[發(fā)明專利]一種硅片高效制絨方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811067600.4
• 申請(qǐng)日: 2018-09-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109244185A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-01-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李曉東;姚譯敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇又一城智能科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;H01L31/0236;C30B33/10
• 代理公司: 南京眾聯(lián)專利代理有限公司 32206
• 代理人: 顧進(jìn)

1.一種硅片高效制絨方法，其特征在于：包括如下步驟：

a）雜質(zhì)清洗：首先對(duì)硅片的表面進(jìn)行擦洗，隨后準(zhǔn)備超聲波清洗池，并在池內(nèi)盛放NaQH溶液，接著將硅片放入超聲波清洗池內(nèi)，控制控制頻率23000～26000Hz，溫度65～70℃，清洗2～3min；

b）有機(jī)物清洗：首先準(zhǔn)備清洗池，并在清洗池內(nèi)放入Na₂SiO₃和IPA，然后將步驟a）中的硅片放入清洗池內(nèi)，控制溫度62～66℃，清洗2～3min；

c）配置制絨液：在氫氧化鈉溶液中添加異丙醇，并備用；

d）硅片制絨：首先將制絨液盛放在水槽內(nèi)，并控制溫度75～80℃，隨后將步驟b）中的硅片放入水槽內(nèi)，浸泡20～22min取出；

e）成品清洗：用濃度1.2～2%的H₂O₂和濃度0.5～0.6%的KOH混合溶液對(duì)步驟d）處理后的硅片進(jìn)行清洗，最后干燥，得到制絨好的硅片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片高效制絨方法，其特征在于：所述步驟a）中的NaQH溶液的濃度為10％。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片高效制絨方法，其特征在于：所述步驟b)中的Na₂SiO₃的質(zhì)量為1000g，IPA為4L。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片高效制絨方法，其特征在于：所述制絨液中氫氧化鈉：異丙醇的質(zhì)量百分比為1:50～1:80。