[發(fā)明專利]圖像定位模組的安裝驅(qū)動結(jié)構(gòu)及全自動探針臺

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811100051.6
• 申請日: 2018-09-20
• 公開（公告）號: CN109243995A
• 公開（公告）日: 2019-01-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 韋日文;雷迪;林生財
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市矽電半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種圖像定位模組的安裝驅(qū)動結(jié)構(gòu)，其特征在于，用于全自動探針臺(1)內(nèi)，且所述全自動探針臺(1)上設(shè)有翻蓋(11)以及工作臺(5)，翻蓋(11)安裝有探針卡(4)，所述圖像定位模組的安裝驅(qū)動結(jié)構(gòu)包括：

活動式安裝在全自動探針臺(1)的探針卡(4)與工作臺(5)之間、圖像定位時拍攝中心與探針卡(4)中心對齊并進(jìn)行圖像定位、探針測試時移動至全自動探針臺(1)一端的拍攝組件(2)；以及，

與拍攝組件(2)相裝配、用于驅(qū)動拍攝組件(2)靠近探針卡(4)中心或遠(yuǎn)離探針卡(4)中心的驅(qū)動組件(3)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像定位模組的安裝驅(qū)動結(jié)構(gòu)，其特征在于，全自動探針臺(1)的與所述驅(qū)動組件(3)驅(qū)動方向平行的兩側(cè)壁(6)之間設(shè)置有支撐座(8)，且支撐座(8)的兩端分別與設(shè)置在全自動探針臺(1)兩側(cè)的驅(qū)動組件(3)相裝配，所述拍攝組件(2)與支撐座(8)相裝配并與支撐座(8)同步靠近或遠(yuǎn)離探針卡(4)中心。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖像定位模組的安裝驅(qū)動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動組件(3)包括：

兩端分別與全自動探針臺(1)的兩端壁(7)相裝配、驅(qū)動拍攝組件(2)在同一水平面上沿平行于全自動探針臺(1)側(cè)壁(6)的方向移動的無桿氣缸(31)；以及，

與無桿氣缸(31)相裝配、軸心與無桿氣缸(31)驅(qū)動方向平行、對拍攝組件(2)移動方向進(jìn)行導(dǎo)向的滾珠花鍵(32)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的圖像定位模組的安裝驅(qū)動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述無桿氣缸(31)與滾珠花鍵(32)采用圓柱銷連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖像定位模組的安裝驅(qū)動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述支撐座(8)包括：

延伸方向與全自動探針臺(1)的側(cè)壁(6)垂直、對拍攝組件(2)進(jìn)行支撐的呈直線形的支撐部(81)；以及，

一端延伸方向與支撐部(81)延伸方向垂直、另一端延伸方向與全自動探針臺(1)側(cè)壁(6)垂直、圖像定位時與全自動探針臺(1)側(cè)壁(6)垂直的一端與全自動探針臺(1)遠(yuǎn)離支撐部(81)初始位置一端端壁(7)抵接的呈L形的抵接部(82)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的圖像定位模組的安裝驅(qū)動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述抵接部(82)遠(yuǎn)離支撐部(81)的一端設(shè)置有軸線方向朝向豎直方向的半圓柱(85)，全自動探針臺(1)遠(yuǎn)離支撐部(81)初始位置的一端設(shè)置有豎直的支桿(9)，且支桿(9)靠近半圓柱(85)的一側(cè)安裝有V型塊(86)，所述半圓柱(85)與所述V型塊(86)配合實現(xiàn)對拍攝組件(2)的定位。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的圖像定位模組的安裝驅(qū)動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述抵接部(82)遠(yuǎn)離支撐部(81)的一端還設(shè)置有卡接柱(83)，所述支桿(9)靠近卡塊的一側(cè)安裝有中部開設(shè)有與卡接柱(83)卡接的卡孔的卡接頭(84)，且卡孔內(nèi)設(shè)置有與卡接頭(84)磁吸的磁鐵。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像定位模組的安裝驅(qū)動結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述拍攝組件(2)還用于捕捉全自動探針臺(1)的工作臺(5)上的供位移補償?shù)臉?biāo)識塊。

9.一種全自動探針臺，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-8中任一項所述的圖像定位模組的安裝驅(qū)動結(jié)構(gòu)。