準導致的工藝失敗。

發明內容

一個或更多個示例實施方式提供一種能夠減少執行檢查過程所需的成本和時間并精確對準基板的基板傳送裝置。

一個或更多個示例實施方式還提供一種包括該基板傳送裝置的基板檢查裝置。

根據示例實施方式，一種基板傳送裝置包括：至少一個懸浮板，所述至少一個懸浮板在第一方向上延伸并具有噴射孔，氣體通過該噴射孔被噴射以使基板懸浮；以及第一抽吸移動器，其配置為沿所述至少一個懸浮板的一側在第一方向上移動。第一抽吸移動器包括第一吸墊和第一旋轉驅動部分，第一吸墊配置為選擇性地吸住基板的下表面的第一部分，第一旋轉驅動部分配置為使第一吸墊繞第一中心軸線旋轉。基板傳送裝置還包括第二抽吸移動器，該第二抽吸移動器與第一抽吸移動器間隔開，并且配置為沿所述至少一個懸浮板的所述一側在第一方向上移動。第二抽吸移動器包括第二吸墊和第二旋轉驅動部分，第二吸墊配置為選擇性地吸住基板的下表面的第二部分，第二旋轉驅動部分配置為使第二吸墊繞第二中心軸線旋轉。

根據示例實施方式，一種基板傳送裝置包括：第一懸浮板，其在第一方向上延伸；第二懸浮板，其在第一方向上延伸，并且在垂直于第一方向的第二方向上與第一懸浮板相對設置，第一懸浮板和第二懸浮板中的每個具有噴射孔，氣體通過噴射孔被噴射以使基板懸浮。基板傳送裝置還包括：導軌，其在第一方向上延伸，并且設置在第一懸浮板與第二懸浮板之間；以及第一抽吸移動器，其配置為沿導軌移動，第一抽吸移動器包括第一吸墊和第一旋轉驅動部分，第一吸墊配置為選擇性地吸住基板的下表面的第一部分，第一旋轉驅動部分配置為使第一吸墊繞第一中心軸線旋轉。基板傳送裝置還包括第二抽吸移動器，其被設置為在第一方向上與第一抽吸移動器間隔開，并且配置為沿導軌移動，第二抽吸移動器包括第二吸墊和第二旋轉驅動部分，第二吸墊配置為選擇性地吸住基板的下表面的第二部分，第二旋轉驅動部分配置為使第二吸墊繞第二中心軸線旋轉。