[發明專利]一種靶材的制作方法有效
| 申請號： | 201811146501.5 | 申請日： | 2018-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN109023269B | 公開（公告）日： | 2021-01-05 |
| 發明（設計）人： | 陳欽忠;陳寶忠;林志河;蔡小勇;邱樹將 | 申請（專利權）人： | 福建阿石創新材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京高沃律師事務所 11569 | 代理人： | 張海青 |
| 地址： | 350200 福建省福州*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 制作方法 | ||
1.一種靶材的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：
采用電刷鍍方式在靶坯的接觸面制作第一膜層；
采用電刷鍍方式在背板的接觸面制作第二膜層；所述第二膜層與所述第一膜層材質相同；所述第一膜層和所述第二膜層均為銦膜層；所述第一膜層和所述第二膜層的厚度均為0.1mm；
用自來水將所述靶坯和所述背板沖凈、吹干；
將所述靶坯和所述背板疊合固定在加熱平臺上；疊合時所述靶坯的接觸面的第一膜層與所述背板的接觸面的第二膜層接觸；
打開所述加熱平臺，調節溫度范圍，所述溫度范圍為高于所述第一膜層和第二膜層的熔點，且小于所述靶坯和所述背板的熔點的溫度范圍；
保溫保壓1小時后關閉所述加熱平臺；
冷卻后，完成所述靶坯與所述背板的結合，完成靶材的制作。
2.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述采用電刷鍍方式在靶坯的接觸面制作第一膜層，具體包括：
將所述靶坯固定于鋁合金卡槽上，所述卡槽連接電源的負極，電鍍筆連接電源的正極；
打開所述電源，并調節所述電源的電壓在10V～20V之間；
將所述電鍍筆蘸取堿性銦溶液與靶坯接觸，并施加壓力均勻涂覆在所述靶坯的接觸面；
涂覆完成后，生成第一膜層；
關閉所述電源。
3.根據權利要求2所述的制作方法，其特征在于，所述靶坯的接觸面上涂覆堿性銦溶液的時間為0.5～1分鐘。
4.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述采用電刷鍍方式在背板的接觸面制作第二膜層，具體包括：
將所述背板固定于鋁合金卡槽上，所述卡槽連接電源的負極，電鍍筆連接電源的正極；
打開所述電源，并調節所述電源的電壓在10V～20V之間；
將所述電鍍筆蘸取堿性銦溶液與背板接觸，并施加壓力均勻涂覆在所述背板的接觸面；
涂覆完成后，生成第二膜層；
關閉所述電源。
5.根據權利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述背板的接觸面上涂覆堿性銦溶液的時間為0.5～1分鐘。
6.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述加熱平臺的溫度范圍為160℃～180℃。
7.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述將所述靶坯和所述背板疊合固定在加熱平臺上，之后用G型夾或鐵塊對所述靶坯和所述背板的疊合施加壓力。
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