[發明專利]一種晶圓流片表面平整度檢測裝置

在審

• 申請號: 201811060251.3
• 申請日: 2018-09-12
• 公開（公告）號: CN109029335A
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發明（設計）人: 王昌華
• 申請（專利權）人: 江蘇英銳半導體有限公司
• 主分類號: G01B21/30
• 分類號: G01B21/30
• 代理公司: 常州市權航專利代理有限公司 32280
• 代理人: 袁興隆

1.一種晶圓流片表面平整度檢測裝置，包括檢測箱（1），檢測箱（1）的內部設置有工作腔，檢測箱（1）的頂端設置有檢測數據分析儀（2），檢測箱（1）的前端設置有取放口；其特征在于，還包括放置臺（3）、旋轉電機（4）、固定環（5）、三組夾持桿（6）、三組“C”型彈片（7）、支撐板（8）、左支板（9）、右支板（10）、調節軸（11）和蝸桿（12），所述工作腔的內底壁上設置有安裝槽，所述旋轉電機（4）固定安裝在安裝槽內，并在旋轉電機（4）的頂部輸出端設置有轉軸（13），所述轉軸（13）的頂端與支撐板（8）的底端中部連接，所述左支板（9）和右支板（10）的頂端分別與放置臺（3）底端的左側和右側連接，左支板（9）和右支板（10）的底端分別與支撐板（8）頂端的左側和右側連接，并在左支板（9）的右端設置有第一放置槽，所述第一放置槽內固定安裝有第一滾珠軸承（14），所述右支板（10）上設置有左右貫通的第一安裝通孔，并在第一安裝通孔內固定安裝有第二滾珠軸承（15），所述蝸桿（12）的左端自左支板（9）的右端插入至第一滾珠軸承（14）內部，蝸桿（12）的右端自右支板（10）的左端穿過第二滾珠軸承（15）至右支板（10）的右側，所述支撐板（8）的頂端中部設置有第二放置槽，并在第二放置槽的內部固定安裝有第三滾珠軸承（16），所述放置臺（3）的中部設置有上下貫通的第二安裝通孔，并在第二安裝通孔內固定安裝有第四滾珠軸承（17），所述調節軸（11）的底端自放置臺（3）的頂端穿過第四滾珠軸承（17）至放置臺（3）的下方并插入至第三滾珠軸承（16）內部，并在調節軸（11）的外側套設有渦輪（18），所述渦輪（18）的前端與蝸桿（12）的后端嚙合，調節軸（11）的頂部設置有放置板（19），調節軸（11）的外側固定安裝有調節圓板（20），所述調節圓板（20）位于放置臺（3）和放置板（19）之間，所述固定環（5）的底端與放置臺（3）的頂端固定連接，所述三組夾持桿（6）的一端均與固定環（5）的內圈鉸接，三組夾持桿（6）的另一端頂部均設置有夾持柱（21），并且三組夾持桿（6）等角度均勻設置在固定環（5）的內圈，所述三組“C”型彈片（7）的一端分別與三組夾持桿（6）的外側連接，三組“C”型彈片（7）的另一端均與固定環（5）的內圈連接，所述放置圓板的外側均勻設置有三組半圓凸起（22），所述三組半圓凸起（22）分別與三組夾持桿（6）的內側貼緊；還包括驅動電機（23）、絲杠（24）、限位桿（25）、滑板（26）和檢測探頭（27），所述工作腔的左側壁頂部設置有第三放置槽，并在第三放置槽內固定安裝有第五滾珠軸承（28），所述檢測箱（1）的右側壁上設置有第三安裝通孔，并在第三安裝通孔內固定安裝有第六滾珠軸承（29），所述驅動電機（23）安裝在檢測箱（1）的右端頂部，所述滑板（26）的前部和后部分別設置有左右貫通的螺紋管的限位孔，所述絲杠（24）的左端自滑板（26）的右端螺裝穿過螺紋孔至滑板（26）的左側并插入至第五滾珠軸承（28）內部，絲杠（24）的右端自工作腔內穿過第六滾珠軸承（29）伸出至工作腔外部并與驅動電機（23）的左側輸出端傳動連接，所述限位桿（25）的左端與工作腔的左側壁頂部連接，限位桿（25）的右端自滑板（26）的左端穿過限位孔至滑板（26）的右側并與工作腔的右側壁頂部連接，所述檢測探頭（27）安裝在滑板（26）的底端，并且檢測探頭（27）的信號輸出端與檢測數據分析儀（2）的信號輸入端連接。

2.如權利要求1所述的一種晶圓流片表面平整度檢測裝置，其特征在于，所述三組夾持柱（21）分別可轉動安裝在三組夾持桿（6）的頂端。

3.如權利要求2所述的一種晶圓流片表面平整度檢測裝置，其特征在于，所述放置板（19）底端所在水平面位于三組夾持柱（21）底端所在水平面的上方且位于三組夾持柱（21）頂端所在水平面的下方。