[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)方法及系統(tǒng)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811094451.0
• 申請(qǐng)日: 2018-09-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110926588A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡博文;其他發(fā)明人請(qǐng)求不公開(kāi)姓名
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01H1/00
• 分類號(hào): G01H1/00
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219
• 代理人: 王華英

1.一種半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件上設(shè)置有多個(gè)振動(dòng)傳感器，所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)方法包括：

建立所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件的故障振動(dòng)波形數(shù)據(jù)庫(kù)；

采集多個(gè)所述振動(dòng)傳感器的振動(dòng)信號(hào)；

對(duì)所述振動(dòng)信號(hào)進(jìn)行處理，以得到相應(yīng)的多個(gè)波形信號(hào)；

對(duì)多個(gè)所述波形信號(hào)與所述故障振動(dòng)波形數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行比對(duì)分析，實(shí)時(shí)監(jiān)控所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件的工作狀態(tài)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)方法還包括：將各所述的波形信號(hào)分別跟蹤記錄，建立所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件的性能趨勢(shì)圖，并根據(jù)所述性能趨勢(shì)圖對(duì)所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件設(shè)定異常報(bào)警及故障預(yù)警。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)方法還包括對(duì)多個(gè)所述波形信號(hào)進(jìn)行波形分析，根據(jù)波形分析結(jié)果預(yù)測(cè)所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件的使用壽命或更換周期。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件為真空泵。

5.一種半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件上設(shè)置有多個(gè)振動(dòng)傳感器，所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括：

振動(dòng)波形數(shù)據(jù)庫(kù)；

振動(dòng)信號(hào)采集模塊，用于采集多個(gè)所述振動(dòng)傳感器的振動(dòng)信號(hào)；

智能管理模塊，用于對(duì)所述振動(dòng)信號(hào)進(jìn)行處理，以得到相應(yīng)的多個(gè)波形信號(hào)；

智能監(jiān)測(cè)模塊，用于對(duì)多個(gè)所述波形信號(hào)與所述振動(dòng)波形數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行比對(duì)分析，實(shí)時(shí)監(jiān)控所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件的工作性能。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述智能監(jiān)測(cè)模塊包括波形信號(hào)分析單元、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元、數(shù)據(jù)傳輸單元、控制單元、控制中心單元，其中，

波形信號(hào)分析單元，用于對(duì)多個(gè)所述波形信號(hào)與所述振動(dòng)波形數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行分析比對(duì)，根據(jù)分析比對(duì)結(jié)果獲得所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件的性能參數(shù)；

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元，用于對(duì)所述性能參數(shù)進(jìn)行存儲(chǔ)；

數(shù)據(jù)傳輸單元，用于將存儲(chǔ)于所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元中的性能參數(shù)進(jìn)行傳輸，所述數(shù)據(jù)傳輸單元分別與所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元、所述控制單元之間建立通信連接；

控制單元，用于接收來(lái)自所述數(shù)據(jù)傳輸單元的性能參數(shù)；

控制中心單元，用于接收來(lái)自所述控制單元的性能參數(shù)，根據(jù)所述性能參數(shù)實(shí)時(shí)實(shí)現(xiàn)對(duì)所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件的監(jiān)測(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，

所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)系統(tǒng)還包括性能監(jiān)測(cè)模塊，所述性能監(jiān)測(cè)模塊用于將各所述的波形信號(hào)分別跟蹤記錄，建立所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件的性能趨勢(shì)圖，并根據(jù)所述性能趨勢(shì)圖對(duì)所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件設(shè)定異常報(bào)警及故障預(yù)警。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述振動(dòng)信號(hào)采集模塊與至少一個(gè)振動(dòng)傳感器相連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述振動(dòng)傳感器包括黏附型震波感應(yīng)接頭。

10.根據(jù)權(quán)利要求5至9任一所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件為真空泵。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的一種半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述振動(dòng)傳感器設(shè)置四個(gè)，四個(gè)所述振動(dòng)傳感器分別設(shè)置于所述真空泵的軸承位置。

12.一種電子設(shè)備，包括處理器和存儲(chǔ)器，所述存儲(chǔ)器存儲(chǔ)有程序指令，其特征在于，所述處理器運(yùn)行程序指令實(shí)現(xiàn)如權(quán)利要求1至權(quán)利要求4任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)方法。

13.一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)指令，所述計(jì)算機(jī)指令用于使所述計(jì)算機(jī)執(zhí)行如權(quán)利要求1至權(quán)利要求4任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體設(shè)備振動(dòng)元件性能監(jiān)測(cè)方法。