[發(fā)明專利]基板支撐部件及包括該基板支撐部件的基板處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811195803.1
• 申請(qǐng)日: 2018-10-15
• 公開（公告）號(hào): CN109686680B
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李相起
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 細(xì)美事有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 北京鉦霖知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11722
• 代理人: 金丹;李強(qiáng)

1.一種基板支撐部件，用于支撐基板，其特征在于，

所述基板支撐部件包括：

氣體流路，向所述基板背面供給氣體，

所述氣體流路設(shè)置有氣體流動(dòng)限制部件，所述氣體流動(dòng)限制部件在所述氣體流路中沿氣體流動(dòng)方向?qū)怏w流動(dòng)進(jìn)行不同流量的限制，所述氣體流動(dòng)限制部件設(shè)置為，經(jīng)過所述氣體流路排氣時(shí)的氣體流量比經(jīng)過所述氣體流路供給氣體時(shí)的氣體流量大。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支撐部件，其特征在于，

所述氣體流動(dòng)限制部件可移動(dòng)地設(shè)置于所述氣體流路中。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板支撐部件，其特征在于，

所述氣體流動(dòng)限制部件通過所述氣體的流動(dòng)而在所述氣體流路中移動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板支撐部件，其特征在于，

所述氣體流動(dòng)限制部件沿所述氣體流動(dòng)方向在所述氣體流路中移動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板支撐部件，其特征在于，

所述氣體流路包括：

收容部，可收容所述氣體流動(dòng)限制部件；以及

上部流路和下部流路，所述上部流路以所述收容部為中心，位于所述收容部的上方，所述下部流路以所述收容部為中心，位于所述收容部的下方，

所述收容部通過上部開口與所述上部流路相連通，通過下部開口與所述下部流路相連通，

所述氣體流動(dòng)限制部件無法通過所述上部開口及下部開口。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板支撐部件，其特征在于，

所述氣體流動(dòng)限制部件在收容部?jī)?nèi)進(jìn)行上升或下降，來堵截所述上部開口或下部開口，

所述氣體流動(dòng)限制部件堵截所述下部開口時(shí)的氣體流動(dòng)不受限的非堵截區(qū)域比所述氣體流動(dòng)限制部件在堵截所述上部開口時(shí)的氣體流動(dòng)不受限的非堵截區(qū)域大。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板支撐部件，其特征在于，

所述上部開口和所述下部開口的形狀有區(qū)別，使得所述氣體流動(dòng)限制部件堵截所述下部開口的非堵截區(qū)域比所述氣體流動(dòng)限制部件堵截所述上部開口時(shí)的非堵截區(qū)域大。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板支撐部件，其特征在于，

所述上部開口和所述下部開口的大小有區(qū)別，使得所述氣體流動(dòng)限制部件堵截所述下部開口時(shí)的非堵截區(qū)域比所述氣體流動(dòng)限制部件堵截所述上部開口時(shí)的非堵截區(qū)域大。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板支撐部件，其特征在于，

所述氣體流動(dòng)限制部件的形狀不同，使得所述氣體流動(dòng)限制部件堵截所述下部開口時(shí)的非堵截區(qū)域比所述氣體流動(dòng)限制部件堵截所述上部開口時(shí)的非堵截區(qū)域大。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板支撐部件，其特征在于，

所述氣體流動(dòng)限制部件的上部和下部的形狀不對(duì)稱。

11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板支撐部件，其特征在于，

所述氣體流動(dòng)限制部件內(nèi)形成有貫通流路，

所述氣體流動(dòng)限制部件堵截所述下部開口時(shí)經(jīng)過所述貫通流路的氣體流量比所述氣體流動(dòng)限制部件堵截所述上部開口時(shí)經(jīng)過所述貫通流路的氣體流量大。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的基板支撐部件，其特征在于，

所述貫通流路包括：

上部貫通流路及下部貫通流路，

當(dāng)所述氣體流動(dòng)限制部件堵截所述上部開口時(shí)，所述上部貫通流路連通所述收容部和所述上部流路，

當(dāng)所述氣體流動(dòng)限制部件堵截所述下部開口時(shí)，所述下部貫通流路連通所述收容部和所述下部流路，

所述下部貫通流路的直徑比所述上部貫通流路的直徑大。