[發(fā)明專利]一種晶圓流片表面平整度檢測裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811060251.3
• 申請日: 2018-09-12
• 公開（公告）號: CN109029335A
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王昌華
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇英銳半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: G01B21/30
• 分類號: G01B21/30
• 代理公司: 常州市權(quán)航專利代理有限公司 32280
• 代理人: 袁興隆

本發(fā)明涉及晶圓流片檢測附屬裝置的技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種晶圓流片表面平整度檢測裝置，其方便對晶圓流片進(jìn)行固定，并且防止晶圓流片由于受力不均衡而發(fā)生變形的情況，保證檢測精度的精準(zhǔn)性；同時方便對晶圓流片的表面進(jìn)行多點(diǎn)取樣，得出的檢測結(jié)果更具有代表性，提高實(shí)用性；包括檢測箱、檢測數(shù)據(jù)分析儀、放置臺、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、固定環(huán)、三組夾持桿、三組“C”型彈片、支撐板、左支板、右支板、調(diào)節(jié)軸和蝸桿，還包括轉(zhuǎn)軸、第一滾珠軸承、第二滾珠軸承、第三滾珠軸承、第四滾珠軸承、渦輪、放置板和調(diào)節(jié)圓板，放置圓板的外側(cè)均勻設(shè)置有三組半圓凸起，還包括驅(qū)動電機(jī)、絲杠、限位桿、滑板和、檢測探頭、第五滾珠軸承和第六滾珠軸承。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓流片檢測附屬裝置的技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種晶圓流片表面平整度檢測裝置。

背景技術(shù)

眾所周知，在集成電路設(shè)計(jì)領(lǐng)域，“流片”指的是“試生產(chǎn)”，就是說設(shè)計(jì)完電路以后，先生產(chǎn)幾片幾十片，供測試用，如果測試通過，就照著這個樣子開始大規(guī)模生產(chǎn)了，晶圓流片表面平整度檢測裝置一種用于對晶圓流片表面的平整度進(jìn)行檢測的輔助裝置，其在半導(dǎo)體加工制造的領(lǐng)域中得到了廣泛的使用；現(xiàn)有的晶圓流片表面平整度檢測裝置包括檢測箱，檢測箱的內(nèi)部設(shè)置有工作腔，并在工作腔的內(nèi)頂壁上設(shè)置有檢測探頭，工作腔的內(nèi)底壁上設(shè)置有放置臺，并在放置臺的頂端設(shè)置有固定裝置，檢測箱的頂端設(shè)置有檢測數(shù)據(jù)分析儀，檢測數(shù)據(jù)分析儀的信號輸入端與檢測探頭的信號輸出端連接，檢測箱的前端設(shè)置有取放口；現(xiàn)有的晶圓流片表面平整度檢測裝置使用時，將晶圓流片至于放置臺的頂端，并通過固定裝置將晶圓流片固定，然后通過檢測探頭對對晶圓流片表面的平整度進(jìn)行檢測，并將檢測結(jié)構(gòu)傳遞給檢測數(shù)據(jù)分析儀進(jìn)行分析，通過檢測數(shù)據(jù)分析儀的數(shù)據(jù)得出晶圓流片的平整度信息；現(xiàn)有的晶圓流片表面平整度檢測裝置使用中發(fā)現(xiàn)，由于晶圓流片的厚度較薄，對其進(jìn)行固定時較不方便，并且晶圓流片容易由于受到擠壓而變形，影響檢測結(jié)果的精準(zhǔn)性；同時其不方便對晶圓流片的表面進(jìn)行多點(diǎn)取樣檢測，得出的結(jié)構(gòu)不具有代表性，導(dǎo)致實(shí)用性較低。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種方便對晶圓流片進(jìn)行固定，并且防止晶圓流片由于受力不均衡而發(fā)生變形的情況，保證檢測精度的精準(zhǔn)性；同時方便對晶圓流片的表面進(jìn)行多點(diǎn)取樣，得出的檢測結(jié)果更具有代表性，提高實(shí)用性的晶圓流片表面平整度檢測裝置。