[發(fā)明專利]半導(dǎo)體工藝裝置及其工作方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811147945.0
• 申請(qǐng)日: 2018-09-29
• 公開（公告）號(hào): CN109326541A
• 公開（公告）日: 2019-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳伯廷;吳宗祐;林宗賢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 徐文欣;吳敏

一種半導(dǎo)體工藝裝置及其工作方法，其中，半導(dǎo)體工藝裝置包括：腔室，所述腔室具有進(jìn)氣口，所述進(jìn)氣口用于向腔室內(nèi)輸入反應(yīng)氣體；感溫元件，位于腔室外，用于檢測(cè)腔室內(nèi)熱輻射信息；控制單元，用于獲取所述腔室內(nèi)熱輻射信息，并在腔室內(nèi)熱輻射信息與腔室材料的熱輻射信息一致時(shí)，停止向腔室內(nèi)輸入反應(yīng)氣體。利用所述半導(dǎo)體工藝裝置能夠完全去除腔室內(nèi)側(cè)壁的副產(chǎn)物，還能夠減少對(duì)腔室內(nèi)側(cè)壁的損傷。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體工藝裝置及其工作方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體工藝制造過程中，所述半導(dǎo)體工藝通常在相應(yīng)的腔室內(nèi)進(jìn)行，在進(jìn)行半導(dǎo)體工藝的過程中，易在腔室的內(nèi)側(cè)壁產(chǎn)生副產(chǎn)物。為了防止副產(chǎn)物對(duì)后續(xù)工藝造成影響，通常定期對(duì)腔室的內(nèi)側(cè)壁進(jìn)行清潔保養(yǎng)。目前，清潔保養(yǎng)的方法包括：物理擦拭法和化學(xué)去除法。

然而，現(xiàn)有方法對(duì)腔室內(nèi)側(cè)壁的清潔保養(yǎng)的效果較差。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的技術(shù)問題是提供一種半導(dǎo)體工藝裝置及其工作方法，能夠保證腔室內(nèi)側(cè)壁清洗度，且減少對(duì)腔室內(nèi)側(cè)壁造成損傷。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體工藝裝置，包括：腔室，所述腔室具有進(jìn)氣口，所述進(jìn)氣口用于向腔室內(nèi)輸入反應(yīng)氣體；感溫元件，位于腔室外，用于檢測(cè)腔室內(nèi)熱輻射信息；控制單元，用于獲取所述腔室內(nèi)熱輻射信息，并在腔室內(nèi)熱輻射信息與腔室材料的熱輻射信息一致時(shí)，停止向腔室內(nèi)輸入反應(yīng)氣體。

可選的，所述腔室用于進(jìn)行化學(xué)氣相沉積工藝、原子層沉積工藝或者干法刻蝕工藝。

可選的，所述感溫元件包括：全輻射溫度傳感器。

可選的，還包括：輸氣管，所述輸氣管與進(jìn)氣口連通，所述輸氣管用于向腔室內(nèi)輸入反應(yīng)氣體；開關(guān)，用于控制輸氣管內(nèi)的反應(yīng)氣體流動(dòng)或者停止。

可選的，還包括：驗(yàn)證單元，用于驗(yàn)證腔室內(nèi)側(cè)壁是否潔凈；所述驗(yàn)證單元包括：判斷單元，所述判斷單元用于判斷腔室內(nèi)熱輻射信息與腔室材料的熱輻射信息是否一致；反饋單元，當(dāng)腔室內(nèi)熱輻射信息與腔室材料的熱輻射信息一致時(shí)，所述反饋單元用于停止向腔室內(nèi)通入反應(yīng)氣體，當(dāng)所述腔室內(nèi)熱輻射信息與腔室材料的熱輻射信息不一致時(shí)，所述反饋單元用于向腔室內(nèi)通入反應(yīng)氣體。

相應(yīng)的，本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體工藝裝置的工作方法，包括：提供上述半導(dǎo)體工藝裝置；提供反應(yīng)氣體，所述反應(yīng)氣體通過進(jìn)氣口進(jìn)入腔室內(nèi)，所述反應(yīng)氣體對(duì)腔室內(nèi)側(cè)壁進(jìn)行清潔；采用感溫元件檢測(cè)腔室內(nèi)熱輻射信息；利用控制單元獲取所述腔室內(nèi)熱輻射信息，當(dāng)腔室內(nèi)熱輻射信息與腔室材料的熱輻射信息一致時(shí)，所述控制單元停止向腔室內(nèi)輸入反應(yīng)氣體。

可選的，所述控制單元停止向腔室內(nèi)輸入反應(yīng)氣體之后，還包括：通過驗(yàn)證單元進(jìn)行驗(yàn)證試驗(yàn)；所述驗(yàn)證單元包括：判斷單元，所述判斷單元用于判斷腔室內(nèi)熱輻射信息與腔室材料的熱輻射信息一致；反饋單元，當(dāng)腔室內(nèi)熱輻射信息與腔室材料的熱輻射信息一致時(shí)，所述反饋單元用于停止向腔室內(nèi)通入反應(yīng)氣體，當(dāng)所述腔室內(nèi)熱輻射信息與腔室材料的熱輻射信息不一致時(shí)，所述反饋單元用于向腔室內(nèi)通入反應(yīng)氣體；所述驗(yàn)證試驗(yàn)的方法包括：對(duì)腔室進(jìn)行升溫處理；開啟感溫元件；當(dāng)所述升溫處理達(dá)到目標(biāo)溫度及開啟感溫元件之后，對(duì)腔室的溫度進(jìn)行降溫處理；在降溫處理的過程中，通過所述感溫元件檢測(cè)腔室內(nèi)熱輻射信息；通過判斷單元判斷腔室內(nèi)熱輻射信息與腔室材料的熱輻射信息是否一致；當(dāng)腔室內(nèi)熱輻射信息與腔室材料的熱輻射信息一致時(shí)，所述反饋單元停止向腔室內(nèi)通入反應(yīng)氣體；當(dāng)腔室內(nèi)熱輻射信息與腔室材料的熱輻射信息不一致時(shí)，所述反饋單元向腔室內(nèi)通入反應(yīng)氣體。

可選的，當(dāng)腔室材料的熱輻射信息為腔室材料溫度相對(duì)于時(shí)間的變化關(guān)系信息時(shí)，所述感溫元件檢測(cè)腔室內(nèi)熱輻射信息為腔室內(nèi)溫度相對(duì)于時(shí)間的變化關(guān)系信息。

可選的，當(dāng)腔室材料的熱輻射信息為腔室材料的波長相對(duì)于溫度的變化關(guān)系信息時(shí)，所述感溫元件檢測(cè)的熱輻射信息為腔室內(nèi)波長相對(duì)于溫度變化關(guān)系信息。