[發明專利]基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設備

在審

• 申請號: 201811188865.X
• 申請日: 2018-10-12
• 公開（公告）號: CN109182980A
• 公開（公告）日: 2019-01-11
• 發明（設計）人: 駱俊
• 申請（專利權）人: 駱俊
• 主分類號: C23C14/28
• 分類號: C23C14/28;C23C14/54;C23C14/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設備，其特征在于，包括主控板、超聲波厚度檢測組件、智能激光發射器、一驅動機構、三個第一反射鏡、真空室、三個用于固定不同的源材料靶材的第一固定平臺以及用于沉積形成復合材料的基片；

所述第一固定平臺以及基片均設置于所述真空室內，所述三個第一固定平臺分別與所述基片的預設區域相對，所述真空室設置有通光部，所述智能激光發射器與所述第一反射鏡的出光方向呈預設夾角；所述驅動機構與所述智能激光發射器連接以驅動所述智能激光發射器沿著預設直線移動，使得所述智能激光發射器發出的激光選擇性地射入至所述三個第一反射鏡中的一個第一反射鏡，所述第一反射鏡用于將激光通過所述通光部射入所述真空室中的對應所述第一固定平臺處；

所述主控板與所述智能激光發射器、所述三個驅動機構以及所述超聲波厚度檢測組件分別通信連接，所述超聲波厚度檢測組件將檢測到的厚度分布信息上傳給所述主控板，所述主控板根據所述厚度分布信息控制所述智能激光發射器的發射功率，并在完成對一個基片的沉積操作后，控制所述驅動機構驅動所述智能激光發射器沿著預設直線移動，使得所述智能激光發射器發出的激光選擇性地射入至所述三個第一反射鏡中的一個第一反射鏡。

2.根據權利要求1所述的基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設備，其特征在于，所述基片的上表面設置有靜電吸附吸附層，以增強復合材料的沉積效率。

3.根據權利要求2所述的基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設備，其特征在于，所述基片上與所述第一固定平臺相對的一面貼有掩模。

4.根據權利要求3所述的基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設備，其特征在于，所述掩模上設置有多個呈矩陣分布的沉積孔。

5.根據權利要求4所述的基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設備，其特征在于，所述第一固定平臺內部設置有加熱組件，所述加熱組件包括多個呈矩形陣列分布的加熱元件，該多個加熱元件分別與該多個沉積孔相對，所述主控板用于根據所述厚度分布信息控制對應的加熱組件的各個加熱元件以對應的功率進行加熱，其中，復合材料沉積的平均厚度大的基片對應的加熱元件的加熱功率大于復合材料沉積的平均厚度小的基片。

6.根據權利要求1所述的基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設備，其特征在于，所述真空室的壁上設置有三個通孔，所述通光部包括覆蓋在所述三個通孔處的三個石英玻璃。

7.根據權利要求6所述的基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設備，其特征在于，還包括用于提供惰性氣體的儲氣結構以及用于抽出惰性氣體的真空泵；所述真空室的側壁上開設進氣孔以及出氣孔，所述儲氣結構通過所述進氣孔與所述真空室連通，所述真空泵通過所述出氣孔與所述真空室連通。

8.根據權利要求1所述的基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設備，其特征在于，所述超聲波厚度檢測組件包括超聲波發射探頭以及超聲波接收探頭，所述超聲波發射探頭以及超聲波接收探頭分別與所述主控板電連接。