[發(fā)明專利]一種晶圓生產(chǎn)用表面化學(xué)刻蝕裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811208389.3
• 申請日: 2018-10-17
• 公開（公告）號: CN109285784A
• 公開（公告）日: 2019-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王昌華
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇英銳半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H01L21/465
• 分類號: H01L21/465;H01L21/67;H01L21/306
• 代理公司: 常州市權(quán)航專利代理有限公司 32280
• 代理人: 袁興隆

1.一種晶圓生產(chǎn)用表面化學(xué)刻蝕裝置，包括過渡箱（1）、底板（2）、頂板（3）、左支撐板（4）和右支撐板，左支撐板（4）和右支撐板的底端分別與底板（2）頂端的左側(cè)和右側(cè)連接，并且左支撐板（4）和右支撐板的頂端分別與頂板（3）帝都的左側(cè)和右側(cè)連接，過渡箱（1）的頂端與頂板（3）的底端連接，并且過渡箱（1）的左端與左支撐板（4）的右端上側(cè)連接，過渡箱（1）的右端與右支撐板的左端上側(cè)連接，過渡箱（1）的頂端連通設(shè)置有輸送管，并且輸送管上連通設(shè)置有增壓泵，增壓泵的底端與頂板（3）的頂端左側(cè)連接，過渡箱（1）底端橫向連通設(shè)置有多組出液通孔，并且多組出液通孔的底部輸出端均連通設(shè)置有出液噴嘴（5），所述左支撐板（4）和右支撐板的之間橫向設(shè)置有放置網(wǎng)板（6）；其特征在于，包括左弧形板（7）、右弧形板、左放置板（8）、右放置板、前支撐軸（9）、后支撐軸、帶動軸（10）、上支撐軸（11）、左卡板（12）、右卡板、左安裝板（13）、右安裝板、兩組左安裝螺栓（14）和兩組右安裝螺栓，所述弧形板的左端與所述左支撐板（4）的右端中部連接，并且所述右弧形板的右端與所述右支撐板的左端中部連接，所述左弧形板（7）右端的下側(cè)中部設(shè)置有左帶動槽，并且左帶動槽內(nèi)部固定安裝有左帶動滾珠軸承，所述帶動軸（10）的左端插入并固定安裝至左帶動滾珠軸承內(nèi)部，并且所述帶動軸（10）的右端自右弧形板的左端橫向依次穿過右弧形板和右支撐板內(nèi)部并伸出至右支撐板的右端外界，帶動軸（10）的右端設(shè)置有帶動電機(jī)，所述左弧形板（7）右端的上前側(cè)和上后側(cè)分別設(shè)置有左前固定槽和左后固定槽，并且左前固定槽和左后固定槽內(nèi)部分別設(shè)置有左前滾珠軸承和左后滾珠軸承，所述右弧形板左端的上前側(cè)和上后側(cè)分別設(shè)置有右前固定槽和右后固定槽，并且右前固定槽和右后固定槽內(nèi)部分別設(shè)置有右前滾珠軸承和右后滾珠軸承，所述前支撐軸（9）的左端插入并固定安裝至左前滾珠軸承內(nèi)部，并且前支撐軸（9）的右端橫向插入并固定安裝至右前滾珠軸承內(nèi)部，所述后支撐軸的左端插入并固定安裝至左后滾珠軸承內(nèi)部，并且所述后支撐軸的右端插入并固定安裝至右后滾珠軸承內(nèi)部，所述左安裝板（13）位于所述左弧形板（7）的正上方，并且左安裝板（13）的左端與所述左支撐板（4）的右端連接，所述右安裝板位于所述右弧形板的正上方，并且右安裝板的右端與所述右支撐板的左端連接，左安裝板（13）的頂端設(shè)置有左安裝槽，并且所述右安裝板的頂端設(shè)置有右安裝槽，所述左安裝槽和右安裝槽的