[發(fā)明專利]用于檢查多個(gè)測量物體的材料屬性的設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811066403.0
• 申請日: 2018-09-13
• 公開（公告）號: CN109507190A
• 公開（公告）日: 2019-03-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安泰興;金英德;樸相吉;樸峻范;巖陽一郎;田炳煥
• 申請（專利權(quán)）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 邵亞麗

1.一種檢查設(shè)備，包括：

產(chǎn)生第一光的光源；

第一測量單元，被配置為接收來自所述光源的第一光并將第一光引導(dǎo)到第一測量物體；

第二測量單元，被配置為接收來自所述光源的第一光并將第一光引導(dǎo)到與第一測量物體不同的第二測量物體；

檢查單元，被配置為接收沿著第一光學(xué)路徑從第一測量單元提供的第一光信號并使用第一光信號檢查第一測量物體，并且接收沿著與第一光學(xué)路徑不同的第二光學(xué)路徑從第二測量單元提供的第二光信號并使用第二光信號檢查第二測量物體；以及

測量位置選擇單元，被配置為通過調(diào)整反射鏡的角度來交替地啟用第一光學(xué)路徑和第二光學(xué)路徑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中第一測量單元包括第一照明單元和第一光接收單元，第一照明單元被配置為將第一光引導(dǎo)到第一測量物體，第一光接收單元被配置為接收穿過第一測量物體或從第一測量物體反射的第一光并將第一光信號提供到所述測量位置選擇單元，并且

其中第二測量單元包括第二照明單元和第二光接收單元，第二照明單元被配置為將第一光引導(dǎo)到第二測量物體，第二光接收單元被配置為接收穿過第二測量物體或從第二測量物體反射的第一光并將第二光信號提供到所述測量位置選擇單元。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，還包括：

驅(qū)動單元，被配置為改變所述反射鏡的角度；以及

控制單元，被配置為控制所述驅(qū)動單元以調(diào)整所述反射鏡的角度。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其中所述控制單元被配置為根據(jù)預(yù)設(shè)時(shí)間驅(qū)動所述驅(qū)動單元并且將第一光信號或第二光信號提供到所述檢查單元。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，還包括控制單元，所述控制單元被配置為：

在第一測量單元將第一光引導(dǎo)到第一測量物體時(shí)，通過調(diào)整所述反射鏡的角度來將第一光信號提供到所述檢查單元；以及

在第二測量單元將第一光引導(dǎo)到第二測量物體時(shí)，通過調(diào)整所述反射鏡的角度來將第二光信號提供到所述檢查單元。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，還包括透鏡，所述透鏡被配置為將第一光信號或第二光信號匯聚在所述反射鏡上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述檢查單元包括濃度測量單元，所述濃度測量單元被配置為測量第一測量物體或第二測量物體中包括的材料的濃度。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述檢查單元包括顆粒測量單元，所述顆粒測量單元被配置為測量第一測量物體或第二測量物體中包括的顆粒大小。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，還包括第三光接收單元，第三光接收單元被配置為：

接收穿過第一測量物體的第一光并且將第一光信號提供到所述測量位置選擇單元；以及

接收穿過第二測量物體的第一光并且將第二光信號提供到所述測量位置選擇單元。

10.一種檢查設(shè)備，包括：

第一測量單元，第一測量物體設(shè)置在第一測量單元中，并且第一測量單元包括被配置為將第一光提供到第一測量物體的第一照明單元和被配置為接收穿過第一測量物體的第一光的第一光接收單元；

第二測量單元，第二測量物體設(shè)置在第二測量單元中，并且第二測量單元包括被配置為將第二光提供到第二測量物體的第二照明單元和被配置為接收穿過第二測量物體的第二光的第二光接收單元；

檢查單元，被配置為接收從第一測量單元提供的第一光信號并且據(jù)此檢查第一測量物體，并且接收從第二測量單元提供的第二光信號并且據(jù)此檢查第二測量物體；

反射鏡，被配置為將第一光信號或第二光信號引導(dǎo)到所述檢查單元；以及

控制單元，被配置為控制驅(qū)動單元以調(diào)整所述反射鏡的角度。