[發明專利]一種濺射靶材的清潔方法及裝置

有效

• 申請號: 201811145384.0
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN109295427B
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發明（設計）人: 劉偉;劉偉文;陳丹丹;林海華;彭紹文
• 申請（專利權）人: 廈門乾照光電股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B08B7/00;B08B15/04;B24B1/00;B24B55/06;B24D18/00;B24D99/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 尹秀;王寶筠

本發明公開了一種濺射靶材的清潔方法及清潔裝置，該清潔方法包括利用海綿砂塊的第一面對靶材的濺射面的第一區域進行第一次打磨，去除第一區域的氧化物；對第一次打磨過程中產生的打磨雜質進行第一靜電吸附，去除第一次打磨過程中產生的打磨雜質；利用海綿砂塊的第二面對靶材的濺射面進行第二次打磨，海綿砂塊第二面的粗糙度小于海綿砂塊第一面的粗糙度；對第二次打磨過程中產生的打磨雜質進行第二靜電吸附，去除第二次打磨過程中產生的打磨雜質；對靶材進行烘烤；對靶材的濺射面進行等離子處理，對靶材的濺射面進行第三次打磨。通過該方法清潔靶材，可以獲得更加平整的表面，避免出現尖端放電現象，并且不會造成車間污染。

技術領域

本發明涉及靶材清潔技術領域，特別是涉及一種濺射靶材的清潔方法及裝置。

背景技術

在磁控濺射鍍膜過程中，隨時鍍膜時間的累積，會在靶材表面累積形成一些從幾微米到幾毫米的顆粒，如果不對所述靶材進行清潔保養，去除所述靶材表面產生的這些顆粒，會影響鍍膜質量，而且，隨著靶材表面顆粒附著量的增加，會在靶材表面產生結瘤，本領域稱之為靶材中毒現象，導致靶材報廢，影響靶材的使用壽命。因此，如何對濺射靶材進行清潔，以延長靶材的使用壽命，成為本領域技術人員亟待解決的問題。

發明內容

本發明的目的是提供一種濺射靶材的清潔方法及裝置，以解決現有技術中清潔靶材表面時，在靶材表面產生劃痕影響鍍膜質量的問題，并且清潔過程中產生的粉塵造成車間污染的問題。

為解決上述技術問題，本發明提供了以下技術方案：

一種濺射靶材的清潔方法，包括：

利用海綿砂塊的第一面對靶材的濺射面的第一區域進行第一次打磨，去除所述第一區域的氧化物；

對所述第一次打磨過程中產生的打磨雜質進行第一靜電吸附，去除所述第一次打磨過程中產生的打磨雜質；

利用所述海綿砂塊的第二面對所述靶材的濺射面進行第二次打磨，所述海綿砂塊第二面的粗糙度小于所述海綿砂塊第一面的粗糙度；

對所述第二次打磨過程中產生的打磨雜質進行第二靜電吸附，去除所述第二次打磨過程中產生的打磨雜質；

對所述靶材進行烘烤；

對所述靶材的濺射面進行等離子處理，對所述靶材的濺射面進行第三次打磨。

可選的，該方法在利用所述海綿砂塊的第二面對所述靶材的濺射面進行第二次打磨之后還包括：

對所述靶材的濺射面進行擦拭，確認所述靶材的濺射面是否存在滿足預設條件的劃痕；

如果所述靶材的濺射面存在滿足預設條件的劃痕，繼續利用所述海綿砂塊的第二面對所述靶材的濺射面進行第二次打磨；

如果所述靶材的濺射面不存在滿足預設條件的劃痕，對所述第二次打磨過程中產生的打磨雜質進行第二靜電吸附，去除所述第二次打磨過程中產生的打磨雜質。

可選的，所述海綿砂塊第一面具有多個凸起，所述海綿砂塊的第一面單位英寸內的凸起的數量的取值范圍為1500目-4000目，包括端點值。

可選的，所述海綿砂塊的制作方法包括：

提供海綿層；

在所述海綿層的第一表面形成粘合層，所述粘合層完全覆蓋所述海綿層的第一表面；

在所述粘合層背離所述海綿層一側的表面固定磨料，以形成磨料層，其中，相鄰磨料之間具有間隙，該間隙曝露所述粘合層部分表面；

在所述粘合層背離所述海綿層一側的間隙內形成覆膠層，所述覆膠層背離所述海綿層一側的表面低于所述磨料層背離所述海綿層一側的表面最高點；