[發明專利]檢查方法及檢查裝置

有效

• 申請號: 201811137848.3
• 申請日: 2018-09-28
• 公開（公告）號: CN109580658B
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發明（設計）人: 矢部誠;秋山裕照;井上貴文
• 申請（專利權）人: 紐富來科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 劉英華

本發明的實施方式涉及檢查方法及檢查裝置。實施方式的檢查方法具備粗校準工序和精校準工序，在粗校準工序中，取得作為確認相對于X、Y方向的樣品(2)的旋轉方向上的位置偏移量是否為第1容許值以下的粗校準中使用的圖案而預先設定的第1及第2圖案的光學圖像，基于取得結果，確認位置偏移量是否為第1容許值以下，在精校準工序中，在確認了為第1容許值以下的情況下，取得在樣品(2)的光學圖像上位于以沿著X、Y方向的四邊構成的矩形框的不同的角部上、且在對位置偏移進行校正的精校準中使用的第3圖案的光學圖像，使臺架(6)旋轉，直到基于第3圖案的光學圖像檢測到的位置偏移量達到比第1容許值小的第2容許值以下為止。

技術領域

本發明涉及檢查方法及檢查裝置。

背景技術

在光刻法所使用的光掩模(以下，也簡稱為掩模)上所形成的圖案的缺陷的檢查中，采用了如下的自動校準方法：在開始檢查之前，自動進行對位以避免被裝載在具有能夠載置掩模的XY平面的臺架上的掩模相對于作為臺架的移動方向的X方向或Y方向具有傾斜。在以往的自動校準方法中，為了自動校準而預先在掩模的檢查區域形成例如十字形狀等的特定圖案，并從以高倍率對掩模進行拍攝而得到的高倍圖像中檢測特定圖案。然后，基于檢測到的特定圖案，使臺架與掩模一起旋轉，來進行自動校準，以消除掩模相對于臺架的移動方向的傾斜，該臺架的移動方向沿著將應該檢查圖案缺陷的掩模的檢查區域虛擬分割為多個長條狀而成的條紋。

但是，以往的自動校準方法，將形成有專門針對自動校準的特定圖案的掩模作為對象，未形成有特定圖案的一般的掩模不作為對象。即，在為不具有特定圖案的掩模的情況下，無法實施上述自動校準。希望提高校準的通用性。

發明內容

本發明提供即使是不具有特定圖案的掩模也能夠進行臺架的旋轉中的自動校準的檢查方法及檢查裝置。

本發明的一個方式的檢查方法，使用具備臺架的檢查裝置，檢查在樣品的檢查區域所設置的圖案的缺陷，該臺架具有能夠載置樣品的XY平面，能夠在X方向及Y方向上移動并且能夠繞相對于XY平面大致垂直的Z軸旋轉，該檢查方法包括：

實施粗校準的工序，在粗校準中，確認相對于上述X方向或上述Y方向的、上述樣品的旋轉方向上的位置偏移量是否為第1容許值以下；以及

實施精校準的工序，在精校準中，進行校正以使上述位置偏移量達到比上述第1容許值小的第2容許值以下，

上述實施粗校準的工序包括：

取得作為上述粗校準中使用的圖案而預先設定的上述樣品的檢查區域上的第1圖案的光學圖像，

從上述第1圖案的光學圖像被取得時的上述臺架的位置起，使上述臺架在上述X方向或上述Y方向上以預先決定的移動量移動，

在使上述臺架以上述移動量移動了時，在取得了上述檢查區域上的第2圖案的光學圖像的情況下，認定為上述位置偏移量為上述第1容許值以下，該第2圖案作為上述粗校準中使用的圖案而預先設定、并且相對于上述第1圖案在上述X方向或上述Y方向上分離而配置，另一方面，在未取得上述第2圖案的光學圖像的情況下，認定為上述位置偏移量比上述第1容許值大，

上述實施精校準的工序包括：

在通過上述粗校準確認了上述位置偏移量為上述第1容許值以下的情況下，取得上述精校準中使用的多個第3圖案的光學圖像，該多個第3圖案的光學圖像在上述樣品的光學圖像的上述檢查區域上位于以沿著上述X方向或上述Y方向的四邊構成的矩形框的不同的多個角部上，

基于所取得的上述多個第3圖案的光學圖像，檢測上述位置偏移量，

使上述臺架旋轉，直到所檢測到的上述位置偏移量達到上述第2容許值以下為止。

在上述的檢查方法中，可以是，