[發明專利]基板處理裝置以及基板處理方法

有效

• 申請號: 201811145205.3
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN109585348B
• 公開（公告）日: 2022-12-02
• 發明（設計）人: 古矢正明;森秀樹
• 申請（專利權）人: 芝浦機械電子株式會社
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 任玉敏

提供能夠使生產性提高的基板處理裝置以及基板處理方法。實施方式的基板處理裝置具備：作為交接臺發揮功能的緩沖單元(14)，具有分開地支承基板(W)的第1載置臺(14a1)以及第2載置臺(14a2)；以及作為輸送部發揮功能的第2輸送機器人(15)，具有保持基板(W)的手部(31)，從緩沖單元(14)輸送基板(W)。緩沖單元(14)形成為能夠實現：手部(31)從第1載置臺(14a1)的上位置朝向下位置向下方向移動，將第1載置臺(14a1)置于基板(W)，移動到第1載置臺(14a1)的下位置的手部(31)從第1載置臺(14a1)的下位置向第2載置臺(14a2)的下位置橫向移動，移動到第2載置臺(14a2)的下位置的手部(31)從第2載置臺(14a2)的下位置朝向上位置向上方向移動，從第2載置臺(14a2)抬起基板(W)。

技術領域

本發明的實施方式涉及基板處理裝置以及基板處理方法。

背景技術

基板處理裝置是在半導體、液晶面板等的制造工序中對晶片、液晶基板等基板進行處理的裝置。在該基板處理裝置中，從均勻性、再現性的角度出發，采用了將基板在專用的處理室逐張進行處理的單張處理方式。另外，為了實現基板輸送系統的共用化，基板被收納于共用的專用箱(例如，FOUP等)而進行輸送。在該專用箱中，基板以規定間隔層疊而被收納。

在基板處理裝置中，使用輸送機器人等基板輸送裝置，從專用箱取出基板并輸送至處理室，然后，處理結束的基板被收納于專用箱。此時，基板處理的種類并不限定于一個種類，也存在多種處理工序在每個種類的專用的處理室中進行之后，處理結束的基板被返回到專用箱的情況。

輸送機器人在專用箱、處理室、以及它們的中途的緩沖間等中，進行將處理結束的基板與未處理的基板交換的動作。該輸送機器人在進行基板交換的情況下，有時用一個臂使一個手部移動來進行基板交換。

通常，緩沖間是使基板W在上下方向上層疊地收納的類型。因此，輸送機器人使臂伸縮，利用手部將處理結束的基板置于緩沖間內，然后，使手部移動到新的位置，之后再次使臂伸縮，將未處理的基板從緩沖間內取出。因此，在一次基板交換換時，手部的出入(伸縮動作)被進行兩次。因此，基板輸送效率較差，基板處理裝置的生產性降低。

發明內容

本發明所要解決的課題在于，提供能夠使生產性提高的基板處理裝置以及基板處理方法。

實施方式的基板處理裝置具備：交接臺，具有單獨地支承基板第1載置臺以及第2載置臺；以及輸送部，具有保持基板的手部，在與交接臺之間交換基板而輸送基板，交接臺形成為能夠實現：手部從第1載置臺的上位置朝向下位置向下方向移動，將基板置于第1載置臺，移動到第1載置臺的下位置的手部從第1載置臺的下位置向第2載置臺的下位置橫向移動，移動到第2載置臺的下位置的手部從第2載置臺的下位置朝向上位置向上方向移動，從第2載置臺抬起基板。

實施方式的基板處理方法利用基板處理裝置處理基板，該基板處理裝置具備：交接臺，具有單獨地支承基板的第1載置臺以及第2載置臺；以及輸送部，具有保持基板的手部，其中，基板處理方法具有如下工序：手部從第1載置臺的上位置朝向下位置向下方向移動而將基板置于第1載置臺；移動到第1載置臺的下位置的手部從第1載置臺的下位置向第2載置臺的下位置橫向移動；以及移動到第2載置臺的下位置的手部從第2載置臺的下位置朝向上位置向上方向移動而從第2載置臺抬起基板。

根據前述的實施方式的基板處理裝置或者基板處理方法，能夠使生產性提高。

附圖說明

圖1是表示第1實施方式的基板處理裝置的概略結構的俯視圖。

圖2是表示第1實施方式的緩沖單元、第1輸送機器人以及第1移動機構的立體圖。

圖3是表示第1實施方式的緩沖單元、第2輸送機器人以及第2移動機構的立體圖。

圖4是表示第1實施方式的緩沖單元的立體圖。