[發明專利]一種連續鍍膜設備

在審

• 申請號: 201811114953.5
• 申請日: 2018-09-25
• 公開（公告）號: CN108950512A
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發明（設計）人: 王晗權;王興杰;周年生;方輝鶴;張洪波
• 申請（專利權）人: 百琪達智能科技（寧波）股份有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/35;H01F41/18
• 代理公司: 寧波浙成知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 33268
• 代理人: 洪松

1.一種連續鍍膜設備，包括進料倉（1）、過渡倉（2）和至少一條鍍膜室（3），鍍膜室（3）連接于進料倉（1）和過渡倉（2）之間，鍍膜室（3）內設置靶材（4）、濺射電源和傳送機構，濺射電源與所述靶材（4）電連接，用以向所述靶材（4）輸出濺射功率，其特征在于：進料倉（1）內設置有第一基片架和進料機構，進料機構為三軸進料機械手（16），三軸進料機械手（16）包括進料機械手X軸鏈（17）、進料機械手Y軸鏈（18）、進料機械手Z軸鏈（19）、進料機械手運行軌道（20）、真空吸盤（21）、進料驅動機構，進料機械手X軸鏈（17）、進料機械手Y軸鏈（18）、進料機械手Z軸鏈（19）分別設置于進料機械手運行軌道（20）上，且通過驅動機構帶動進料機械手X軸鏈（17）、進料機械手Y軸鏈（18）、進料機械手Z軸鏈（19）在進料機械手運行軌道（20）上滑動，真空吸盤（21）設置于進料機械手Z軸鏈（19）的輸出端，真空吸盤（21）連接有真空發生器, 真空吸盤（21）用以將釹鐵硼磁片移送至第一基片架上,過渡倉（2）內設有第二基片架和翻轉機構，第一基片架和第二基片架分別用于放置釹鐵硼磁片，翻轉機構為三軸翻轉機械手（9），翻轉機構包括翻轉機械手X軸鏈（10）、翻轉機械手Y軸鏈（11）、翻轉機械手Z軸鏈（12）、翻轉機械手運行軌道（13）、旋轉臂（14）、夾緊氣缸（15）和翻轉驅動機構，翻轉機械手X軸鏈（10）、翻轉機械手Y軸鏈（11）、翻轉機械手Z軸鏈（12）均設置于翻轉機械手運行軌道（13）上，且通過翻轉驅動機構帶動翻轉機械手X軸鏈（10）、翻轉機械手Y軸鏈（11）、翻轉機械手Z軸鏈（12）在進翻轉械手運行軌道上滑動，旋轉臂（14）設置于翻轉機械手Z軸鏈（12）的輸出端，夾緊氣缸（15）設置于旋轉臂（14）上， 翻轉機構用以將第一基片架上的釹鐵硼磁片翻轉至第二基片架上。

2.根據權利要求1所述的一種連續鍍膜設備，其特征在于：傳送機構為伺服電機通過磁流體驅動的中間傳送輥。

3.根據權利要求2所述的一種連續鍍膜設備，其特征在于：進一步的，進料倉（1）和過渡倉（2）內分別設有與中間傳送輥對接的內傳送輥（5）。

4.根據權利要求1所述的一種連續鍍膜設備，其特征在于：鍍膜室（3）和進料倉（1）之間設有進料室（6），鍍膜室（3）和過渡倉（2）之間設有出料室（7）。

5.根據權利要求1所述的一種連續鍍膜設備，其特征在于：進料室（6）和進料倉（1）之間以及出料室（7）和過渡倉（2）之間分別設有真空翻板閥門（8）。

6.根據權利要求1所述的一種連續鍍膜設備，其特征在于：進料倉（1）、過渡倉（2）和鍍膜室（3）內均連接有真空發生器。

7.根據權利要求1所述的一種連續鍍膜設備，其特征在于：驅動機構為驅動電機，驅動電機通過齒輪帶動進料機械手X軸鏈（17）、進料機械手Y軸鏈（18）、進料機械手Z軸鏈（19）在進料機械手運行軌道（20）上滑動。

8.根據權利要求7所述的一種連續鍍膜設備，其特征在于：電機的輸出端還連接有減速機。

9.根據權利要求1所述的一種連續鍍膜設備，其特征在于：進料倉（1）內還設有自動碼盤機。