[發明專利]檢查方法及檢查裝置

有效

• 申請號: 201811137848.3
• 申請日: 2018-09-28
• 公開（公告）號: CN109580658B
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發明（設計）人: 矢部誠;秋山裕照;井上貴文
• 申請（專利權）人: 紐富來科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 劉英華

1.一種檢查方法，使用具備臺架的檢查裝置，檢查在樣品的檢查區域所設置的圖案的缺陷，該臺架具有能夠載置上述樣品的XY平面，能夠在X方向及Y方向上移動并且能夠繞相對于上述XY平面大致垂直的Z軸旋轉，該檢查方法包括：

實施粗校準的工序，在粗校準中，確認相對于上述X方向或上述Y方向的、上述樣品的旋轉方向上的位置偏移量是否為第1容許值以下；以及實施精校準的工序，在精校準中，進行校正以使上述位置偏移量達到比上述第1容許值小的第2容許值以下，

上述實施粗校準的工序包括如下處理：

取得作為上述粗校準中使用的圖案而預先設定的上述樣品的檢查區域上的第1圖案的光學圖像，

從上述第1圖案的光學圖像被取得時的上述臺架的位置起，使上述臺架在上述X方向或上述Y方向上以預先決定的移動量移動，

在使上述臺架以上述移動量移動了時，取得了上述檢查區域上的第2圖案的光學圖像的情況下，認定為上述位置偏移量為上述第1容許值以下，該第2圖案的光學圖像作為上述粗校準中使用的圖案而預先設定、并且相對于上述第1圖案在上述X方向或上述Y方向上分離而配置，另一方面，在未取得上述第2圖案的光學圖像的情況下，認定為上述位置偏移量比上述第1容許值大，

在上述實施精校準的工序中包括如下處理：

在通過上述粗校準確認了上述位置偏移量為上述第1容許值以下的情況下，取得上述精校準中使用的多個第3圖案的光學圖像，該多個第3圖案的光學圖像在上述樣品的光學圖像的上述檢查區域上位于以沿著上述X方向或上述Y方向的四邊構成的矩形框的不同的多個角部上，

基于所取得的上述多個第3圖案的光學圖像，檢測上述位置偏移量，

使上述臺架旋轉，直到所檢測到的上述位置偏移量達到上述第2容許值以下為止。

2.根據權利要求1所述的檢查方法，其中，

上述多個第3圖案為，位于在上述檢查區域的多個角部的每個角部所設定的多個區域內、且具有沿著上述X方向及上述Y方向的至少一方的邊緣的圖案。

3.根據權利要求1所述的檢查方法，其中，

在上述實施精校準的工序中包括如下處理：

在上述位置偏移量通過上述臺架的旋轉而未達到上述第2容許值以下的情況下，重新取得上述第1圖案的光學圖像，

根據相對于重新取得的上述第1圖案的光學圖像的相對移動，重新取得上述第3圖案的光學圖像，

基于重新取得的上述第3圖案的光學圖像，重新檢測上述位置偏移量，

使上述臺架再次旋轉，以使重新檢測到的上述位置偏移量達到上述第2容許值以下。

4.根據權利要求2所述的檢查方法，其中，

在上述實施精校準的工序中包括如下處理：

在上述位置偏移量通過上述臺架的旋轉而未達到上述第2容許值以下的情況下，重新取得上述第1圖案的光學圖像，

根據相對于重新取得的上述第1圖案的光學圖像的相對移動，重新取得上述第3圖案的光學圖像，

基于重新取得的上述第3圖案的光學圖像，重新檢測上述位置偏移量，

使上述臺架再次旋轉，以使重新檢測到的上述位置偏移量達到上述第2容許值以下。

5.根據權利要求1所述的檢查方法，其中，

上述第3圖案是位于距上述第1圖案為一定距離內的圖案。

6.根據權利要求2所述的檢查方法，其中，

上述第3圖案是位于距上述第1圖案為一定距離內的圖案。

7.根據權利要求3所述的檢查方法，其中，

上述第3圖案是位于距上述第1圖案為一定距離內的圖案。

8.一種檢查裝置，具備臺架，該臺架具有能夠載置樣品的XY平面，能夠在X方向及Y方向上移動并且能夠繞相對于上述XY平面大致垂直的Z軸旋轉，該檢查裝置用于檢查在上述樣品的檢查區域所設置的圖案的缺陷，該檢查裝置具備：

粗校準部，實施粗校準，在粗校準中，確認相對于上述X方向或上述Y方向的、上述樣品的旋轉方向上的位置偏移量是否為第1容許值以下；以及

精校準部，實施精校準，在精校準中，進行校正以使上述位置偏移量達到比上述第1容許值小的第2容許值以下，

上述粗校準部進行如下處理：

取得作為上述粗校準中使用的圖案而預先設定的上述樣品的檢查區域上的第1圖案的光學圖像，

從上述第1圖案的光學圖像被取得時的上述臺架的位置起，使上述臺架在上述X方向或上述Y方向上以預先決定的移動量移動，

在使上述臺架以上述移動量移動了時，取得了上述檢查區域上的第2圖案的光學圖像的情況下，認定為上述位置偏移量為上述第1容許值以下，該第2圖案的光學圖像作為上述粗校準中使用的圖案而預先設定、并且相對于上述第1圖案在上述X方向或上述Y方向上分離而配置，另一方面，在未取得上述第2圖案的光學圖像的情況下，認定為上述位置偏移量比上述第1容許值大，

上述精校準部進行如下處理：

在通過上述粗校準確認了上述位置偏移量為上述第1容許值以下的情況下，取得上述精校準中使用的多個第3圖案的光學圖像，該多個第3圖案的光學圖像在上述樣品的光學圖像的上述檢查區域上位于以沿著上述X方向或上述Y方向的四邊構成的矩形框的不同的多個角部上，

基于所取得的上述多個第3圖案的光學圖像，檢測上述位置偏移量，

使上述臺架旋轉，直到所檢測到的上述位置偏移量達到上述第2容許值以下為止。