[發明專利]一種膜層厚度檢測裝置、在線檢測系統及方法

在審

• 申請號: 201811064666.8
• 申請日: 2018-09-12
• 公開（公告）號: CN110896037A
• 公開（公告）日: 2020-03-20
• 發明（設計）人: 王志鶴;車星光;張敏亮;劉云龍;劉曉琴
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;G01B11/06
• 代理公司: 北京易捷勝知識產權代理事務所(普通合伙) 11613
• 代理人: 齊勝杰

本發明涉及一種膜層厚度檢測裝置、在線檢測系統及方法，其中，膜層厚度檢測裝置包括橢偏儀、支撐臺、樣品定位裝置和驅動裝置；驅動裝置設在支撐臺上，驅動裝置上還設置了樣品臺，驅動裝置用于驅動樣品臺相對支撐臺移動，樣品臺用于放置樣品。樣品定位裝置用于根據樣品在樣品臺上的位置和橢偏儀的檢測區域確定樣品臺相對支撐臺的移動距離，以使設置在樣品臺上的樣品移動至橢偏儀的檢測區域。橢偏儀用于檢測樣品的膜層厚度。本發明的膜層厚度檢測裝置結構簡單，同時檢測數據精確度高。本發明的在線檢測系統及方法操作簡單，能夠實現生產不停滯的在線抽檢膜層的厚度，大大提高了生產效率。

技術領域

本發明屬于膜層厚度檢測技術領域，具體涉及一種的膜層厚度檢測裝置、在線檢測系統及方法。

背景技術

隨著煤、石油、天然氣等能源日益枯竭和環境污染日益加劇，人們迫切需要尋找可再生新能源。作為地球無限可再生的無污染能源——太陽能的應用日益引起人們的關注，將太陽能轉化為電能的太陽能電池的研制得到了迅速發展。近年來，隨著太陽能電池的研發、生產不斷發展，相應的檢測技術也在不斷進步?？狗瓷渫繉?Anti ReflectingCoating，ARC)膜層是太陽能電池的減反射層，通過增加ARC膜層能減少照射在太陽能電池上的光的反射，并使太陽光在膜的內部發生全反射，讓進入膜內部的太陽光無法射出，進而增加光的吸收從而提高太陽能電池的轉化效率。其中，對膜層的厚度控制在生產中尤為重要，太薄會影響功效和耐用性，而太厚又會提高成本，因此，對膜層的厚度進行檢測至關重要。

目前針對膜層厚度的檢測方法主要包括有損檢測法和無損檢測法。有損檢測法需要先通過切割等操作制作膜層界面樣品，操作較復雜，效率較低，而且會破壞產品結構，因此一般僅作為失效分析驗證。無損檢測法主要包括直接接觸測試法和無需接觸測試法，但存在操作復雜以及檢測數據精確度較低的問題。

發明內容

(一)要解決的技術問題

為了解決現有技術的上述問題，本發明提供一種膜層厚度檢測裝置、在線檢測系統及方法，解決了現有技術中膜層厚度檢測操作復雜以及檢測數據精確度較低的問題。

(二)技術方案及效果

為了達到上述目的，本發明采用的主要技術方案包括：

本發明一方面提供一種膜層厚度檢測裝置，包括橢偏儀、支撐臺、樣品定位裝置和驅動裝置；驅動裝置設在支撐臺上，驅動裝置上還設置了樣品臺，驅動裝置用于驅動樣品臺相對支撐臺移動，樣品臺用于放置樣品；樣品定位裝置用于根據樣品在樣品臺上的位置和橢偏儀的檢測區域確定樣品臺相對支撐臺的移動距離，以使設置在樣品臺上的樣品移動至橢偏儀的檢測區域；橢偏儀用于檢測樣品的膜層厚度。

本申請將樣品放在樣品臺，通過樣品定位裝置和驅動裝置的相互配合，將樣品準確無誤地由最初的位置移動至橢偏儀對應的檢測區域，提高了檢測數據的精確度。同時采用橢偏儀進行檢測，能夠檢測任意種類膜層的厚度且實現了無損檢測。

可選地，支撐臺上還設置了龍門架，樣品定位裝置和橢偏儀設置在龍門架上。

在具體的例子中，樣品定位裝置包括圖像采集裝置和處理器，圖像采集裝置在這里主要用于進行拍照，例如可以采用CCD相機，處理器對圖像采集裝置獲得的圖像信息進行分析以獲取樣品的位置信息。采用圖像采集裝置和處理器實現拍照和分析，結構簡單，適合大規模應用。

可選地，驅動裝置包括相互垂直的第一驅動軌道和第二驅動軌道，第一驅動軌道和第二驅動軌道分別包括驅動電機和軌道。

整個驅動裝置結構簡單，能夠較好地體現X軸方向和Y軸方向的運動，同時采用電機進行驅動能夠提高檢測效率且控制更加精準。

可選地，樣品臺為真空吸附臺。