[發明專利]一種光阻噴頭裝置及涂布光阻的方法在審
| 申請號： | 201811094996.1 | 申請日： | 2018-09-19 |
| 公開（公告）號： | CN110918333A | 公開（公告）日： | 2020-03-27 |
| 發明（設計）人： | 陳步祥 | 申請（專利權）人： | 長鑫存儲技術有限公司 |
| 主分類號： | B05B15/16 | 分類號： | B05B15/16 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市合肥*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 噴頭 裝置 涂布光阻 方法 | ||
1.一種光阻噴頭裝置，其特征在于，所述光阻噴頭裝置包括：
噴頭，所述噴頭包含用于噴涂光阻的噴嘴；
噴頭蓋，所述噴頭蓋包括容納槽，所述噴頭與所述噴頭蓋通過所述容納槽包覆所述噴嘴，且所述噴頭與所述噴頭蓋形成閉合空間。
2.根據權利要求1所述的光阻噴頭裝置，其特征在于：所述容納槽的縱截面形貌包括等腰梯形，且所述容納槽的開口在水平面的投影大于所述容納槽的底面，所述容納槽的底面的形貌包括圓形、橢圓形及多邊形中的一種。
3.根據權利要求1所述的光阻噴頭裝置，其特征在于：所述噴頭蓋的縱截面形貌包括等腰梯形，且所述噴頭蓋的頂部在水平面的投影大于所述噴頭蓋的底部，所述噴頭蓋的底部的形貌包括圓形、橢圓形及多邊形中的一種。
4.根據權利要求1所述的光阻噴頭裝置，其特征在于：所述容納槽的開口包括直徑范圍為0.06mm～8mm的圓形，所述容納槽的底面包括直徑范圍為0.05mm～3mm的圓形，所述容納槽的高度的范圍包括0.5mm～10mm。
5.根據權利要求1所述的光阻噴頭裝置，其特征在于：所述噴頭蓋的頂部包括直徑范圍為0.1mm～10mm的圓形，所述噴頭蓋的底部包括直徑范圍為0.1mm～5mm的圓形，所述噴頭蓋的高度的范圍包括1mm～15mm。
6.根據權利要求1所述的光阻噴頭裝置，其特征在于：所述噴頭蓋與所述噴頭的連接方式包括螺紋連接、銷連接、鎖扣連接及插接中的一種。
7.根據權利要求1所述的光阻噴頭裝置，其特征在于：所述容納槽的底面與所述噴嘴之間還包括空腔。
8.根據權利要求1所述的光阻噴頭裝置，其特征在于：所述光阻噴頭裝置還包括位于所述噴頭蓋及噴頭之間的密封圈，所述密封圈包括硅膠密封圈。
9.一種涂布光阻的方法，其特征在于，包括以下步驟：
提供權利要求1～8中任一所述光阻噴頭裝置；
分離所述噴頭蓋及噴頭，通過所述噴頭噴涂光阻；
連接所述噴頭蓋及噴頭。
10.根據權利要求9所述的涂布光阻的方法，其特征在于：分離所述噴頭蓋及噴頭之后，連接所述噴頭蓋及噴頭之前，還包括清洗所述噴頭蓋的步驟。
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