[發明專利]光刻膠供給管路清洗系統及方法

在審

• 申請號: 201811132367.3
• 申請日: 2018-09-27
• 公開（公告）號: CN110947707A
• 公開（公告）日: 2020-04-03
• 發明（設計）人: 郭浩
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: B08B9/032
• 分類號: B08B9/032
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種光刻膠供給管路清洗系統，其特征在于，所述光刻膠供給管路清洗系統包括：

清洗液瓶，用于盛放清洗液；所述清洗液瓶包括瓶體及瓶蓋，所述瓶蓋蓋在所述瓶體的瓶口上；

光刻膠供給管路，一端經由所述瓶蓋插入至所述清洗液瓶內，另一端與噴嘴相連接；

第一開關閥，位于所述光刻膠供給管路上；

進液管路，一端與供液源相連接，另一端與所述光刻膠供給管路相連接，且連接于所述清洗液瓶與所述第一開關閥之間；

第二開關閥，位于所述進液管路上；及

排液管路，一端經由所述瓶蓋插入至所述清洗液瓶內。

2.根據權利要求1所述的光刻膠供給管路清洗系統，其特征在于，所述光刻膠供給管路清洗系統還包括：

第三開關閥，所述第三開關閥位于所述排液管路上；及

第一抽液泵，位于所述排液管路上。

3.根據權利要求1所述的光刻膠供給管路清洗系統，其特征在于，所述光刻膠供給管路清洗系統還包括密封裝置，所述密封裝置位于所述瓶蓋與所述瓶體之間。

4.根據權利要求1所述的光刻膠供給管路清洗系統，其特征在于，所述供液源包括廠務中央供液系統。

5.根據權利要求1所述的光刻膠供給管路清洗系統，其特征在于，所述排液管路另一端與廠務排液系統相連接。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的光刻膠供給管路清洗系統，其特征在于，所述光刻膠供給管路清洗系統還包括：

供氣管路，一端經由所述瓶蓋插入至所述清洗液瓶內，另一端與氣體源相連接；

緩沖罐，位于所述光刻膠供給管路上，且位于所述第一開關閥與所述噴嘴之間；

過濾器，位于所述光刻膠供給管路上，且位于所述緩沖罐與所述噴嘴之間；

第二抽液泵，位于所述光刻膠供給管路上，且位于所述過濾器與所述噴嘴之間；

流量計，位于所述光刻膠供給管路上，且位于所述第二抽液泵與所述噴嘴之間；及

第四開關閥，位于所述光刻膠供給管路上，且位于所述流量計與所述噴嘴之間。

7.根據權利要求6所述的光刻膠供給管路清洗系統，其特征在于，所述第一開關閥、所述第二開關閥、所述第三開關閥及所述第四開關閥均包括氣動閥。

8.一種光刻膠供給管路清洗方法，其特征在于，所述光刻膠供給管路清洗方法包括如下步驟：

1)提供如權利要求1至7中任一項所述的光刻膠供給管路清洗系統；

2)打開所述第一開關閥及所述第二開關閥；及

3)使用清洗液對所述光刻膠供給管路、所述清洗液瓶、所述排液管路及所述噴嘴同時進行清洗。

9.一種光刻膠供給管路清洗方法，其特征在于，所述光刻膠供給管路清洗方法包括如下步驟：

1)提供如權利要求2至7中任一項所述的光刻膠供給管路清洗系統；

2)打開所述第一開關閥及所述第二開關閥，并關閉所述第三開關閥；

3)使用清洗液對與所述進液管路連接處至所述噴嘴之間的所述光刻膠供給管路及所述噴嘴進行清洗；

4)關閉所述第一開關閥，并打開第三開關閥；及

5)使用清洗液對與所述進液管路連接處至所述清洗液瓶之間的所述光刻膠供給管路、所述清洗液瓶及所述排液管路進行清洗。

10.一種光刻膠供給管路清洗方法，其特征在于，所述光刻膠供給管路清洗方法包括如下步驟：

1)提供如權利要求2至7中任一項所述的光刻膠供給管路清洗系統；

2)打開所述第二開關閥及所述第三開關閥，并關閉所述第一開關閥；

3)使用清洗液對與所述進液管路連接處至所述清洗液瓶之間的所述光刻膠供給管路、所述清洗液瓶及所述排液管路進行清洗；

4)關閉所述第三開關閥，并打開第一開關閥；及

5)使用清洗液對與所述進液管路連接處至所述噴嘴之間的所述光刻膠供給管路及所述噴嘴進行清洗。