[發明專利]一種銅鉬合金膜的化學蝕刻用組合物

在審

• 申請號: 201811116861.0
• 申請日: 2018-09-25
• 公開（公告）號: CN109112545A
• 公開（公告）日: 2019-01-01
• 發明（設計）人: 趙大成;康威;陳思宇;鄭春懷;鄢艷華;張文濤
• 申請（專利權）人: 惠州市宙邦化工有限公司
• 主分類號: C23F1/44
• 分類號: C23F1/44
• 代理公司: 深圳市千納專利代理有限公司 44218
• 代理人: 蔡義文

1.一種銅鉬合金膜的化學蝕刻用組合物，其特征在于，以蝕刻用組合物的總重量為100%計，包含下述組分：

過氧化氫 5%～15%

有機酸 0.5%～5%

過氧化氫穩定劑 0.1%～5%

金屬螯合劑 2.0%～7.0%

蝕刻添加劑 0.001%～0.5%

表面活性劑 0.03%～0.1%

磷酸酯類物質 0.005%～0.05%

pH調節劑 3.0%～7.0%

余量為去離子水。

2. 根據權利要求1所述的銅鉬合金膜的化學蝕刻用組合物，其特征在于，以蝕刻用組合物的總重量為100%計，包含下述組分：

過氧化氫 5%～12%

有機酸 0.5%～3%

過氧化氫穩定劑 0.1%～4%

金屬螯合劑 2.0%～4.0%

蝕刻添加劑 0.001%～0.5%

表面活性劑 0.005%～0.02%

磷酸酯類物質 0.005%～0.02%

pH調節劑 3.0%～5.0%

余量為去離子水。

3. 根據權利要求2所述的銅鉬合金膜的化學蝕刻用組合物，其特征在于，以蝕刻用組合物的總重量為100%計，包含下述組分：

過氧化氫 8%

有機酸 3%

過氧化氫穩定劑 0.2%

金屬螯合劑 2.8%

蝕刻添加劑 0.005%

表面活性劑 0.0.5%

磷酸酯類物質 0.01%

pH調節劑 5.0%

余量為去離子水。

4.根據權利要求1至3任一項所述的銅鉬合金膜的化學蝕刻用組合物，其特征在于：所述有機酸為酒石酸、異亮氨酸、纈氨酸、水楊酸、羥基乙酸中的一種或者多種。

5.根據權利要求4所述的銅鉬合金膜的化學蝕刻用組合物，其特征在于：所述過氧化氫穩定劑為氨羧酸型過氧化氫穩定劑、有機膦酸化合物、有機膦酸鹽、聚（多）羧酸型過氧化氫穩定劑、二乙胺五乙酸、苯基脲、8-羥基喹啉、聚丙烯酸胺中的一種或多種。

6.根據權利要求1-3、5中任意一項所述的銅鉬合金膜的化學蝕刻用組合物，其特征在于：所述金屬螯合劑為乙二胺四乙酸、氨基三乙酸、二亞乙基三胺五乙酸、二乙烯三胺五乙酸、羥乙基乙二胺三乙酸、葡萄糖酸及其對應的鹽、植酸中的一種或多種。

7.根據權利要求1-3、5中任意一項所述的銅鉬合金膜的化學蝕刻用組合物，其特征在于：所述蝕刻添加劑為5-氨基四氮唑、3-氨基-1,2,4-三氮唑、苯并三唑、羥甲基苯并三唑、咪唑、苯并咪唑、多羥基苯甲酸、硫脲中的一種或者多種。

8.根據權利要求1-3、5中任意一項所述的銅鉬合金膜的化學蝕刻用組合物，其特征在于：所述磷酸類物質為亞磷酸單丁酯、磷酸單丁酯、亞磷酸二乙酯，磷酸二乙酯中的一種或兩種。

9.根據權利要求1-3、5中任意一項所述的銅鉬合金膜的化學蝕刻用組合物，其特征在于：所述pH調節劑為氫氧化鈉、氫氧化鉀、乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、乙二胺、異丙醇胺中任意一種。

10.根據權利要求1-3、5中任意一項所述的銅鉬合金膜的化學蝕刻用組合物，其特征在于：所述表面活性劑為聚山梨酯80、PE-100、188-A、脂肪醇聚氧乙烯醚中的一種或多種。