[發(fā)明專利]一種用于晶圓刻蝕設(shè)備的切割裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811060248.1
• 申請日: 2018-09-12
• 公開（公告）號: CN108922848A
• 公開（公告）日: 2018-11-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王昌華
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇英銳半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/304;B28D5/00;B28D5/02
• 代理公司: 常州市權(quán)航專利代理有限公司 32280
• 代理人: 袁興隆

1.一種用于晶圓刻蝕設(shè)備的切割裝置，包括操作板（1）、四組支腿（2）、后側(cè)板（3）、切割電機（4）、傳動皮帶（5）和金剛石切割片（6），后側(cè)板（3）的底端與操作板（1）的頂端后側(cè)連接，并且四組支腿（2）的頂端分別與操作板（1）底端的左前側(cè)、左后側(cè)、右前側(cè)和右后側(cè)連接，切割電機（4）安裝在后側(cè)板（3）的后端右側(cè)中部，并且切割電機（4）的前部輸出端設(shè)置有傳動軸，傳動軸的前端自后側(cè)板（3）的后端穿過后側(cè)板（3）的內(nèi)部并伸出至后側(cè)板（3）的前端外界，傳動軸的前端設(shè)置有皮帶主動輪，后側(cè)板（3）的前端左側(cè)中部設(shè)置有左固定槽，并且左固定槽內(nèi)部設(shè)置有左滾珠軸承，金剛石切割片（6）的后端同心設(shè)置有支撐軸，并且支撐軸的后端插入并固定安裝至左滾珠軸承的前端內(nèi)部，并且支撐軸的外部固定套裝有皮帶從動輪，傳動皮帶（5）分別套裝在皮帶主動輪和皮帶從動輪上；其特征在于，包括左限位板（7）、右限位板、左滑板（8）、右滑板、頂板（9）、調(diào)節(jié)絲杠（10）、帶動電機（11）、兩組左上導(dǎo)輪（12）、兩組左下導(dǎo)輪、兩組右上導(dǎo)輪、兩組右下導(dǎo)輪和兩組鎖緊螺栓（13），所述左限位板（7）和右限位板的底端分別與所述操作板（1）頂端左側(cè)區(qū)域的左側(cè)和右側(cè)連接，并且左限位板（7）的右端縱向設(shè)置有左限位滑槽，右限位板的左端對應(yīng)縱向設(shè)置有右限位滑槽，所述左滑板（8）的左端與所述左限位板（7）的右端可滑動接觸，并且所述左滑板（8）包括左上滑板和左下滑板，所述左下滑板的左端設(shè)置有左限位滑塊，左限位滑塊可滑動設(shè)置在左限位滑槽內(nèi)部，所述右滑板的右端與所述右限位板的左端可滑動接觸，并且所述右滑板的右端設(shè)置有右限位滑塊，右限位滑塊可滑動設(shè)置在右限位滑槽內(nèi)部，所述頂板（9）的左端與左滑板（8）的右端下側(cè)連接，頂板（9）的右端與右滑板的左端下側(cè)連接，所述左上滑板的底端與左側(cè)與左下滑板的頂端左側(cè)通過鉸鏈鉸接設(shè)置，并且所述左上滑板頂端的前側(cè)和后側(cè)均縱向設(shè)置有上下貫穿的螺栓通孔，并且所述左下滑板頂端的前側(cè)和后側(cè)均設(shè)置有螺紋孔，所述兩組鎖緊螺栓（13）的底端分別穿過兩組螺栓通孔內(nèi)部分別插入并螺裝至兩組螺紋孔內(nèi)部，所述兩組左上導(dǎo)輪（12）分別可旋轉(zhuǎn)設(shè)置在左上滑板的右端的前端和下側(cè)，并且所述兩組左下導(dǎo)輪分別可旋轉(zhuǎn)設(shè)置在左下滑板右端的前側(cè)和后側(cè)，所述兩組右上導(dǎo)輪的分別可旋轉(zhuǎn)設(shè)置在右滑板左端的上前側(cè)和上后側(cè)，并且所述兩組右下導(dǎo)輪分別可旋轉(zhuǎn)設(shè)置在右滑板左端的下前側(cè)和下后側(cè)，所述帶動電機（11）的底端安裝在頂板（9）的頂端中部，并且?guī)与姍C（11）的前部輸出端設(shè)置有帶動膠輪，所述操作板（1）的底端縱向設(shè)置有上下貫穿的螺紋通孔，并且所述螺紋通孔位于左限位板（7）和右限位板的中部，所述調(diào)節(jié)絲杠（10）的頂端自操作板（1）的底端螺裝穿過螺紋通孔內(nèi)部并旋出至操作板（1）的頂端外界與所述頂板（9）的底端中部接觸，調(diào)節(jié)絲杠（10）的底端同心設(shè)置有第一手輪（14）；還包括上固定板（15）、下固定板、左固定板（16）、右固定板、螺紋管（17）、螺紋桿（18）、調(diào)節(jié)板（19）和張緊輪（20），所述后側(cè)板（3）的中部區(qū)域的左側(cè)和右側(cè)均縱向設(shè)置有燕尾滑槽，并且所述調(diào)節(jié)板（19）后端的左側(cè)和右側(cè)均設(shè)置有燕尾滑塊，所述兩組燕尾滑塊分別可滑動設(shè)置在兩組燕尾滑槽內(nèi)部，并且所述下固定板的底端與所述后側(cè)板（3）的頂端中部連接，所述左固定板（16）和右固定板的底端分別與所述下固定板頂端的左側(cè)和右側(cè)連接，并且左固定板（16）和右固定板的頂端分別與所述上固定板（15）底端的左側(cè)和右側(cè)連接，所述上固定板（15）和下固定板的中部內(nèi)側(cè)分別縱向設(shè)置有上固定通孔和下固定通孔，并且上固定通孔和下固定通孔內(nèi)部分別固定設(shè)置有上滾珠軸承和下滾珠軸承，所述螺紋管（17）的底端自上固定板（15）的頂端依次穿過上滾珠軸承和下滾珠軸承內(nèi)部并伸出至下固定板的底端外界，上滾珠軸承和下滾珠軸承的內(nèi)部分別與螺紋管（17）圓周外壁的上側(cè)和下側(cè)固定連接，所述螺紋桿（18）的頂端插入并螺裝至螺紋管（17）的底端內(nèi)部，并且螺紋桿（18）的底端與所述調(diào)節(jié)板（19）的頂端中部連接，螺紋管（17）的頂端同心連接設(shè)置有第二手輪，所述張緊輪（20）的后端設(shè)置有張緊軸，并且調(diào)節(jié)板（19）的前端中部設(shè)置有右固定槽，并且右固定槽內(nèi)部設(shè)置有右滾珠軸承，所述張緊軸的后端插入并固定安裝至右滾珠軸承內(nèi)部，所述張緊輪（20）的頂端與所述傳動皮帶（5）的內(nèi)圈上側(cè)可滾動接觸。