[發明專利]燃料標靶產生器在審
| 申請號： | 201811074418.1 | 申請日： | 2018-09-14 |
| 公開（公告）號： | CN109752927A | 公開（公告）日： | 2019-05-14 |
| 發明（設計）人： | 賴政豪;張漢龍;陳立銳 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知識產權代理有限公司 72003 | 代理人： | 黃艷 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 標靶 燃料 產生器 緩沖腔體 存儲腔體 配置 連結 噴嘴 閥構件 流動 | ||
【權利要求書】：
1.一種燃料標靶產生器，包括：
一緩沖腔體，配置用于接收一標靶燃料；
一存儲腔體，連結至該緩沖腔體并配置用于接收來自該緩沖腔體的該標靶燃料；
一閥構件，配置用于控制該標靶燃料從該緩沖腔體到該存儲腔體的流動；以及
一噴嘴，連結至該存儲腔體并配置用于供應該標靶燃料。
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