[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體設(shè)備振動元件性能監(jiān)測方法及系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811094451.0
• 申請日: 2018-09-19
• 公開（公告）號: CN110926588A
• 公開（公告）日: 2020-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡博文;其他發(fā)明人請求不公開姓名
• 申請（專利權(quán)）人: 長鑫存儲技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01H1/00
• 分類號: G01H1/00
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219
• 代理人: 王華英

本發(fā)明公開一種半導(dǎo)體設(shè)備振動元件性能監(jiān)測方法及系統(tǒng)，所述半導(dǎo)體設(shè)備振動元件性能監(jiān)測方法包括：首先建立半導(dǎo)體設(shè)備振動元件的故障振動波形數(shù)據(jù)庫，采集多個所述振動傳感器的振動信號，再對所述振動信號進(jìn)行處理，以得到相應(yīng)的多個波形信號，對多個所述波形信號與所述故障振動波形數(shù)據(jù)庫進(jìn)行比對分析，實(shí)時監(jiān)控所述半導(dǎo)體設(shè)備振動元件的工作狀態(tài)。本發(fā)明能夠保障在半導(dǎo)體設(shè)備振動元件發(fā)生故障前啟動報警功能，預(yù)先采取應(yīng)變措施，防止突發(fā)性停機(jī)事故的發(fā)生，達(dá)到生產(chǎn)穩(wěn)定化目標(biāo)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體蝕刻機(jī)臺附屬設(shè)備干式泵監(jiān)測技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備振動元件性能監(jiān)測方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)中判斷泵是否需要更換往往通過計算泵投入使用的時間來判定，一般泵工作壽命為8000至10000小時，這種工作方式較為簡單。但因?yàn)楸玫谋旧碣|(zhì)量及其工作環(huán)境的不同，泵的壽命以工作時間作為參考標(biāo)準(zhǔn)存在很多的局限因素，例如，實(shí)際工作中泵會在規(guī)定壽命時間內(nèi)出現(xiàn)故障，如，潤滑油不足、結(jié)構(gòu)件出現(xiàn)裂紋、噪聲過大、負(fù)壓不足溫度過高等；另外，也有可能泵在超過規(guī)定壽命之后其工作狀況依舊良好，不需要更換。

還可以通過聽泵的噪聲變化、電流值變化、用紅外測溫儀測泵的溫度、查看泵的工作轉(zhuǎn)速是否符合要求來判斷泵是否具有良好的標(biāo)準(zhǔn)，但是此種方式需人員現(xiàn)場查看，很多情況是憑借經(jīng)驗(yàn)判斷，容易造成誤判，無法實(shí)現(xiàn)對半導(dǎo)體設(shè)備性能的準(zhǔn)確、有效檢測。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體設(shè)備振動元件性能監(jiān)測方法及系統(tǒng)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中需人員現(xiàn)場查看，容易造成誤判的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體設(shè)備振動元件性能監(jiān)測方法，所述半導(dǎo)體設(shè)備振動元件上設(shè)置有多個振動傳感器，所述半導(dǎo)體設(shè)備振動元件性能監(jiān)測方法包括：建立所述半導(dǎo)體設(shè)備振動元件的故障振動波形數(shù)據(jù)庫；采集多個所述振動傳感器的振動信號；對所述振動信號進(jìn)行處理，以得到相應(yīng)的多個波形信號；對多個所述波形信號與所述故障振動波形數(shù)據(jù)庫進(jìn)行比對分析，實(shí)時監(jiān)控所述半導(dǎo)體設(shè)備振動元件的工作狀態(tài)。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述半導(dǎo)體設(shè)備振動元件性能監(jiān)測方法還包括：將各所述的波形信號分別跟蹤記錄，建立所述半導(dǎo)體設(shè)備振動元件的性能趨勢圖，并根據(jù)所述性能趨勢圖對所述半導(dǎo)體設(shè)備振動元件設(shè)定異常報警及故障預(yù)警。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述半導(dǎo)體設(shè)備振動元件性能監(jiān)測方法還包括對多個所述波形信號進(jìn)行波形分析，根據(jù)波形分析結(jié)果預(yù)測所述半導(dǎo)體設(shè)備振動元件的使用壽命或更換周期。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述半導(dǎo)體設(shè)備振動元件為真空泵。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體設(shè)備振動元件性能監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備振動元件上設(shè)置有多個振動傳感器，所述半導(dǎo)體設(shè)備振動元件性能監(jiān)測系統(tǒng)包括：振動波形數(shù)據(jù)庫；振動信號采集模塊，用于采集多個所述振動傳感器的振動信號；智能管理模塊，用于對所述振動信號進(jìn)行處理，以得到相應(yīng)的多個波形信號；智能監(jiān)測模塊，用于對多個所述波形信號與所述振動波形數(shù)據(jù)庫進(jìn)行比對分析，實(shí)時監(jiān)控所述半導(dǎo)體設(shè)備振動元件的工作性能。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述智能監(jiān)測模塊包括波形信號分析單元、數(shù)據(jù)存儲單元、數(shù)據(jù)傳輸單元、控制單元、控制中心單元，其中，波形信號分析單元，用于對多個所述波形信號與所述振動波形數(shù)據(jù)庫進(jìn)行分析比對，根據(jù)分析比對結(jié)果獲得所述半導(dǎo)體設(shè)備振動元件的性能參數(shù)；數(shù)據(jù)存儲單元，用于對所述性能參數(shù)進(jìn)行存儲；數(shù)據(jù)傳輸單元，用于將存儲于所述數(shù)據(jù)存儲單元中的性能參數(shù)進(jìn)行傳輸，所述數(shù)據(jù)傳輸單元分別與所述數(shù)據(jù)存儲單元、所述控制單元之間建立通信連接；控制單元，用于接收來自所述數(shù)據(jù)傳輸單元的性能參數(shù)；控制中心單元，用于接收來自所述控制單元的性能參數(shù)，根據(jù)所述性能參數(shù)實(shí)時實(shí)現(xiàn)對所述半導(dǎo)體設(shè)備振動元件的監(jiān)測。