[發明專利]測試裝置及測試方法在審
| 申請號: | 201811130301.0 | 申請日: | 2018-09-27 |
| 公開(公告)號: | CN110956051A | 公開(公告)日: | 2020-04-03 |
| 發明(設計)人: | 不公告發明人 | 申請(專利權)人: | 長鑫存儲技術有限公司 |
| 主分類號: | G06K7/14 | 分類號: | G06K7/14 |
| 代理公司: | 北京律智知識產權代理有限公司 11438 | 代理人: | 袁禮君;闞梓瑄 |
| 地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 測試 裝置 方法 | ||
1.一種測試裝置,其特征在于,包括:
測試基板,用于放置集成電路并對所述集成電路進行測試,以獲取所述集成電路的測試數據;
解析鏡頭,與所述測試基板相對設置,用于掃描所述集成電路的封裝體上的識別碼,以使處理器解析所述識別碼并根據解析結果與所述測試數據判斷所述識別碼的正確性。
2.根據權利要求1所述的測試裝置,其特征在于,所述測試裝置還包括:
機械手臂,用于抓取所述集成電路,并將所述集成電路放置在所述測試基板上。
3.根據權利要求1所述的測試裝置,其特征在于,所述測試基板包括一個測試位置,所述測試位置能夠放置一個所述集成電路;所述測試基板用于對所述測試位置處的所述集成電路進行測試,以得到所述測試位置處的所述集成電路的測試數據。
4.根據權利要求3所述的測試裝置,其特征在于,所述解析鏡頭為一個且與所述測試位置相對設置。
5.根據權利要求1所述的測試裝置,其特征在于,所述測試基板包括多個測試位置,各所述測試位置均能夠放置一個所述集成電路,所述測試基板用于同時對各所述測試位置處的所述集成電路進行測試,以同時獲取各所述測試位置處的所述集成電路的測試數據。
6.根據權利要求5所述的測試裝置,其特征在于,所述解析鏡頭的數量與所述測試位置的數量相同,且所述解析鏡頭與所述測試位置一一對應,各所述解析鏡頭與對應的所述測試位置相對設置。
7.根據權利要求1所述的測試裝置,其特征在于,所述解析鏡頭能夠相對于所述測試基板移動。
8.根據權利要求7所述的測試裝置,其特征在于,所述裝置還包括:
鏡頭移動軌道,用于控制所述解析鏡頭在所述鏡頭移動軌道中移動。
9.根據權利要求8所述的測試裝置,其特征在于,所述解析鏡頭采用可拆卸的方式設置在所述鏡頭移動軌道中。
10.根據權利要求1~9中任一項所述的測試裝置,其特征在于,所述識別碼由所述集成電路的芯片制程中的測試數據生成。
11.根據權利要求1~9中任一項所述的測試裝置,其特征在于,所述識別碼為一維碼或者二維碼。
12.一種測試方法,應用于如權利要求1中所述的測試裝置,其特征在于,包括:
通過測試基板對放置在所述測試基板中的集成電路進行測試,以得到所述集成電路的測試數據;
通過解析鏡頭對放置在所述測試基板上的集成電路的封裝體上的識別碼進行掃描,以使處理器解析所述識別碼并根據解析結果與所述測試數據判斷所述識別碼的正確性。
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