[發明專利]一種銅合金鍵合引線的制備方法有效
| 申請號: | 201811091451.5 | 申請日: | 2018-09-19 |
| 公開(公告)號: | CN109266874B | 公開(公告)日: | 2019-08-23 |
| 發明(設計)人: | 賀龍彪;時高偉;申振武 | 申請(專利權)人: | 河南大侖電子科技有限公司 |
| 主分類號: | C22C1/02 | 分類號: | C22C1/02;C22C9/00;C22F1/08;C23G1/10;C25D3/50;C25D7/06;H01L33/62 |
| 代理公司: | 濮陽華凱知識產權代理事務所(普通合伙) 41136 | 代理人: | 王傳明;靳建山 |
| 地址: | 457000 河南*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 銅合金 鍵合引線 制備 拉制 表面清洗 復合酸洗 銅基合金 液洗 預處理 生產成本低 水混合溶液 熱處理 表面鍍鈀 合金坯料 基體表面 微細 合金棒 乙醇 斷線 分裝 復繞 鈀層 離子 | ||
本發明提供一種銅合金鍵合引線及其制備方法,所述銅合金鍵合引線以銅基合金為基體,基體表面鍍有鈀層,所述銅基合金包括以下原料:銅、銀、鎂、金、鈰;所述銅合金鍵合引線的制備方法包括以下步驟:S1、原料的預處理;S2、合金坯料的制備;S3、合金棒的制備;S4、初拉制;S5、中拉制;S6、終拉制;S7、表面清洗:第一次用復合酸洗液洗,第二次用去離子水洗,第三次用復合酸洗液洗,第四次用乙醇?水混合溶液洗;S8、表面鍍鈀;S9、微細拉制;S10、熱處理;S11、復繞分裝。本發明提出的銅合金鍵合引線,生產成本低、表面清洗效果好、對銅合金的腐蝕性小、不易發生斷線。
技術領域
本發明涉及金屬鍵合絲技術領域,尤其涉及一種銅合金鍵合引線及其制備方法。
背景技術
引線鍵合是一種使用細金屬線,利用熱、壓力、超聲波能量使金屬引線與基板焊盤緊密焊合,實現芯片與基板間的電氣互連和芯片間的信息互通,是微電子領域常用的封裝材料。早期的鍵合引線多由純金制成,或為純銀鍍金鍵合引線。但隨著黃金資源的日益稀缺,黃金價格持續攀升,純金鍵合引線的生產成本較高,相比之下純銀鍍金鍵合引線的成本相對較低,但純銀鍍金引線在LED、COB以及多引腳集成電路封裝技術中,常會出現氧化、材料偏硬、一焊點滑球、二焊點線尾過長、拉拔斷線問題。基于現有技術中存在的不足,本發明提出一種銅合金鍵合引線及其制備方法。
發明內容
本發明的目的是為了解決現有鍵合引線的價格昂貴、表面易氧化、鍵合性能差、易出現拉拔斷線的問題,而提出的一種銅合金鍵合引線及其制備方法。
為實現以上目的,本發明通過以下技術方案予以實現:
一種銅合金鍵合引線,所述銅合金鍵合引線以銅基合金為基體,基體表面鍍有鈀層,鈀層的厚度為0.3~0.6μm,所述鈀層中鈀的純度大于99.9999%,所述銅基合金包括以下重量份的原料:銅82~88份、銀2~4份、鎂0.4~0.8份、金0.2~0.5份、鈰1~3份。
本發明還提出了一種銅合金鍵合引線的制備方法,包括以下步驟:
S1、原料的預處理:選取銅錠和銀錠,用質量濃度為5%~8%的氫氧化鈉水溶液清洗,再用去離子水清洗,烘干,即完成銅錠和銀錠和預處理;
S2、合金坯料的制備:按照重量銅82~88份、銀2~4份、鎂0.4~0.8份、金0.2~0.5份、鈰1~3份準備原料,所述銅為步驟S1預處理后的銅錠,所述銀為步驟S1預處理后的銀錠,并將準備的銀錠、鎂、金、鈰以及銅錠加入到真空熔鑄爐中,抽真空,待真空度高于5×10-2Pa后,充入高純氬氣,然后以30~40℃/min的速度升溫至530~620℃,保溫20~30min,再以50~60℃/min的速度升溫至1100~1200℃,保溫15~35min,再將合金熔體冷卻,得合金坯料;
S3、合金棒的制備:將步驟S2制備得到的合金坯料加入到真空下拉連鑄爐中,抽真空,待真空度高于5×10-1Pa后,升溫至1100~1200℃至合金坯料完全熔化,充入高純氬氣,精煉20~30min,采用定向凝固方法,下拉連鑄得直徑為6~8mm的合金棒;
S4、初拉制:先將步驟S3制備得到的合金棒置于熱處理爐中,以30~40℃/min的速度升溫至400~450℃,保溫5~6h,再拉制成直徑為2~3mm的銅合金線,拉制過程中線材變形率為5%~7%,即得初拉制銅合金線;
S5、中拉制:將步驟S4中經初拉制完成的合金棒置于熱處理爐中,以40~50℃/min的速度升溫至500~550℃,保溫3~5h,再拉制成直徑為0.3~0.5mm的銅合金線,拉制過程中線材變形率為8%~10%,即得中拉制銅合金線;
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