[發明專利]一種膜層厚度檢測裝置、在線檢測系統及方法

在審

• 申請號: 201811064666.8
• 申請日: 2018-09-12
• 公開（公告）號: CN110896037A
• 公開（公告）日: 2020-03-20
• 發明（設計）人: 王志鶴;車星光;張敏亮;劉云龍;劉曉琴
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;G01B11/06
• 代理公司: 北京易捷勝知識產權代理事務所(普通合伙) 11613
• 代理人: 齊勝杰

1.一種膜層厚度檢測裝置，其特征在于，包括橢偏儀(5)、支撐臺(14)、樣品定位裝置和驅動裝置；

所述驅動裝置設在所述支撐臺(14)上，所述驅動裝置上還設置了樣品臺(12)，所述驅動裝置用于驅動所述樣品臺(12)相對所述支撐臺(14)移動，所述樣品臺(12)用于放置樣品；

所述樣品定位裝置用于根據所述樣品在所述樣品臺(12)上的位置和所述橢偏儀(5)的檢測區域確定所述樣品臺(12)相對所述支撐臺(14)的移動距離，以使設置在所述樣品臺(12)上的樣品移動至所述橢偏儀(5)的檢測區域；

所述橢偏儀(5)用于檢測所述樣品的膜層厚度。

2.如權利要求1所述的膜層厚度檢測裝置，其特征在于，

所述支撐臺(14)上還設置了龍門架(6)，所述樣品定位裝置和所述橢偏儀(5)設置在所述龍門架(6)上。

3.如權利要求1所述的膜層厚度檢測裝置，其特征在于，

所述驅動裝置包括相互垂直的第一驅動軌道和第二驅動軌道，所述第一驅動軌道和所述第二驅動軌道分別包括驅動電機和軌道。

4.如權利要求1所述的膜層厚度檢測裝置，其特征在于，

所述樣品臺(12)為真空吸附臺。

5.如權利要求1-4任一項所述的膜層厚度檢測裝置，其特征在于，

所述龍門架(6)上還包括標識識別裝置(10)，所述標識識別裝置(10)用于識別所述樣品標識與檢測到的所述樣品的膜層厚度相對應。

6.一種膜層厚度在線檢測系統，其特征在于，包括樣品輸送裝置、機械手(2)和膜層厚度檢測裝置(3)；

所述機械手(2)將所述樣品輸送裝置內的樣品放置在所述膜層厚度檢測裝置(3)的樣品臺(12)上，通過所述膜層厚度檢測裝置(3)檢測樣品的膜層厚度，所述膜層厚度檢測裝置(3)如權利要求1-5任一項所述；或者，

所述機械手(2)將所述膜層厚度檢測裝置(3)的樣品臺(12)上完成膜層厚度檢測的樣品放置在所述樣品輸送裝置內。

7.一種膜層厚度在線檢測方法，其特征在于，所述方法包括：

獲取第一位置信息，所述第一位置信息為樣品在所述樣品臺(12)上的位置信息；

根據所述第一位置信息和所述樣品臺(12)的位置信息，確定所述樣品相對支撐臺(14)的第二位置信息，所述樣品臺(12)設置在所述支撐臺(14)之上，所述樣品臺(12)的位置信息為所述樣品臺(12)相對所述支撐臺(14)的位置信息；

將所述第二位置信息與存儲的標準檢測位置信息進行對比；

當所述第二位置信息與所述標準檢測位置信息不相匹配時，向驅動裝置發送所述第二位置信息所對應的坐標與所述標準檢測位置信息所對應的坐標的差值，以使所述驅動裝置驅動所述樣品臺(12)移動所述差值的距離。

8.如權利要求7所述的膜層厚度在線檢測方法，其特征在于，

所述標準檢測位置信息所對應的坐標為坐標區域。

9.如權利要求8所述的膜層厚度在線檢測方法，其特征在于，

所述方法還包括，獲取所述樣品的標識；

將檢測到的所述樣品的膜層厚度和所述樣品的標識關聯。

10.如權利要求9所述的膜層厚度在線檢測方法，其特征在于，所述獲取所述第一位置信息之前，所述方法還包括：

通過機械手(2)將樣品從樣品輸送裝置輸送至所述樣品臺(12)，通過機械手(2)將樣品從所述樣品輸送裝置輸送至所述樣品臺(12)的位置為第一位置，所述第一位置信息為所述第一位置的信息。