[發(fā)明專利]一種卷到卷高效連續(xù)化學機械拋光機

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811117952.6
• 申請日: 2018-09-25
• 公開（公告）號: CN108972305A
• 公開（公告）日: 2018-12-11
• 發(fā)明（設計）人: 蘇建修;王永勝;陳紹坤;王占奎;李勇峰;劉亞明;馬利杰;付成果
• 申請（專利權(quán)）人: 河南科技學院
• 主分類號: B24B29/06
• 分類號: B24B29/06;B24B27/00;B24B49/00;B24B41/00;B24B57/02
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 王海燕

1.一種卷到卷高效連續(xù)化學機械拋光機，其特征在于：包括六個拋光輥裝置，六個所述拋光輥裝置前后分別設置有第一水平調(diào)速檢測裝置和第二水平調(diào)速檢測裝置，所述第一水平調(diào)速檢測裝置外側(cè)設置有放卷裝置，所述第二水平調(diào)速檢測裝置外側(cè)設置有收卷裝置；所述第二水平調(diào)速檢測裝置與所述拋光輥裝置之間設置有清洗干燥裝置；所述拋光輥裝置上安裝有拋光輥，所述拋光輥一側(cè)設置有噴淋裝置，所述拋光輥裝置底部設置有廢液收集箱。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷到卷高效連續(xù)化學機械拋光機，其特征在于：所述放卷裝置包括放卷機架和放卷輥，所述放卷輥兩端分別連接有連接軸，所述連接軸通過深溝球軸承和軸承座設置于所述放卷機架上；其中一個所述連接軸外側(cè)連接有制動盤，所述制動盤外套設有制動器殼；所述放卷機架上安裝有收集箱，所述收集箱位于所述放卷輥下方。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷到卷高效連續(xù)化學機械拋光機，其特征在于：所述收卷裝置包括收卷機架和收卷輥，所述收卷輥一端通過連接軸設置于所述收卷機架上，另一端通過傳動軸設置于所述收卷機架上，所述傳動軸端部連接有減速電機。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷到卷高效連續(xù)化學機械拋光機，其特征在于：所述第一水平調(diào)速檢測裝置包括調(diào)速機架，所述調(diào)速機架上安裝有水平調(diào)節(jié)輥；所述調(diào)速機架頂端安裝有傳感器機架，所述傳感器機架下端安裝有傳感器探頭，所述傳感器探頭位于所述水平調(diào)節(jié)輥上方；所述第二水平調(diào)速檢測裝置與第一水平調(diào)速檢測裝置結(jié)構(gòu)相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷到卷高效連續(xù)化學機械拋光機，其特征在于：所述拋光輥包括對稱設置的上拋光輥和下拋光輥；所述拋光輥裝置包括拋光輥快速裝卸機構(gòu)，所述拋光輥快速裝卸機構(gòu)包括拋光輥機架，所述拋光輥機架通過拋光輥支撐裝置分別與所述上拋光輥和所述下拋光輥連接；所述拋光輥支撐裝置外側(cè)通過聯(lián)軸器連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸外側(cè)連接有變頻電機；所述拋光輥支撐裝置包括設置于所述拋光輥機架上的拋光輥軸承座。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的卷到卷高效連續(xù)化學機械拋光機，其特征在于：所述拋光輥裝置還包括拋光壓力調(diào)整機構(gòu)，所述拋光壓力調(diào)整機構(gòu)包括設置于所述拋光輥機架上的導軌，所述上拋光輥通過所述轉(zhuǎn)軸和拋光輥軸承座設置于所述導軌上；所述拋光輥機架上穿設有螺桿，所述螺桿下端通過連接機構(gòu)連接有連接桿，所述連接桿設置于所述拋光輥軸承座上，所述拋光輥軸承座下端通過支撐螺桿設置于所述拋光輥機架上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的卷到卷高效連續(xù)化學機械拋光機，其特征在于：所述支撐螺桿上設置有與所述拋光輥軸承座底部連接的壓縮彈簧，所述拋光輥軸承座與所述連接桿通過壓力傳感器連接；所述支撐螺桿底部通過支撐圓珠與所述拋光輥機架連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷到卷高效連續(xù)化學機械拋光機，其特征在于：所述拋光輥表面設置有拋光墊。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷到卷高效連續(xù)化學機械拋光機，其特征在于：所述第一水平調(diào)速檢測裝置和第二水平調(diào)速檢測裝置之間設置有六個所述拋光輥裝置。