底端內(nèi)壁均設(shè)置為下半圓形結(jié)構(gòu)，所述左卡板（12）和右卡板的底端均設(shè)置為上半圓結(jié)構(gòu)，所述左放置板（8）的底端中部與所述左卡板（12）的頂端連接，并且左放置板（8）頂端的前側(cè)和后側(cè)均設(shè)置有上下貫穿的左安裝通孔，所述左安裝板（13）頂端的前側(cè)和后側(cè)均設(shè)置有左安裝螺紋孔，所述左卡板（12）的底端可滑動插入至左安裝槽內(nèi)部，并且所述兩組左安裝螺栓（14）的底端分別穿過兩組左安裝通孔內(nèi)部并伸出至左放置板（8）的底端外界，所述兩組左安裝螺栓（14）的底端分別可插入并螺裝至兩組左安裝螺紋孔內(nèi)部，所述右放置板的底端中部與所述右卡板的頂端連接，并且右放置板頂端的前側(cè)和后側(cè)均設(shè)置有上下貫穿的右安裝通孔，所述右安裝板頂端的前側(cè)和后側(cè)均設(shè)置有右安裝螺紋孔，所述右卡板的底端可滑動插入至右安裝槽內(nèi)部，并且所述兩組右安裝螺栓的底端分別穿過兩組右安裝通孔內(nèi)部并伸出至右放置板的底端外界，所述兩組右安裝螺栓的底端分別可插入并螺裝至兩組右安裝螺紋孔內(nèi)部，所述帶動軸（10）上均布固定套裝設(shè)置有多組帶動凹型輪，并且所述前支撐軸（9）上對應(yīng)均布固定套裝設(shè)置有多組前凹型輪，所述后支撐軸上對應(yīng)均布固定套裝設(shè)置有多組后凹型輪，并且所述上支撐軸（11）上對應(yīng)均布固定套裝設(shè)置有多組上凹型輪，并且上支撐軸（11）的左端安裝有左上滾珠軸承，上支撐軸（11）的右端安裝有右上滾珠軸承；還包括收集箱（15）、兩組左滑輪（16）、兩組右滑輪、左滑軌（17）、右滑軌、固定環(huán)（18）、左銷桿（19）、右銷桿、固定座（20）、左彈簧（21）和右彈簧，所述兩組左滑輪（16）的頂端分別與所述收集箱（15）底端外壁的左前側(cè)和左后側(cè)連接，并且兩組右滑輪的頂端分別與所述收集箱（15）底端外壁的右前側(cè)和右后側(cè)連接，所述收集箱（15）的頂端與所述放置網(wǎng)板（6）的底端接觸，并且收集箱（15）的頂端設(shè)置有收集槽，所述左滑軌（17）位于所述左支撐板（4）的右側(cè)，并且所述右滑軌位于所述右支撐板的左側(cè)，所述左滑軌（17）前后方向上固定安裝在所述底板（2）的頂端左側(cè)，并且所述右滑軌前后方向上固定安裝在所述底板（2）的頂端右側(cè)，所述兩組左滑輪（16）與所述左滑軌（17）內(nèi)部可滑動配合，并且所述兩組右滑輪與所述右滑軌內(nèi)部可滑動配合，所述固定座（20）的底端與所述底板（2）的頂端中部前側(cè)連接，并且固定座（20）的頂端設(shè)置有前后貫穿的固定通槽，固定座（20）的左端和右端分別橫向設(shè)置有左銷孔和右銷孔，所述左銷孔和右銷孔均與所述固定通槽相通，所述左彈簧（21）的右端與所述固定座（20）的左端連接，并且所述左彈簧（21）的內(nèi)部與所述左銷孔的內(nèi)部橫向同心設(shè)置，所述左銷桿（19）的右端自左彈簧（21）的左端依次穿過左彈簧（21）和左銷孔的內(nèi)部并伸入至固定通槽內(nèi)部，左銷桿（19）的左端設(shè)置有左拉板，并且左拉板的右端與所彈簧的左端連接，所述右彈簧的左端與所述固定座（20）的右端連接，并且所述右彈簧的內(nèi)部與所述右銷孔的內(nèi)部橫向同心設(shè)置，所述右銷桿的左端自右彈簧的右端依次穿過右彈簧和右銷孔的內(nèi)部并伸入至固定通槽內(nèi)部，右銷桿的右端設(shè)置有右拉板，并且右拉板的左端與所述右彈簧的右端連接，所述固定環(huán)（18）的頂端與所述收集箱（15）的底端中部前側(cè)連接。