[發(fā)明專利]一種太陽(yáng)能電池片擴(kuò)散工藝

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811095301.1
• 申請(qǐng)日: 2018-09-19
• 公開（公告）號(hào): CN109308995A
• 公開（公告）日: 2019-02-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州惠捷迦裝備科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/223
• 分類號(hào): H01L21/223;H01L31/18
• 代理公司: 蘇州廣正知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32234
• 代理人: 劉盼盼

1.一種太陽(yáng)能電池片擴(kuò)散工藝，其特征在于，包括如下步驟：

（1）將硅片進(jìn)行清洗、制絨處理；

（2）將硅片放入擴(kuò)散爐；

（3）將擴(kuò)散爐溫度加熱至設(shè)定的第一溫度，待加熱的溫度值穩(wěn)定在第一溫度的范圍值后通入氧氣，并保持設(shè)定的第一時(shí)間，對(duì)硅片表面進(jìn)行第一次氧化反應(yīng)；

（4）將擴(kuò)散爐溫度加熱至設(shè)定的第二溫度，待加熱的溫度值穩(wěn)定在第二溫度的范圍值后通入氧氣、三氯氧磷，并保持設(shè)定的第二時(shí)間，在硅片表面進(jìn)行第一次擴(kuò)散反應(yīng)；

（5）將擴(kuò)散爐溫度加熱至設(shè)定的第三溫度，待加熱的溫度值穩(wěn)定在第三溫度的范圍值后保持設(shè)定的第三時(shí)間，在硅片表面進(jìn)行第二次擴(kuò)散反應(yīng)；

（6）將擴(kuò)散爐溫度加熱至設(shè)定的第四溫度，待加熱的溫度值穩(wěn)定在第四溫度的范圍值后保持設(shè)定的第四時(shí)間，在硅片表面進(jìn)行第二次氧化反應(yīng)；

（7）將擴(kuò)散爐溫度進(jìn)行冷卻至第五溫度，待冷卻的溫度值穩(wěn)定在第五溫度的范圍值后通入氧氣、三氯氧磷，并保持設(shè)定的第五時(shí)間；

（8）停止通入三氯氧磷，繼續(xù)通入氧氣，然后將擴(kuò)散爐降溫退火，退火后取出硅片即可。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能電池片擴(kuò)散工藝，其特征在于：所述的步驟（3）中的第一溫度到800℃-820℃，第一時(shí)間為13min-15min，氧氣通入流量為100-500sccm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能電池片擴(kuò)散工藝，其特征在于：所述的步驟（4）中的第二溫度到830℃-840℃，第二時(shí)間為10min-12min，氧氣通入流量為90-400sccm，三氯氧磷流量為1000-1500sccm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能電池片擴(kuò)散工藝，其特征在于：所述的步驟（5）中的第三溫度為850℃-860℃，第三時(shí)間為7min-9min，，氧氣通入流量為80-300sccm，三氯氧磷流量為1000-1500sccm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能電池片擴(kuò)散工藝，其特征在于：所述的步驟（6）中的第四溫度為870-880℃，第四時(shí)間為4min-6min，，氧氣通入流量為70-300sccm，三氯氧磷流量為1000-1500sccm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能電池片擴(kuò)散工藝，其特征在于：所述的步驟（7）中的第五溫度為800-840℃，第五時(shí)間為4min-6min，，氧氣通入流量為70-300sccm，三氯氧磷流量為1000-1500sccm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能電池片擴(kuò)散工藝，其特征在于：所述的步驟（8）中氧氣通入流量為400-800sccm，退火時(shí)間為30-50min。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能電池片擴(kuò)散工藝，其特征在于，所述太陽(yáng)能電池片為多晶硅片。