[發(fā)明專利]基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設(shè)備

在審

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• 申請日: 2018-10-12
• 公開（公告）號: CN109182980A
• 公開（公告）日: 2019-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 駱俊
• 申請（專利權(quán)）人: 駱俊
• 主分類號: C23C14/28
• 分類號: C23C14/28;C23C14/54;C23C14/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明提供了一種基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設(shè)備，包括智能激光發(fā)射器、一驅(qū)動機構(gòu)、三個第一反射鏡、真空室、三個用于固定不同的源材料靶材的第一固定平臺以及用于沉積形成復合材料的基片；所述第一固定平臺以及基片均設(shè)置于所述真空室內(nèi)，所述三個第一固定平臺分別與所述基片的預(yù)設(shè)區(qū)域相對，真空室設(shè)置有通光部，所述智能激光發(fā)射器與所述第一反射鏡的出光方向呈預(yù)設(shè)夾角；所述驅(qū)動機構(gòu)與所述智能激光發(fā)射器連接以驅(qū)動所述智能激光發(fā)射器沿著預(yù)設(shè)直線移動，使得所述智能激光發(fā)射器發(fā)出的激光選擇性地射入至所述三個第一反射鏡中的一個第一反射鏡，所述第一反射鏡用于將激光通過所述通光部射入所述真空室中的對應(yīng)所述第一固定平臺處。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及復合材料制備領(lǐng)域，特別涉及一種基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設(shè)備。

背景技術(shù)

目前在材料學領(lǐng)域有非常大的熱點集中于對復合材料的研究，譬如太陽能材料，這些復合材料的性能都主要由其成份決定。為了研究以及優(yōu)化這些材料，通常方法是一個一個地合成材料。這種探索的過程非常耗時間。因此非常有必要尋找一種高效的系統(tǒng)的探索研究復合材料的方法。這樣復合材料的研究特別是還沒有被充分開發(fā)利用的三成份或者四成份的復合材料的研究效率會大大提高。

然而，這種把薄膜沉積和掩模組合在一起的方法是在沉積后再混合的。它帶來了一系列的問題，譬如分相，掩模錯位和過程復雜，等等。這些問題一直沒辦法解決，而且漸漸成為這種方法的根本問題。

因此，隨著在材料領(lǐng)域?qū)秃喜牧显絹碓綕夂竦呐d趣，一種更可靠更高效的復合材料合成方法變得尤其重要。

然而，脈沖激光沉積具有一個很突出的缺點，就是生長速率的不均勻性，也就是在基片上各處薄膜厚度會不一致。然而在此發(fā)明中正是利用脈沖激光沉積的生長速率不均勻性來合成材料，從而使基片上各點的組分不一樣。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實施例提供一種基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設(shè)備，具有快速沉積多種不同復合材料的有益效果。

本發(fā)明實施例提供一種基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設(shè)備，其特征在于，包括主控板、超聲波厚度檢測組件、智能激光發(fā)射器、一驅(qū)動機構(gòu)、三個第一反射鏡、真空室、三個用于固定不同的源材料靶材的第一固定平臺以及用于沉積形成復合材料的基片；

所述第一固定平臺以及基片均設(shè)置于所述真空室內(nèi)，所述三個第一固定平臺分別與所述基片的預(yù)設(shè)區(qū)域相對，所述真空室設(shè)置有通光部，所述智能激光發(fā)射器與所述第一反射鏡的出光方向呈預(yù)設(shè)夾角；所述驅(qū)動機構(gòu)與所述智能激光發(fā)射器連接以驅(qū)動所述智能激光發(fā)射器沿著預(yù)設(shè)直線移動，使得所述智能激光發(fā)射器發(fā)出的激光選擇性地射入至所述三個第一反射鏡中的一個第一反射鏡，所述第一反射鏡用于將激光通過所述通光部射入所述真空室中的對應(yīng)所述第一固定平臺處；

所述主控板與所述智能激光發(fā)射器、所述三個驅(qū)動機構(gòu)以及所述超聲波厚度檢測組件分別通信連接，所述超聲波厚度檢測組件將檢測到的厚度分布信息上傳給所述主控板，所述主控板根據(jù)所述厚度分布信息控制所述智能激光發(fā)射器的發(fā)射功率，并在完成對一個基片的沉積操作后，控制所述驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動所述智能激光發(fā)射器沿著預(yù)設(shè)直線移動，使得所述智能激光發(fā)射器發(fā)出的激光選擇性地射入至所述三個第一反射鏡中的一個第一反射鏡。

在本發(fā)明所述的基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設(shè)備中，所述基片的上表面設(shè)置有靜電吸附吸附層，以增強復合材料的沉積效率。

在本發(fā)明所述的基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設(shè)備中，所述基片上與所述第一固定平臺相對的一面貼有掩模。

在本發(fā)明所述的基于超聲波檢測的智能化復合材料沉積設(shè)備中，所述掩模上設(shè)置有多個呈矩陣分布的沉積孔。