[發明專利]用于SAW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置及控溫方法

在審

• 申請號: 201811164611.4
• 申請日: 2018-10-06
• 公開（公告）號: CN109164846A
• 公開（公告）日: 2019-01-08
• 發明（設計）人: 初瑞清;徐志軍;賀笑春
• 申請（專利權）人: 煙臺大學
• 主分類號: G05D23/22
• 分類號: G05D23/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于SAW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置，其特征在于，包括：

精密阻抗分析儀(1)，所述精密阻抗分析儀(1)的測試端(11)放置有待測的SAW器件；

保溫倉(2)，包括箱體(21)和控制所述箱體(21)內部溫度的溫度控制器(22)，所述精密阻抗分析儀(1)的測試端(11)與所述箱體(21)的內壁連接；

溫度采集單元，包括置于所述箱體(21)內部的第一溫度傳感器(31)和靠近所述精密阻抗分析儀(1)的測試端(11)的第二溫度傳感器(32)。

2.根據權利要求1所述的用于SAW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置，其特征在于，所述箱體(21)的側壁包括內側壁和外側壁，所述內側壁與所述外側壁間隔設置，且所述內側壁與所述外側壁之間鋪設有導熱管(23)，所述導熱管(23)與所述溫度控制器(22)連接。

3.根據權利要求2所述的用于SAW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置，其特征在于，所述導熱管(23)為銅管，所述銅管的兩端均穿過所述箱體(21)的外側壁，并置于所述箱體(21)的外側。

4.根據權利要求2所述的用于SAW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置，其特征在于，所述溫度控制器(22)包括可調低溫恒溫槽，所述低溫恒溫槽內設有液體，且液體通過進液管和儲出液管能在所述導熱管(23)內循環流動，所述箱體(21)內的溫度設定為10-85℃。

5.根據權利要求2所述的用于SAW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置，其特征在于，所述內側壁與所述外側壁之間填充有保溫棉，所述內側壁由銅或鋁制作而成。

6.根據權利要求1所述的用于SAW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置，其特征在于，還包括控制單元，所述控制單元包括主控制器，所述主控制器分別與所述精密阻抗分析儀(1)、所述溫度控制器(22)、所述第一溫度傳感器(31)和所述第二溫度傳感器(32)電連接。

7.根據權利要求6所述的用于SAW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置，其特征在于，所述控制單元還包括能設定所述SAW器件的預測量溫度的上位機，所述上位機與所述控制器電連接。

8.根據權利要求1所述的用于SAW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置，其特征在于，所述精密阻抗分析儀包括外殼、觸摸屏、阻抗分析電路板、控制開關和接插口，所述觸摸屏、控制開關和接插口分布在所述外殼的正面板上，所述阻抗分析電路板位于外殼內，并分別與所述觸摸屏、控制開關和接插口相連接。

9.根據權利要求8所述的用于SAW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置，其特征在于，所述外殼包括正面板、背面板、上殼體、下殼體和連接板，所述上殼體和下殼體通過連接板相連接形成具有內部空間的腔體，所述正面板和背面板相應設置在腔體的前后兩端；

所述下殼體上設有安裝柱，該安裝柱的上端面上設有螺紋孔，并在所述阻抗分析電路板上設有與該螺紋孔相適配的安裝孔；

所述阻抗分析電路板包括PCB基板及設置在該PCB基板上的電源模塊、掃頻信號生成模塊、阻抗匹配模塊、被測網絡模塊、采集電路模塊和控制單元，該控制單元分別與所述電源模塊、掃頻信號生成模塊、阻抗匹配模塊、被測網絡模塊和采集電路模塊相連接。

10.一種控溫方法，其特征在于，應用于權利要求1-9任一項所述的用于SAW諧振、反諧振頻率測量的控溫裝置中，其包括以下步驟：

將SAW器件放置在精密阻抗分析儀(1)的測試端(11)；

啟動溫度控制器(22)，并使保溫倉(2)的箱體(21)內的溫度升溫，且保持一定的溫度；

將第一溫度傳感器(31)采集的溫度值與第二溫度傳感器(32)采集的溫度值進行比較，直至使二者的差值小于設定的誤差值；

精密阻抗分析儀(1)采集SAW器件的諧振、反諧振頻率。