[發明專利]用于SAW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置及控溫方法

在審

• 申請號: 201811164611.4
• 申請日: 2018-10-06
• 公開（公告）號: CN109164846A
• 公開（公告）日: 2019-01-08
• 發明（設計）人: 初瑞清;徐志軍;賀笑春
• 申請（專利權）人: 煙臺大學
• 主分類號: G05D23/22
• 分類號: G05D23/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明屬于聲表面波濾波器生產技術領域，公開了一種用于SAW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置及控溫方法。用于SAW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置包括精密阻抗分析儀、保溫倉和溫度采集單元，精密阻抗分析儀的測試端放置有待測的SAW器件；保溫倉包括箱體和控制箱體內部溫度的溫度控制器，精密阻抗分析儀的測試端與保溫倉的內壁連接；溫度采集單元包括置于箱體內部的第一溫度傳感器和靠近精密阻抗分析儀的測試端的第二溫度傳感器?？販胤椒☉糜谏鲜龅挠糜赟AW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置中。本發明提供的用于SAW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置及控溫方法，解決現有技術中存在的傳感時間長、測量精度差、不能原位測量等問題。

技術領域

本發明屬于聲表面波濾波器生產技術領域，具體涉及用于SAW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置及控溫方法。

背景技術

SAW器件廣泛應用在通信、遙測、導航和測量等行業中，而隨著行業的快速發展，要求SAW器件不斷向高靈敏、高頻、低損耗、小型化方向發展。制作SAW器件基片壓電材料的特性將直接影響SAW器件的各項性能，進而對SAW傳感器的性能指標產生重要影響。

在眾多影響因素中，環境溫度是影響SAW器件特性的重要參數之一。隨著環境溫度的變化，SAW器件的許多參數，如介電常數、彈性常數、壓電常數、介質損耗、機械品質因數以及機電耦合系數等都將隨之發生變化，進而SAW器件的波速、頻率也會因此而發生漂移。同時溫度的變化還會產生熱應力，惡化SAW器件的工作性能。因此，深入了解SAW器件特性隨環境溫度變化的關系，對于制備良好穩定性的SAW器件具有重要的理論意義及實用價值。

目前，國際上測試SAW器件特性隨溫度變化關系的裝置，都是利用導線將外部控溫裝置與安捷倫4294精密阻抗分析儀或其它型號阻抗分析儀相連接進行測量。這種測量方式不僅不能原位表征壓電材料參數隨溫度的變化關系，而且由于導線的長度也造成了傳輸損耗，降低了測量的精確性。測量精確性的降低，不僅會影響SAW器件溫度補償電路的設計，而且在高精密應用中也會由于環境溫度的變化，引起很大的誤差，甚至會造成難以挽回的損失。

發明內容

本發明的目的在于提供一種用于SAW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置及控溫方法，解決現有技術中存在的傳感時間長、測量精度差、不能原位測量等問題。

本發明所采用的技術手段是：

一種用于SAW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置，包括：

精密阻抗分析儀，所述精密阻抗分析儀的測試端放置有待測的SAW器件；

保溫倉，包括箱體和控制所述箱體內部溫度的溫度控制器，所述精密阻抗分析儀的測試端與所述箱體的內壁連接；

溫度采集單元，包括置于所述箱體內部的第一溫度傳感器和靠近所述精密阻抗分析儀的測試端的第二溫度傳感器。

作為優選技術方案，所述箱體的側壁包括內側壁和外側壁，所述內側壁與所述外側壁間隔設置，且所述內側壁與所述外側壁之間鋪設有導熱管，所述導熱管與所述溫度控制器連接，所述箱體內的溫度設定為10-85℃。

作為優選技術方案，所述導熱管為銅管，所述銅管的兩端均穿過所述箱體的外側壁，并置于所述箱體的外側。

作為優選技術方案，所述溫度控制器包括可調低溫恒溫槽，所述低溫恒溫槽內設有液體，且液體通過進液管和出液管能在所述導熱管內循環流動。

作為優選技術方案，所述內側壁與所述外側壁之間填充有保溫棉，所述內側壁由銅或鋁制作而成。

作為優選技術方案，還包括控制單元，所述控制單元包括主控制器，所述主控制器分別與所述精密阻抗分析儀、所述溫度控制器、所述第一溫度傳感器和所述第二溫度傳感器電連接。