[發明專利]一種卷到卷高效連續化學機械拋光機

在審

• 申請號: 201811117952.6
• 申請日: 2018-09-25
• 公開（公告）號: CN108972305A
• 公開（公告）日: 2018-12-11
• 發明（設計）人: 蘇建修;王永勝;陳紹坤;王占奎;李勇峰;劉亞明;馬利杰;付成果
• 申請（專利權）人: 河南科技學院
• 主分類號: B24B29/06
• 分類號: B24B29/06;B24B27/00;B24B49/00;B24B41/00;B24B57/02
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 王海燕

本發明公開一種卷到卷高效連續化學機械拋光機，包括六個拋光輥裝置，六個拋光輥裝置前后分別設置有第一水平調速檢測裝置和第二水平調速檢測裝置，所述第一水平調速檢測裝置外側設置有放卷裝置，所述第二水平調速檢測裝置外側設置有收卷裝置；所述第二水平調速檢測裝置與所述拋光輥裝置之間設置有清洗干燥裝置；所述拋光輥裝置上安裝有拋光輥，所述拋光輥一側設置有噴淋裝置，所述拋光輥裝置底部設置有廢液收集箱。本發明提供的卷到卷高效連續化學機械拋光機，用于超薄柔性顯示襯底的Roll?to?Roll高效生產，可實現與柔性顯示器的制造形成無縫對接，提高了生產效率。

技術領域

本發明涉及微電子、光電子、柔性顯示器襯底制造中的超精密加工技術領域，特別是涉及一種卷到卷高效連續化學機械拋光機。

背景技術

微電子、光電子、集成電路制造是集國家利益、人類智慧和最新科技于一體的基礎性和戰略性產業，是衡量一個國家地位和綜合國力的重要標志之一，是當今世界競爭最激烈、發展最迅速的領域，只有掌握先進的微電子及光電子制造技術才能有效地控制成本和擴大生產規模，才能在激烈的市場競爭中生存和發展。微電子及光電子先進制造作為國民經濟的基礎產業、先導產業、支柱產業和戰略性產業，對我國國民經濟、國家安全、人民生活和社會進步正在發揮著越來越重要的作用。

隨著科學技術的進步和不斷發展，柔性顯示技術正逐漸改善人們的生活和交流，并顯著推進著信息可視化。近年來，柔性顯示的優勢日益突出，柔性電子與作為平板顯示的LCD、OLED和等離子體顯示相比，具有超薄、質量輕、耐用、儲存量大、設計自由，可撓曲、可收卷和耐沖擊等性能，廣泛適用于移動電話、個人數字助理PDA、筆記本電腦、商標、安全身份文件、電子書、電子海報、汽車儀表板、RF識別系統、傳感器、環境顯示、醫療、普通照明、機器人感覺皮膚等工業、民用及軍事行業，柔性顯示器還可以讓顯示屏更容易成為裝飾材料，利用柔性顯示的可彎曲特性使得工程設計不局限于平面化，可實現多元化外型的顯示模式。

柔性顯示巨大的市場前景，使許多國家和地區的研究機構及生產廠商投入到柔性顯示技術的研究與應用中，并取得了顯著的成果。當前，柔性電子還處在即將產業化的前夜，仍然還存在很多的技術瓶頸，對于材料、工藝、設計等還處在研究和探索的階段。柔性顯示技術是集大規模集成電路、精密加工技術、光電子技術于一體高新技術產業，涉及半導體、光學、微電子、化學材料、精密機械與加工等眾多的高科技領域。

在柔性顯示器件中，柔性襯底是研發柔性顯示的基礎。平板顯示器都是以玻璃基板為襯底制作的，而柔性顯示器則是以柔性材料為襯底，其對柔性襯底的表面質量要求與玻璃基板一樣，表面平整度和厚度要求非常嚴格，要實現柔性襯底的表面質量和加工精度，目前最常用的方法是表面拋光技術。

化學機械拋光技術被認為是能兼顧表面粗糙度和表面平整度要求的最好的工藝方法，已成為硬脆性晶體材料、金屬材料及其它材料實現表面超光滑無損傷加工的最實用技術之一，并且廣泛應用于超大規模集成電路、半導體照明、光學玻璃、平板顯示等光電子、微電子、航空航天及機械工程等領域。經過分析與研究，化學機械拋光技術可能是最適合的、且完全能用于大尺寸超薄柔性顯示襯底表面的Roll-to-Roll(卷到卷)高效超精密加工中，來獲得超光滑無損傷的加工表面。

開發柔性顯示器的另一個重要因素在于其工藝可能由Sheet-fed batchprocessing(單張批量生產)轉換成Roll-to-Roll manufacturing(卷到卷生產)，效率大大提高，意味著顯示器的成本可能大大降低。

具有超光滑表面的柔性顯示襯底具有不可估量應用前景。但是目前，市場上還沒有Roll-to-Roll高效柔性顯示襯底的超精密加工技術，還沒有適合Roll-to-Roll高效生產柔性顯示襯底的專用工具、設備與工藝。

發明內容

本發明的目的是提供一種卷到卷高效連續化學機械拋光機，以解決上述現有技術存在的問題，用于超薄柔性顯示襯底的Roll-to-Roll高效生產，可實現與柔性顯示器的制造形成無縫對接，提高了生產效率。