[發明專利]一種新型管狀ITO靶材的制備方法

在審

• 申請號: 201811068187.3
• 申請日: 2018-09-13
• 公開（公告）號: CN109354490A
• 公開（公告）日: 2019-02-19
• 發明（設計）人: 劉洪浩
• 申請（專利權）人: 江蘇比昂電子材料有限公司
• 主分類號: C04B35/457
• 分類號: C04B35/457;C04B35/622;C04B35/645;C23C14/08;C23C14/35
• 代理公司: 蘇州市指南針專利代理事務所(特殊普通合伙) 32268
• 代理人: 馮現偉

1.一種新型管狀ITO靶材的制備方法，其特征在于：所述ITO粉末以銦錠和四氯化錫為原料，通過工序制備得到重量百分比In2O3:SnO2＝96:3、純度≥99.98％、粒度為0.7～1.5μm的ITO。

2.根據權利要求1所述的一種新型管狀ITO靶材的制備方法，其特征在于：所述ITO粉末通過化學共沉淀、脫水、煅燒及球磨的工序制備而成。

3.根據權利要求1所述的一種新型管狀ITO靶材的制備方法，其特征在于：所述ITO粉末裝入到制備容器中，從而經過工序制備得到管狀ITO靶材，ITO粉末與容器之間設置有隔離材料，所述隔離材料可以是石墨紙和氮化硼陶瓷材料等其它材料。

4.根據權利要求1所述的一種新型管狀ITO靶材的制備方法，其特征在于：所述ITO粉末在加熱真空環境下進行制備，所述加熱真空抽氣是在400-1100℃條件下進行抽氣，從而將內部真空度調節到10-2Pa～10-4Pa之間，而最低的真空度為10-1Pa以上。

5.根據權利要求1所述的一種新型管狀ITO靶材的制備方法，其特征在于：所述ITO粉末在制備容器中進行加熱真空抽氣處理前，應對加入容器的ITO粉末進行振實處理，而ITO粉末的計算振實密度為4.50～5.00g/cm3。

6.根據權利要求1所述的一種新型管狀ITO靶材的制備方法，其特征在于：所述熱等靜壓處理的溫度為1000-1100℃，壓力為100-200Mpa，保溫保壓時間為3～12h。

7.根據權利要求2所述的一種新型管狀ITO靶材的制備方法，其特征在于：所述ITO粉末是通過如下方法制備得到的：合成后，首先打磨ITO表面除去異物，再用無水酒精擦洗2～3次，然后在純水中經超聲波清洗2～3次，清洗后采用真空干燥或熱風干燥進行干燥處理，最后采用顎式或離心式破碎機對干燥后的ITO進行破碎，并采用100目的不銹鋼篩網進行過篩，得到ITO粉末。

8.根據權利要求1所述的一種新型管狀ITO靶材的制備方法，其特征在于：所述銦錠為4N級銦錠，所述的四氯化錫為分析純級結晶四氯化錫，通過兩者所得到的ITO粉經44～50MPa壓力下冷壓成型為冷壓坯。